具有傳感器布置的絲鋸裝置和監控絲鋸裝置操作的方法
【專利摘要】公開了具有傳感器布置的絲鋸裝置和監控絲鋸裝置操作的方法。本發明提供用于鋸切半導體工件的絲鋸裝置（200）。所述絲鋸裝置包括：用于接收繞線管(250)的繞線管接收布置(210)，所述繞線管在繞線管的每一端包括繞線管凸緣(260;270)；和傳感器布置(220)，用于測量至少一個所述繞線管凸緣的操作狀態。此外，本發明描述了用于測量鋸切半導體工件的絲鋸裝置(200)的操作狀態的方法。所述絲鋸裝置包括用于接收繞線管(250)的繞線管接收布置(210)，所述繞線管(250)在繞線管的每一端包括一個凸緣(260;270)。所述方法包括通過傳感器布置(220)測量至少一個所述繞線管凸緣的操作狀態。
【專利說明】具有傳感器布置的絲鋸裝置和監控絲鋸裝置操作的方法
【技術領域】
[0001]本發明的實施方式涉及絲鋸裝置。本發明的實施方式特別涉及具有傳感器布置的絲鋸裝置，本發明的實施方式具體地說涉及具有用于監控絲鋸操作的傳感器布置的絲鋸，涉及用于監控絲鋸裝置操作的方法，且涉及用于操作絲鋸裝置的方法。
【背景技術】
[0002]絲鋸被用于從諸如硅的一塊硬質材料切割塊或磚、薄片，例如，半導體晶片。例如，使用絲鋸將工件或錠料切割或晶片化以便切料、裁方或切片。在所述絲鋸中，絲線被纏繞在兩個繞線管上。一個繞線管用于新的絲線且用于饋送絲線到切割區。用于已使用的絲線的第二繞線管是在絲鋸裝置中，以便卷繞來自切割區的絲線。來自饋線管的絲線通過絲線導向器被導向到切割區，在所述切割區中，絲線切斷各個工件，例如以便形成薄片。在切割工藝之后，絲線再次被絲線導向器導向。絲線被導引到卷線管，已使用的絲線纏繞在所述卷線管上。
[0003]在退繞工藝期間，隨著絲線從繞線管逐層退繞，絲線離開繞線管的位置沿著軸向而變化。絲線從繞線管的一側到繞線管的另一側(即，凸緣到凸緣)交替移動。因此，絲線在絲線的纏繞和退繞期間通過行進單元有規則地布置在繞線管上。行進單元橫向于繞線管的軸線移動絲線。
[0004]然而，在切割工藝期間，或在纏繞(退繞)工藝期間的不規則性可導致絲線斷裂，所述不規則性如繞線管上的摩擦、振動、絲線扭曲、錯誤的操作設置和行進單元故障等等。如果絲線斷裂，那么機器停止，且必須修復絲鋸，并且機器必須在再次準備用于操作之前重新設置。切割工藝的中斷和對于重新設置絲鋸所需的時間影響絲鋸的生產率。
[0005]鑒于上文，本發明的目的是提供克服本【技術領域】中的至少一些問題的絲鋸和用于操作絲鋸的方法。
【發明內容】
[0006]鑒于上文，本發明提供了如獨立權利要求所述的絲鋸和用于測量絲鋸中的操作狀態的方法。本發明的進一步方面、優點和特征是從附屬權利要求、描述和附圖中顯而易見。
[0007]根據一個實施方式，提供了用于鋸切半導體工件的絲鋸裝置。絲鋸裝置包括用于接收繞線管的繞線管接收布置，所述繞線管在繞線管的每一端包括繞線管凸緣。絲鋸裝置進一步包括傳感器布置，所述傳感器布置用于測量至少一個所述繞線管凸緣的操作狀態。
[0008]根據另一實施方式，提供了用于測量鋸切半導體工件的絲鋸裝置的操作狀態的方法。絲鋸裝置包括用于接收繞線管的繞線管接收布置，所述繞線管在繞線管的每一端包括一個凸緣。所述方法包括通過傳感器布置測量至少一個所述繞線管凸緣的操作狀態。
[0009]根據進一步實施方式，提供了用于操作鋸切半導體工件的絲鋸裝置的方法。所述方法包括從繞線管提供用于鋸切半導體工件的絲線，所述繞線管在繞線管的每一端包括繞線管凸緣。所述方法進一步包括測量至少一個所述繞線管凸緣的操作狀態。
[0010]實施方式還針對用于進行所公開的方法的設備且包括用于進行各所描述的方法步驟的設備元件。這些方法步驟可經由硬件元件、通過適當軟件編程的計算機，或通過所述兩者的任何組合或以任何其他方式進行。此外，根據本發明的實施方式還針對數個方法，所述設備通過所述方法進行操作。所述方法包括用于進行設備的每個功能的方法步驟。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0011]因此，以可詳細地理解本發明的上述特征的方式，可參考實施方式獲得上文簡要總結的本發明的更特定描述。附圖涉及本發明的實施方式且附圖描述在下文中:
[0012]圖1圖示絲鋸的示意圖，所述絲鋸中可使用根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置；
