專利名稱：硅材料清洗裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于電子、電氣零部件用的材料的清洗裝置技術領域，具體 涉及一種硅材料清洗裝置。
背景技術：
目前，對硅材料的表面清洗通常采用敞口的酸洗槽，人工將硅材料塊或 將裝有硅材料塊的容器如籃子放入酸洗槽，再由手工頻繁翻攪硅材料塊。由
于在整個酸洗過程中，會產生大量的氟化氫(HF)和二氧化氮(N02)等有 害氣體，因此采用吸風罩進行排風，吸風罩大體上對應于酸洗槽的敞口部位 的上方，由吸風罩吸取的前述有害氣體引入廢氣處理裝置處理。
上述處置方式存在以下欠缺首先，由于是敞開式酸洗，因此在整個過 程中HF和N02等有害氣體不可能由吸風罩徹底吸除，部分彌散在作業現場 的空氣中，對在線作業的工人的身體構成危害，對環境的保護造成影響；其 次，為了盡可能地使吸風罩更多地吸除有害氣體，因此吸風罩的排風量較大， 從而給后續的廢氣處理裝置增加處理難度和處理成本。 發明內容
本實用新型的任務是要提供一種有利于保護操作者健康、有助于保護環 境、有益于減輕廢氣處理成本和處理難度的硅材料清洗裝置。
本實用新型的任務是這樣來完成的， 一種硅材料清洗裝置，它包括一酸 洗槽，該酸洗槽的上方配有一活動蓋，而酸洗槽一側的近底部設有一排水管， 一盛料滾筒，以臥置狀態地設在所述的酸洗槽內，具有一物料門； 一盛料滾 筒驅動機構，與所述的盛料滾筒傳動聯結； 一酸洗液高位貯槽，配置在所述 的酸洗槽的上方，并且由第一管路與酸洗槽相通； 一酸洗液低位貯槽，配置 在所述的酸洗槽的一側，并且由第二管路與酸洗槽相通； 一用于將酸洗液低 位貯槽中的酸洗液提升到所述的酸洗液高位貯槽內的酸洗液提升機構，分別 與酸洗液高位貯槽和酸洗液低位貯槽相通； 一進水管路，聯結在酸洗槽的上部并且伸入到酸洗槽內； 一空氣置換機構，與所述的酸洗槽環通聯結。
在本實用新型的一個具體的實施例中，所述的排水管的管路上設有第一 閥門。
在本實用新型的另一個具體的實施例中，所述的盛料滾筒為鼠籠式滾筒 或篩網式滾筒，盛料滾筒的滾筒軸的兩端各通過軸承座樞設在酸洗槽的對應 壁體上并且與所述的盛料滾筒驅動機構聯結，所述的物料門設在盛料滾筒的 長度方向的中部。
在本實用新型的還一個具體的實施例中，所述的盛料滾筒驅動機構包括 第一電機和減速機，第一電機與減速機配接，減速機的末級動力輸出軸通過 聯軸節與所述的滾筒軸聯結。
在本實用新型的再一個具體的實施例中，所述的第一管路上配設有第二 閥門。
在本實用新型的又一個具體的實施例中，所述酸洗液提升機構包括第二 電機、液泵和第三、第四管路，液泵與第二電機相配接，第三管路的一端與 液泵的出液口相接，另一端伸展到酸洗液高位槽中，第四管路的一端與液泵 的進液口相接，另一端伸入到酸洗液低位槽中。
在本實用新型的更而一個具體的實施例中，所述的進水管路所伸入到酸 洗槽內的一端間隔設置有噴淋頭，并且在進水管所位于酸洗槽外的一端設置 有第三閥門。
在本實用新型的進而一個具體的實施例中，所述的第二管路上設有第四 閥門。
在本實用新型的又更而一個具體的實施例中，所述的空氣置換機構包括 第五、第六、第七、第八管路、第三電機和風機，第五管路的一端與第六管 路的一端聯結，第五管路的另一端接續在酸洗槽的一側上部并且與酸洗槽相 通，第六管路的另一端與風機的出風口連接，第七管路的一端與第六管路聯 結并且與第六管路相通，另一端與廢氣處理裝置聯結，第八管路的一端與風 機的進風口相接，另一端接至酸洗槽的另一側上部并且與酸洗槽相通，第三電機與風機相配接，其中所述的第六管路上設有第五、第六閥門，所述的 第七管路上設有第七閥門。
