BPSG硼磷硅玻璃
1.Analysis and Research Results of BPSG on Abnormal Problem;硼磷硅玻璃缺陷分析與研究
2.The borophosphosilicate glass(BPSG) layers as the filling coatings to silica-based planar lightwave circuits were obtained by using plasma enhanced chemical vapor deposition with SiH_4/N_2O and PH_3,B_2H_6.利用等離子體增強化學氣相沉積方法,在S iH4/N2O反應氣體中摻入PH3和B2H6制備了用于硅基S iO2平面光波導的硼磷硅玻璃覆蓋層。
3.As an important inter-layer dielectric, BPSG thin films deposited by atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD) were used widely in most wafer techniques.BPSG(硼磷硅玻璃)薄膜作為一種重要的層間介質,在半導體集成電路中廣泛使用。
3)psg磷硅酸玻璃
4)phosphosilicate glass (PSG)硅酸磷玻璃
5)phosphorus silicate glasses磷硅酸鹽玻璃
6)sacrificial PSG磷硅玻璃犧牲層
延伸閱讀
玻璃硅料是指用做生產玻璃原料的硅質巖(砂)等，主要有如下幾類：（1）玻璃原料：天然海砂、普通石英砂、石英粉、水晶砂、水晶粉、鉀鈉長石、氟硅酸鉀、氟硅酸鈉、玻璃微珠（2）玻璃產品：鋼化玻璃、中空玻璃、防彈玻璃、夾層玻璃、防火玻璃、安全玻璃、汽車玻璃、光學玻璃、鍍膜玻璃、浮法玻璃、玻璃器皿、玻璃工藝品、玻璃瓶、平板玻璃、玻璃儀器、玻璃纖維、玻璃陶瓷、玻璃鋼、特種玻璃、玻璃搪瓷等等