[0013]圖2圖示根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置和絲鋸裝置的繞線管的示意側視圖；
[0014]圖3圖示圖2中所示的絲鋸裝置的示意前視圖；
[0015]圖4圖示根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置和安裝到絲鋸裝置的繞線管的示意側視圖；
[0016]圖5圖示圖4中所示的絲鋸裝置的示意前視圖；
[0017]圖6圖示根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置和安裝到絲鋸裝置的繞線管的示意側視圖；
[0018]圖7圖示根據本文所述的實施方式的包括傳感器布置的繞線管布置的示意側視圖；
[0019]圖8圖示根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置和安裝到絲鋸裝置的繞線管的示意側視圖；
[0020]圖9圖示根據本文所述的實施方式的包括傳感器布置的繞線管布置的示意側視圖；
[0021]圖10圖示根據本文所述的實施方式的包括傳感器布置的繞線管布置的示意側視圖；
[0022]圖11圖示根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置的示意圖；
[0023]圖12圖示根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置和安裝到絲鋸裝置的繞線管的示意側視圖；
[0024]圖13圖示圖12中所示的絲鋸裝置的示意前視圖；
[0025]圖14圖示根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置的示意側視圖；
[0026]圖15圖示根據本文所述的實施方式的用于測量絲鋸裝置的操作狀態的方法的流程圖；
[0027]圖16圖示根據本文所述的實施方式的用于測量絲鋸裝置的操作狀態的方法的流程圖；
[0028]圖17圖示根據本文所述的實施方式的用于操作絲鋸裝置的方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0029]現將對本發明的各種實施方式進行詳細參考，所述實施方式的一個或多個示例圖示于附圖中。在附圖的以下描述中，相同元件符號代表相同元件。通常，僅描述對于各實施方式的差異。各示例是作為對本發明的說明而提供，且各示例并不旨在作為對本發明的限制。此外，圖示或描述為一個實施方式的一部分的特征可用于其他實施方式或結合其他實施方式一起使用，以產生更進一步實施方式。本描述意圖包括此類修改和變化。
[0030]圖1圖示絲鋸100的示意側視圖，所述絲鋸100中可使用根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置。舉例來說，絲鋸100根據本文公開的實施方式包括四個絲線導向器112、114、116和118。每一絲線導向器112、114、116和118可被連接到用于旋轉絲線導向器的電動機或驅動裝置(未圖示)。絲線120從饋線管134到卷線管138大體上沿在絲線120旁所示的直箭頭方向導向。在圖1中以側視圖圖示的絲線120也可在一個實施方式中包括形成絲網的數個絲線。
[0031]根據一些實施方式，絲鋸可包括如下文中詳述的絲鋸裝置。如本文中所指的絲鋸裝置可被用作包括進一步元件(如上述絲線導向器、電動機、控制單元等等)的絲鋸的一部分，被用作包括用于通過絲網切割錠料的元件的絲鋸系統的一部分，被用作布置在一個鋸切系統中的一個或多個絲鋸的一部分，或可被用作絲鋸本身。根據一些實施方式，絲鋸裝置可包括用于接收繞線管的繞線管接收布置，所述繞線管接收布置諸如為上述饋線管或卷線管。將要安裝到繞線管接收布置的繞線管可在繞線管的每一端處提供一個凸緣(諸如饋線管134的凸緣135和卷線管138的凸緣139，如在圖1的絲鋸的側視圖中可見)。例如，絲鋸可具有外殼(未圖示在圖1中)，繞線管接收布置安裝到所述外殼中。有可能用于絲鋸100中的絲鋸裝置可進一步包括用于測量繞線管凸緣或諸繞線管凸緣的操作狀態的傳感器布置，如將在下文中詳細說明。例如，傳感器布置可接近于繞線管凸緣布置、放置或移動。