在本實用新型的又進而一個具體的實施例中，所述的第五管路與第六管 路相連接的連接部位位于所述的第五、第六閥門之間。
本實用新型所提供的技術方案的優點在酸洗槽上配有活動蓋，能使已 有技術中的敞開式酸洗變為封閉式酸洗，酸洗過程中的有害氣體不會對操作 工人構成影響而且對環境有益；由于在酸洗槽內設置由盛料滾筒驅動機構驅 動的盛料滾筒，從而無需由工人對被酸洗工件翻動，可減輕工人的勞動強度 和提高酸洗效率；空氣置換機構既能使酸洗槽內的廢氣在打開活動蓋之前實
施置換，又能將酸洗過程中的廢氣引至廢氣處理裝置處理。
附圖為本實用新型的一個具體的實施例結構圖。
具體實施方式
為了使貴審查員特別是公眾能更加清楚地了解本實用新型的技術實質和有益效 果，特結合附圖及實施例對本實用新型的具體實施方式
詳細描述如下，但所有對實施 例的描述均不構成對本實用新型方案的限制，任何形式而非實質的變化均應視為屬于 本實用新型所公開的并且由權利保護所限定的范圍內。
請見附圖，給出了形狀優選但并非限于的長方體的酸洗槽l,在該酸洗槽 1的上部的敞口部位配置有一活動蓋11，活動蓋11既可以采用鉸鏈連接方式 與酸洗槽11相配合，也可以采用類似于抽屜的插拔方式與酸洗槽1相配合。
在酸洗槽1的一側即圖示的右側的近底部延接有一排水管12,排水管12上設 置有一第一閥門121,在使用狀態下即在酸洗狀態下，該第一閥門121必須是 關閉的，并且活動蓋ll也是蓋閉的。
在酸洗槽l內以臥置狀態地設置有一盛料滾筒2，具體是將盛料滾筒2 的一對滾筒軸22各通過一軸承座221樞置在酸洗槽1的對應壁體上，即樞置 在由目前的圖示位置狀態的左、右壁體上，在盛料滾筒2的近中部設置物料 門21，將被酸洗的工件即硅材料通過物料門21引入盛料滾筒2的容腔，然后 關閉，而在酸洗結束出料時則開啟并且從盛料滾筒2內取出硅材料。在本實施例中，申請人采用了鼠籠式的結構作為盛料滾筒2，如果采用篩網式(也可 稱網篩式)的結構，則同樣是可以的，所謂的篩網式結構是指在筒體上開設 規則的或不規則的通孔。
盛料滾筒驅動機構3的第一電機31與減速機32傳動聯結并且設置在酸 洗槽1的左側(以圖示位置狀態為例)，減速機32的末級動力輸出軸321通 過聯軸節3211與前述的盛料滾筒2的滾筒軸22傳動聯結。
酸洗液高位貯槽4的高度應當高于酸洗槽1 ，設置方式既可以采用專用的 支架，也可以采用澆砌的墩子，將酸洗液高位貯槽4安頓于支架或墩子上。
酸洗液高位貯槽4通過第一管路4i與酸洗槽i相通。當要將酸洗液高位ie槽
4內的酸洗液引入酸洗槽l內時，只要開啟第一管路41上的第二閥門411即 可。
酸洗液低位貯槽5既可以在酸洗槽1的附近挖坑澆鋪構成，也可以將容 器埋入地坪，只要確保酸洗液低位貯槽5的高度比酸洗槽1低即可，以便由 第二管路51將酸洗槽1內的酸洗液以自流的方式引入酸洗液低位jt槽5中， 前提是開啟第二管路51上的第四閥門511。
作為酸洗液提升機構6的第二電機61按照公知的常識與液泵62配接， 第三管路63的一端與液泵62的出液口連接，而第三管路63的另一端延伸到 (通往)酸洗液高位貯槽4內，第四管路64的一端與液泵62的進液口連接， 另一端探入到酸洗液低位貯槽5中。
進水管路7的一端應當是與水源管路如自來水管聯結的，另一端以水平 狀態地伸展到酸洗槽1的上部，并且以間隔狀態地設有噴淋頭71。當酸洗槽 l酸洗結束，并且將酸洗液由第二管路51入到到酸洗液低位貯槽5內后，由 進水管路7在開啟第三閥門72的狀態下引入清水對酸洗槽1清洗，清洗結束 后開啟第一閥門121，從而完成對酸洗槽1的清洗。