[0032]在絲鋸100的切割動作期間，可將一個或多個錠料102、104、106和108推過絲網以將所述錠料切片。此舉通過分別夾在錠料102與104之間和夾在錠料106與錠料108之間的箭頭所表示。一個或多個錠料可通過工作臺(未圖示)支撐。或者,錠料102、104、106和108可被固定，而將絲線或絲網推過所述錠料。根據實施方式，可將所述一個或多個錠料的每個錠料切片成為大量晶片，諸如至少500個或甚至更多個晶片。特別是在多晶硅的情況下，錠料的典型長度可在達到250mm的范圍中；且特別是在單晶硅的情況下，錠料的典型長度可在達到500mm的范圍中。
[0033]圖1中所示的饋線管134的示例配有儲線器。饋線管134 (如果仍然完整)可保持數百公里長度的絲線。在絲鋸的操作期間，用于鋸切工藝的絲線通過饋線管134饋送到絲線導向器112、114、116和118。可提供卷線管138，在所述卷線管138上重繞已使用的絲線120。通常，可提供諸如低惰性滑輪(未圖示)和張緊臂(未圖示)的進一步裝置，用于在張緊臂上使用可選數字編碼器進行絲線張緊度調節。
[0034]圖2圖示根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置的實施方式，所述絲鋸裝置可例如用于如上文示例性所述的絲鋸中。然而，如本文所述的絲鋸裝置不限于如圖2中所示的絲鋸，而是所述絲鋸裝置也可用于其他類型的絲鋸中。
[0035]圖2圖示根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置200。所述絲鋸裝置包括繞線管接收布置210。根據一些實施方式，繞線管接收布置適于在絲鋸裝置中接收繞線管或絲線導向器。特別地，繞線管接收布置可適于諸如在絲鋸裝置的操作期間支撐絲鋸裝置中的繞線管。為此目的，繞線管接收布置可包括一個或多個支撐表面或區域、用于固定繞線管的一個或多個鎖定元件、用于旋轉繞線管的電動機，和/或用于在操作期間可靠地保持繞線管的進一步元件。在圖2中所示的示例中，繞線管接收布置210包括繞線管接收部分215和軸承216。根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置的繞線管接收布置210可適于被安裝到絲鋸外殼217。繞線管接收部分215類似螺釘或銷釘地示例性地形成。繞線管接收部分215可包括支撐繞線管的表面。
[0036]根據一些實施方式、繞線管接收部分215可以能夠支撐繞線管，所述繞線管諸如為圖示在圖2右側的繞線管，且繞線管接收部分215不限于圖2中所示的形狀。更確切而言，繞線管接收部分215可具有任何形狀和位置，所述形狀和位置使得能夠在絲鋸操作期間可靠支撐繞線管。根據一些實施方式，繞線管接收部分215可被連接到驅動裝置(未圖示)以旋轉，且進而旋轉安裝到所述繞線管接收部分215的繞線管。用于在絲鋸操作期間支撐和保持繞線管的繞線管接收部分215的能力以從繞線管250行進到繞線管接收布置210的箭頭表在圖2中。
[0037]可安裝到絲鋸裝置200的繞線管接收210的繞線管250可包括繞線管主體280。繞線管主體280可適于收容纏繞在繞線管250上的絲線。根據一些實施方式，繞線管主體280可大體上為圓柱形。繞線管250在繞線管的每一端進一步包括繞線管凸緣，所述繞線管凸緣在圖2中可見為凸緣260和凸緣270。
[0038]根據一些實施方式，絲鋸裝置200包括傳感器布置220，所述傳感器布置220用于測量將安裝在繞線管接收210上的繞線管250的繞線管凸緣260、270中的至少一個的操作狀態。
[0039]圖3是圖2中所示的絲鋸裝置200的前視圖。在圖3中，可見具有包括軸承216的繞線管接收210的絲鋸裝置200。繞線管接收210被安裝到絲鋸的機器主體217上。絲鋸裝置200進一步包括被安裝到臂225上的傳感器布置220。在圖3右側所示的繞線管的前視圖圖示繞線管250的凸緣260。
[0040]使用根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置，有可能提供對繞線管凸緣和繞線管行程的操作狀態的自動測量。用于根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置的傳感器布置能夠測量繞線管的操作狀態，所述操作狀態諸如在繞線管凸緣和繞線管接收表面(或機器主體)之間的距離、在繞線管的兩個凸緣之間的距離、凸緣的形狀、凸緣的形變等等。
[0041]如本文所使用，術語“測量元件的形變”可代表測量元件形狀和檢測形狀是否處于預期狀態，或檢測元件形狀是否偏離初始形狀。
[0042]如上所述，在絲鋸元件的其中一個元件處的絲線摩擦可能是絲線斷裂的原因，且因此可能是生產率減少和系統可靠性降低的原因。已由
【發明者】發現，絲線斷裂的原因之一是絲線相抵于繞線管凸緣的摩擦和/或一種情況，在所述情況下，絲線在凸緣和纏繞在繞線管上的絲線卷之間被擠壓(或阻塞)。對于絲線相抵于繞線管凸緣的摩擦或對于絲線阻塞存在若干原因。例如，必須調節將絲線往返于繞線管導向的行進單元的行程以精確適合繞線管位置。到目前為止，已通過手動測量繞線管凸緣的位置和繞線管凸緣之間的距離進行行進單元的行程調整，且隨后已將所獲得的參數設置為在絲鋸的人機接口(man-machine-1nterface; MMI)中的參數。在知道了距離之后，絲線可通過行進單元正確地定位在繞線管上。因此，目的是在繞線管上使用盡可能多的空間(這意味著接近于繞線管的凸緣)，同時避免絲線相抵于繞線管凸緣的摩擦和阻塞。
[0043]在已知絲鋸系統中，尤其是每當將新的繞線管裝上絲鋸時，手動測量距離。然而，測量誤差或忘記進行參數的重新設置是絲線斷裂的潛在原因。通常，在已知系統中，在某一時間段之后重新測量和調整距離。此外，對于手動測量，絲鋸操作必須停止，如此降低了生產率。
[0044]通過使用根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置，繞線管凸緣的距離和形狀的測量可以自動且可靠的方式進行。在根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置中的傳感器布置允許繞線管凸緣距離和凸緣形狀的非接觸式測量(諸如用于檢測形變)。在絲鋸操作期間或在絲鋸操作期間的減速階段時的各個參數的測量通過使用如本文所述的傳感器布置是可能的。
[0045]并且，自動測量可以預定或可選的時段進行。因此，可更加頻繁地進行測量，且測量不必等待直到交換了繞線管為止。因為對于參數的無接觸式測量，操作不必被中斷，所以可增加生產率。進一步，隨著忘記測量或產生由于測量儀器的錯誤處理的測量誤差或其它測量誤差的風險的減小，可靠性增加。
[0046]除上述的理想效果之外，根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置還避免在本技術中已知的系統的進一步問題(諸如滑動的繞線管、錯誤類型的繞線管安裝等)，或至少克服對于已知系統的問題的效果。
[0047]例如，在已知系統中，由于繞線管的重量，繞線管凸緣可能在裝卸操作期間，諸如在傳遞到絲鋸等期間損壞。繞線管在地面上的任何撞擊可能使凸緣，特別是凸緣的邊緣形變。在凸緣邊緣形變的情況下，盡管繞線管凸緣的測量距離正確，也可能在絲線和受損的凸緣之間發生摩擦。受損凸緣和絲線相抵于受損凸緣邊緣的所產生摩擦可引起絲線斷裂。
[0048]對于已知系統的問題的另一示例是高繞線管重量。一些繞線管可具有在約60kg至約80kg的范圍中的重量。在絲線的壓力和重量下，兩個繞線管凸緣之間的內部距離隨時間變化。在繞線管是饋線管的情況下，當從繞線管消耗和退繞絲線時，凸緣之間的距離減小。在繞線管是卷線管的情況下，當更多絲線纏繞在繞線管上時，凸緣之間的距離增加。因此，希望根據在操作期間的變化凸緣距離的行進單元的調整。
[0049]使用根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置，可以測量繞線管凸緣形變以及變化的凸緣距離。在繞線管凸緣形變的情況下，自動測量的可靠性提高了系統性能。在凸緣距離變化的情況下，在操作期間的無接觸式的距離測量確保了絲鋸的正確操作。
[0050]圖4圖示絲鋸裝置300的實施方式，其中繞線管350被安裝到繞線管接收310。在圖4中可見繞線管接收布置310的軸承316，而在圖4中不可見如圖2中所示的繞線管接收部分。繞線管350的凸緣360和370也圖示在圖4中。絲鋸裝置300包括傳感器布置320，所述傳感器布置320適于測量繞線管的至少一個凸緣的操作狀態。
[0051]圖5圖示圖4中所示的絲鋸裝置320的前視圖。使用位于繞線管凸緣360之前的傳感器布置320,可以測量凸緣360的形變。在一個實施方式中，凸緣360在傳感器布置320之前旋轉，而傳感器布置320測量凸緣360的形變。如果通過傳感器布置320檢測到凸緣的形變(例如，由撞擊等產生)，那么可產生警報。那樣，可交換繞線管或可相應設置從繞線管纏繞或退繞絲線的參數，以便防止絲線斷裂。