作為空氣置換機構8的第五管路81的一端與酸洗槽l的一側即圖示的左 側上部聯結并且與酸洗槽1相通，而第五管路81的另一端聯結在第六管路82 的一端并且與第六管路82相通，第六管路82的另一端與風機85的出風口聯 結。第七管路84的一端即圖示的左端與第六管路82聯結并且相通，另一端 即圖示的右端與圖中未示出的廢氣處理裝置聯結。第八管路86的一端(左端)與酸洗槽1相接并相通，另一端(右端)與風機85的進風口聯結，風機85 與第三電機83配接。由圖見，第五、第六、第八管路81、 82、 86在酸洗槽1 上構成一個回路，實現與酸洗槽l環通連接。其中在第六管路82上設有第 五、第六閥門821、 822,以及在第七管路84上設有第七閥門841。上面提到 的第五管路81與第六管路82連接的連接部位介于第五、第六閥門821、 822 之間。
申請人結合附圖敘述本實用新型的使用，當要對硅材料酸洗時，先開啟 活動蓋ll，再開啟物料門21，將被清洗的硅材料裝入盛料滾筒2內，關閉物 料門21和關閉活動蓋11。打開第一管路41上的第二闊門411,將酸洗液高 位槽4內的酸洗液引入酸洗槽1內，至所設定的量后關閉第二閥門411,規定 量可以通過設在酸洗槽1上的未在圖中示意的液位計把握。開啟盛料滾筒驅 動機構3，即第一電機31工作，使盛料滾筒2旋轉，在盛料滾筒2旋轉的過 程中，盛料滾筒2內的硅材料隨之翻動。在酸洗過程中，第三電機83工作， 第六、第七閥門822、 841開啟，而第一、第三、第四、第五閥門121、 72、 511、 821處于關閉狀態。酸洗結束后，開啟第四閥門511，將酸洗槽1內的 酸洗液由第二管路51引入酸洗液低位貯槽5內，并且由酸洗液提升機構6提 升至酸洗液高位貯槽4內。在將酸洗槽1內的酸洗液放盡后關閉第四閥門511 。 開啟第三閥門72，將清水由進水管路7引入并經噴淋頭71噴出，對酸洗槽清 洗，清洗結束，關閉第三閥門72，開啟第一閥門121，排盡水后關閉第一閥 門121。盛料滾筒驅動機構3停止工作。開啟第五閥門821,關閉第六閥門82， 將新鮮空氣由第五管路81引入酸洗槽1內并且由第七管路84引至廢氣處理 裝置處理，然后使第三電機83停止工作，開啟活動蓋11和物料門21,從盛 料滾筒2內取出硅材料，從而完成了一個過程的酸洗。
綜上所述，由于酸洗過程是在閉式狀態下進行的，酸洗過程中產生的廢 氣如HF、 N02等由第七管路84引至廢氣處理裝置處理，因此既有利于保障 工人的健康，又有助于保護環境。
權利要求1、一種硅材料清洗裝置，其特征在于它包括一酸洗槽(1)，該酸洗槽(1)的上方配有一活動蓋(11)，而酸洗槽(1)一側的近底部設有一排水管(12)，一盛料滾筒(2)，以臥置狀態地設在所述的酸洗槽(1)內，具有一物料門(21)；一盛料滾筒驅動機構(3)，與所述的盛料滾筒(2)傳動聯結；一酸洗液高位貯槽(4)，配置在所述的酸洗槽(1)的上方，并且由第一管路(41)與酸洗槽(1)相通；一酸洗液低位貯槽(5)，配置在所述的酸洗槽(1)的一側，并且由第二管路(51)與酸洗槽(1)相通；一用于將酸洗液低位貯槽(5)中的酸洗液提升到所述的酸洗液高位貯槽(41)內的酸洗液提升機構(6)，分別與酸洗液高位貯槽(4)和酸洗液低位貯槽(5)相通；一進水管路(7)，聯結在酸洗槽(1)的上部并且伸入到酸洗槽(1)內；一空氣置換機構(8)，與所述的酸洗槽(1)環通聯結。
2、 根據權利要求1所述的硅材料清洗裝置，其特征在于所述的排水管(12) 的管路上設有第一閥門(121)。
3、 根據權利要求1所述的硅材料清洗裝置，其特征在于所述的盛料滾 筒(2)為鼠籠式滾筒或篩網式滾筒，盛料滾筒(2)的滾筒軸(22)的兩端各通過軸 承座(221)樞設在酸洗槽(1)的對應壁體上并且與所述的盛料滾筒驅動機構(3) 聯結，所述的物料門(21)設在盛料滾筒(2)的長度方向的中部。
4、 根據權利要求3所述的硅材料清洗裝置，其特征在于所述的盛料滾 筒驅動機構(3)包括第一電機(31)和減速機(32),第一電機(31)與減速機(32)配 接，減速機(32)的末級動力輸出軸(321)通過聯軸節(3211)與所述的滾筒軸(22) 聯結。
5、 根據權利要求1所述的硅材料清洗裝置，其特征在于所述的第一管 路(41)上配設有第二閥門(411)。
6、 根據權利要求1所述的硅材料清洗裝置，其特征在于所述酸洗液提 升機構(6)包括第二電機(61)、液泵(62)和第三、第四管路(63、 64)，液泵(62) 與第二電機(61)相配接，第三管路(63)的一端與液泵(62)的出液口相接，另一端伸展到酸洗液高位槽(4)中，第四管路(64)的一端與液泵(62)的進液口相接， 另一端伸入到酸洗液低位槽(5)中。
7、 根據權利要求1所述的硅材料清洗裝置，其特征在于所述的進水管 路(7)所伸入到酸洗槽(1)內的一端間隔設置有噴淋頭(71),并且在進水管(7) 所位于酸洗槽(1)外的一端設置有第三閥門(72)。
8、 根據權利要求1所述的硅材料清洗裝置，其特征在于所述的第二管 路(51)上設有第四閥門(511)。
9、 根據權利要求l所述的硅材料清洗裝置，其特征在于所述的空氣置 換機構(8)包括第五、第六、第七、第八管路(81、 82、 84、 86)、第三電機(83) 和風機(85)，第五管路(81)的一端與第六管路(82)的一端聯結，第五管路(81)的另一端接續在酸洗槽(l)的一側上部并且與酸洗槽(l)相通,第六管路的另一 端與風機(85)的出風口連接，第七管路(84)的一端與第六管路(82)聯結并且與 第六管路(82)相通，另一端與廢氣處理裝置聯結，第八管路(86)的一端與風機 (85)的進風口相接，另一端接至酸洗槽(l)的另一側上部并且與酸洗槽(l)相 通，第三電機(83)與風機(85)相配接，其中所述的第六管路(82)上設有第五、 第六閥門(821、 822)，所述的第七管路(84)上設有第七閥門(841)。
10、 根據權利要求9所述的硅材料清洗裝置，其特征在于所述的第五管 路(81)與第六管路(82)相連接的連接部位位于所述的第五、第六閥門(821、 822) 之間。專利摘要一種硅材料清洗裝置，屬于電子、電氣零部件用的材料的清洗裝置技術領域。包括一酸洗槽，酸洗槽的上方配有活動蓋、一側的近底部設有一排水管，一盛料滾筒，設在酸洗槽內，具物料門；一盛料滾筒驅動機構，與盛料滾筒聯結；一酸洗液高位貯槽，配置在酸洗槽的上方，與酸洗槽相通；一酸洗液低位貯槽，配置在酸洗槽的一側，與酸洗槽相通；一酸洗液提升機構，與酸洗液高位貯槽和酸洗液低位貯槽相通；一進水管路，聯結在酸洗槽的上部且伸入到酸洗槽內；一空氣置換機構，與酸洗槽環通聯結。有害氣體不會對操作工人構成影響；勞動強度低、酸洗效率高；能使酸洗槽內的廢氣在打開活動蓋之前實施置換，又能將酸洗過程中的廢氣引至廢氣處理裝置處理。
文檔編號B08B3/08GK201253615SQ200820039690
公開日2009年6月10日 申請日期2008年9月4日 優先權日2008年9月4日
發明者劉志宏, 顧一飛 申請人:常熟市勝諾環保設備有限公司