[0052]根據可與本文所述的其他實施方式結合的一些實施方式，在移動單元325上提供傳感器布置320，所述移動單元325可被適配為移動傳感器布置320的至少一部分接近和離開繞線管凸緣，所述繞線管凸緣的操作狀態將要被測量。在一個實施方式中，移動單元可以是可伸縮臂，如將在下文中相對于圖12和圖13詳細說明的那樣。
[0053]根據可與本文所述的其他實施方式結合的一些實施方式，如圖5中所示的絲鋸裝置也可裝備有凸緣370的第二傳感器布置。使用位于繞線管凸緣(諸如圖5的繞線管凸緣360和370)之前的兩個傳感器布置，可以測量繞線管凸緣的形變。在一個實施方式中，兩個凸緣在傳感器布置之前旋轉，而傳感器布置測量凸緣360的形變。如果通過傳感器布置的一個或兩個傳感器布置檢測到凸緣的形變(例如，由撞擊等等產生)，那么可產生警報。可隨后交換繞線管或可相應設置從繞線管纏繞或退繞絲線的參數，以便防止絲線斷裂。
[0054]圖6圖示絲鋸裝置400的實施方式。絲鋸裝置400包括繞線管接收布置410，其中在圖6中僅可見所述繞線管接收布置410的軸承416，因為絲鋸裝置400被圖示為繞線管450安裝到所述繞線管接收布置410上。在繞線管450的端部，提供凸緣460和470。在圖6中所不的實施方式中，傳感器布置420包括傳感器421和參考傳感器426。根據一些實施方式，傳感器布置420的一個傳感器421位于靠近凸緣460之處,而參考傳感器426位于靠近繞線管450的另一凸緣470之處。傳感器和凸緣之間的距離(在本文所述的一些實施方式中，所述距離可被表示為“接近”)可通常在約Imm與約50mm之間，更通常在約Imm與約20mm之間且甚至更加通常在約Imm與約1mm之間的范圍內。在一個實施方式中，參考傳感器被放置在外殼417的表面處。根據一些實施方式，參考傳感器可被放置在繞線管接收布置410的軸承的表面處。特別地，參考傳感器可被放置在外殼表面，或放置在大體上平行于繞線管凸緣的繞線管接收布置410處。
[0055]如本文所使用的術語“大體上”可表示可能與以“大體上”表示的特性有某一偏差。例如，術語“大體上平行”代表一種布置，所述布置與兩個元件的精確平行布置可具有某些偏差，諸如與精確平行布置有約1°至約10°的偏差。根據進一步示例，術語“大體上垂直”可代表大體上以90°的布置彼此放置的元件布置。通常，術語“大體上對稱”也可表示元件沒有精確地垂直布置，而是所述元件可能在某種程度上偏離垂直布置，例如，在某種程度上偏離精確的90°的位置，諸如偏離1°至約10°。
[0056]根據可與本文所述的其他實施方式結合的一些實施方式，本文所述的傳感器可以是距離傳感器或接近傳感器，諸如，感應傳感器、電容傳感器、激光傳感器，或能夠確定傳感器與繞線管凸緣之間的距離的任何類型的距離傳感器或接近傳感器。在本文所述的絲鋸的實施方式中的傳感器可被連接到絲鋸的控制單元。傳感器的測量可以是自動的，且所獲得的值可被自動地載入于存儲在控制單元中的正確參數中。傳感器可例如裝備有傳遞所測量的參數(諸如到凸緣的距離)至控制單元的信號線，在控制單元中，所述參數可相應地被處理。例如，通過傳感器獲得的參數可用于檢查繞線管是否處于正確操作狀態。正確操作狀態可取決于繞線管的形狀(有/無形變，繞線管類型等等)、凸緣到繞線管接收的距離，或凸緣彼此的距離。在參數指示繞線管沒有處于正確操作狀態的情況下，所述參數也可用于引發警報。此外，所述參數可用于計算絲鋸的進一步操作參數，諸如操作行進單元所需的參數、絲鋸的導向輥、將被鋸切的工件的位置等等。例如，可自動地監控和控制凸緣的距離，且可檢測由于絲線重量和絲線壓力的凸緣距離變化以便相應地調整行進單元的行程。
[0057]為了在如圖6中所示的絲鋸裝置的實施方式中測量所需參數，位于靠近繞線管450的凸緣460之處的傳感器421可測量傳感器和繞線管凸緣之間的距離。參考傳感器426可測量傳感器426和繞線管450的凸緣470之間的距離。通過比較由傳感器提供的值，可以推導出在繞線管的凸緣之間或在一個凸緣與繞線管接收(或繞線管接收軸承或機器外殼)之間的距離。在一個實施方式中，傳感器421在凸緣的整個圓周上測量傳感器421和繞線管凸緣460之間的距離，以便檢測可能的凸緣形變。可通過參考傳感器426和凸緣470進行相同檢測。
[0058]圖7圖示繞線管布置700和傳感器布置的實施方式。繞線管布置700可包括兩個繞線管701和702，所述繞線管701和702可被安裝到如上所述的繞線管接收布置。包括兩個繞線管701和702及傳感器布置的繞線管布置700可以在如本文所述的操作期間為絲鋸裝置的一部分。繞線管701、702各自包括兩個凸緣703、704和凸緣705、706。傳感器布置包括四個傳感器710、711、712和713。特別地，傳感器710被提供且適于測量至凸緣703的外部距離，傳感器711被提供且適于測量至凸緣704的外部距離，傳感器712被提供且適于測量至凸緣705的外部距離，且傳感器713被提供且適于測量至凸緣706的外部距離。
[0059]圖7中所示的傳感器布置可以是包括如上所述的傳感器的傳感器布置，所述傳感器諸如距離傳感器等等。此外，盡管在實施方式中圖示具有兩個繞線管，但是圖7中所述的傳感器布置和/或傳感器也可用于其他配置，諸如用于測量僅一個繞線管或多于兩個繞線管的配置。
[0060]本文使用的術語“外部距離”代表從繞線管外部或繞線管主體外部的參考點測量的到凸緣的距離。例如，傳感器710、711、712和713測量從傳感器到凸緣703,704,705和706的凸緣外側處的距離，所述凸緣外側即所述凸緣的被導向離開繞線管主體而不面向繞線管主體的一側。
[0061]圖8圖示根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置500。絲鋸裝置500包括繞線管接收布置510，其中在圖8中僅可見所述繞線管接收布置510的軸承516，因為絲鋸裝置500被圖示為繞線管550安裝到所述繞線管接收布置510上。在繞線管550的端部，提供凸緣560和570。如在圖8中可見,傳感器布置520包括一個傳感器521,所述傳感器521用于測量繞線管550的凸緣560與凸緣570之間的距離。在圖8中所不的實施方式中，傳感器521可以是激光傳感器。根據一些實施方式，傳感器布置520可包括用于通過激光測量距離的元件，所述元件諸如激光產生裝置、照相機，光電二極管，或用于檢測激光束以便確定距離的CXD裝置。
[0062]盡管傳感器521僅被圖示位于凸緣560，但是激光傳感器521也可位于(另外地或替代地)繞線管550的另一端，即接近于凸緣570。
[0063]如在圖8中可見，傳感器421被布置在面向繞線管主體580的凸緣560的內側處。根據一些實施方式，絲鋸裝置的傳感器布置中的傳感器或諸傳感器的位置可根據所使用的傳感器類型、絲鋸的構造環境，所使用的繞線管類型等等來選擇。因此，在繞線管內部的傳感器位置不應被理解為限于激光傳感器或在諸圖中特定圖示的其他特征。
[0064]圖9圖示根據本文所述的實施方式的裝備有用于絲鋸裝置中的傳感器布置的繞線管布置的示例。圖9的繞線管布置750圖示兩個繞線管751和752，所述兩個繞線管751和752可被安裝到根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置的繞線管接收布置。繞線管751包括凸緣753和754，繞線管752包括凸緣755和756。如圖9中所示的傳感器布置進一步包括四個傳感器760、761、762和763。根據本文所述的一些實施方式,傳感器被定位和布置在繞線管主體之上(例如，在兩個凸緣之間的中間位置)且傳感器被定位和配置為用于測量到凸緣的距離。例如，傳感器760測量至凸緣753的內部距離，傳感器761測量至凸緣754的內部距離，傳感器762測量至凸緣755的內部距離，且傳感器763測量至凸緣756的內部距離。如本文所述的內部距離代表傳感器到凸緣內側的距離，所述凸緣內側即凸緣面向繞線管主體的一側。
[0065]根據一些實施方式，傳感器760、761、762和763可適于測量凸緣753、754、755和
756的凸緣形變。此外，盡管在實施方式中圖示具有兩個繞線管，但是圖9中所述的傳感器布置和/或傳感器也可用于其他配置，諸如用于測量僅一個繞線管或多于兩個繞線管的配置。
[0066]如圖9中所示例性圖示的，為了便于組裝起見，用于測量繞線管751的凸緣的凸緣距離或形變的傳感器760、761，以及用于測量繞線管752的凸緣的凸緣距離或形變的傳感器762和763可被安裝在一起或共用共同外殼。然而，應當理解，傳感器的共同外殼僅為示例；傳感器760、761、762和763也可每一個自身以單件方式安裝。
[0067]圖10圖示繞線管布置1100的實施方式。繞線管布置1100可被安裝到根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置的繞線管接收布置。繞線管布置1100包括兩個繞線管1101和1102，每一繞線管分別具有兩個凸緣1103、1104和1105、1106。圖10中所示的繞線管布置的實施方式進一步裝備有根據本文所述的實施方式的傳感器布置1110。傳感器布置1110可以是用于測量到凸緣1103、1104、1105和1106的距離的可旋轉傳感器布置，如由指向各個凸緣的箭頭所示。在一個示例中，傳感器布置1110是激光傳感器布置。根據一些實施方式，傳感器布置1110可被適配且被定位為通過四個旋轉測量到凸緣1103，1104、1105和1106的距離。
[0068]通常，只要為獲得想要的信息所需，傳感器布置1110也可適于通過保持在一個位置來測量凸緣1103、1104、1105和1106的一個凸緣的凸緣狀態而測量單個凸緣的形變。然后，傳感器布置1110可被旋轉到一位置，以便測量凸緣1103、1104、1105和1106的下一個凸緣的凸緣狀態。此外，盡管在實施方式中圖示具有兩個繞線管，但是圖10中所述的傳感器布置和/或傳感器也可用于其他配置，諸如用于測量僅一個繞線管或兩個以上繞線管的配置。
[0069]圖11圖示絲鋸裝置800的示意圖，其中可使用如本文所述的傳感器布置。在圖11中，圖示了繞線管凸緣的操作狀態的一些示例(諸如距離)，所述示例可通過如在本文的實施方式中所述的絲鋸裝置的傳感器布置來測量。圖11圖示具有兩個凸緣860和870的繞線管850。繞線管可被安裝到繞線管接收(在圖11中僅圖示繞線管接收的軸承816)。繞線管接收可被連接到機器外殼817。為了較好的觀察，絲鋸裝置800的傳感器布置沒有圖示在圖11中。然而，絲鋸裝置800可包括如相對于圖2至圖10和圖12至圖13所述的傳感器布置。
[0070]根據一些實施方式，可通過如本文所述的傳感器布置測量的絲鋸裝置的距離可以是在凸緣860和凸緣870之間的距離810。在一個實施方式中，距離810例如通過使用激光傳感器在凸緣860和870的內側(面向繞線管主體880)測量。然而，在繞線管的兩個凸緣之間的距離的測量可例如通過使用包括兩個接近傳感器的傳感器布置在凸緣的外側(不面向繞線管主體880)處進行。
[0071]在一些實施方式中，可通過如本文所述的傳感器布置測量的絲鋸裝置的距離可以是在凸緣860和繞線管接收的軸承817之間的距離820。例如，距離820可通過激光傳感器或接近傳感器測量。在一個實施方式中，距離820可以是在繞線管的凸緣(諸如凸緣860或870中的一個凸緣)和軸承816的表面之間的距離，所述表面特別是大體上平行于繞線管凸緣的軸承816的表面。在圖11中所示的實施方式中，從凸緣860的外側起測量到軸承的距離820 ;然而，距離820也可從凸緣內側起測量。
[0072]在圖11中，絲鋸裝置中的操作參數的進一步示例可以被看作距離830。距離830從繞線管的凸緣(在本文中示例性地為凸緣860)延伸到絲鋸裝置800的機器外殼817。同樣地，盡管距離830被圖示為從凸緣860的外側延伸，但是也可從凸緣860的內側起，或從凸緣870起測量距離830。如上所述，激光傳感器或接近傳感器可用于進行距離830的測量。
[0073]截面A圖示繞線管850的凸緣860的詳細視圖。根據一些實施方式，由本文所述的傳感器布置所測量的操作參數可以是形變840。形變840被示例性地圖示為凸緣邊緣的彎曲。在圖11的截面A中所示的示例中的形變包括達角度841的凸緣形狀的偏差。盡管僅針對凸緣860所圖示,但是凸緣870的形變也可通過本文描述的傳感器布置作為凸緣的操作狀態來測量。應注意，技術人員將了解如何改變所示的示例以便將測量應用于繞線管870的形變，或應用于具有與圖11中所示的示例性形變840不同的形狀和位置的形變。
[0074]圖12圖示根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置。圖12中所示的絲鋸裝置600包括第一繞線管接收布置，其中在圖12中僅可見所述第一繞線管接收布置的軸承616。絲鋸裝置600進一步包括第二繞線管接收布置，其中在圖12中僅可見所述第二繞線管接收布置的軸承618。第一和第二繞線管接收布置可被連接到機器主體617。在一個實施方式中，第一繞線管接收布置適于保持和支撐第一繞線管650，且第二繞線管接收布置適于保持和支撐第二繞線管651。根據一些實施方式，第一繞線管650可以是為絲鋸裝置提供絲線的饋線管，且第二繞線管651可以是在鋸切工藝之后用于卷繞已使用絲線的卷線管。
[0075]根據一些實施方式，絲鋸裝置600包括傳感器布置620。在圖12中所示的實施方式中，傳感器布置620包括:第一傳感器621，用于測量第一繞線管650的凸緣660的操作狀態；第一參考傳感器626，用于提供第一傳感器621的測量的參考；第二傳感器622，用于測量第二繞線管651的凸緣661的操作狀態；和第二參考傳感器627，用于提供第二傳感器622的測量的參考。根據可與本文所述的進一步實施方式結合的一些實施方式，在大體上垂直于傳感器的測量方向的方向上的傳感器布置的第一傳感器6 21和第二傳感器6 2 2之間的距離623可通常在約10mm與約300臟，更通常在約150mm與約280臟，且甚至更加通常在約180mm與約250mm之間的范圍內。
[0076]圖13圖示圖12的絲鋸裝置600的前視圖。在圖13的前視圖中，可見傳感器621和622被安裝到支撐件628，支撐件628又被連接到臂625。臂625可被用作移動單元。參考傳感器626和627被分別安裝到軸承616和618。圖12和圖13的實施方式中所示的傳感器的布置允許在絲鋸裝置中同時測量不止一個繞線管。例如，可同時測量饋線管和卷線管的凸緣的操作狀態。特別地，可在絲鋸裝置的操作期間同時測量饋線管和卷線管的凸緣的操作狀態。然而，在其他實施方式中，可單獨地進行不止一個繞線管的操作狀態的測量。
[0077]根據可與本文所述的其他實施方式結合的一些實施方式，臂(在所述臂上提供傳感器布置的諸傳感器)可以是移動單元，諸如可伸縮臂。在一個實施方式中，可伸縮臂攜載傳感器布置的至少一個傳感器。
[0078]通過在移動單元上提供傳感器布置的傳感器，傳感器可在操作期間被移到繞線管凸緣或從繞線管凸緣處移走。根據一些實施方式，攜載傳感器布置的傳感器的可伸縮臂可在絲鋸操作期間的減速階段時移動到繞線管凸緣。例如，繞線管的旋轉速度可減少且鋸切工藝被即刻暫停或推遲，以便凸緣的操作狀態的測量可通過在各個繞線管凸緣前面移動傳感器來測量。在測量之后，移動單元可從繞線管凸緣移走或縮回以免干擾纏繞和退繞工藝。
[0079]在一個實施方式中，可伸縮臂可包括波紋管，所述波紋管能夠例如通過氣動機構延伸和縮回。圖13中的波紋管狀結構的可伸縮臂625由垂直線所示。根據可與本文所述的其他實施方式結合的一些實施方式，可伸縮臂可被壓縮以在遠離凸緣的方向移動傳感器。可伸縮臂的波紋管狀結構可由柔性材料制成，當可伸縮臂625縮回時，所述材料可沿著垂直線折疊。當可伸縮臂625延伸時，波紋管狀結構的柔性材料將能夠展開。在一個實施方式中，可伸縮臂可通常在約10mm至約300mm，更通常在約150mm與約280mm，甚至更通常在約200mm與250mm之間的范圍內是可伸展和可縮回的。在一個示例中，可伸縮臂可伸縮約230mmo
[0080]根據一些實施方式，可伸縮臂的長度(諸如，在圖13中，臂625的長度624)可通常在約200_至約600mm,更通常在約250_與約500mm,且甚至更通常在約300_與約500_之間的范圍內。在一個示例中，可伸縮臂的長度是約420mm。
[0081]應注意，上文相對于在本文的實施方式中描述的元件尺寸所述的值可取決于絲鋸的尺寸。因此，上述尺寸和值并非限制性且可取決于絲鋸而變化，根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置可用于所述絲鋸中。
[0082]圖14圖示根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置的示意圖。絲鋸裝置900示例性地包括第一繞線管901，所述第一繞線管901可例如是為絲鋸系統900饋送絲線903的饋線管。絲線903通過絲線導向器904和905被導向且通過處理區，在所述處理區中，錠料906可被處理。錠料906的處理可包括將錠料切割成為如上文所述的晶片或薄片。在已通過處理區之后，絲線906通過絲線導向器904和905被導向到第二繞線管902，所述第二繞線管902可以是用于在切割工藝之后接收絲線的卷線管。
[0083]根據一些實施方式，絲鋸裝置900包括如在本文的實施方式中所述的繞線管接收布置和傳感器布置。例如，繞線管901和902可被安裝到如上所述的繞線管接收布置。在圖14中，繞線管接收布置沒有被示出，原因在于繞線管在圖14中圖示為安裝狀態。
[0084]通常，繞線管901和902的凸緣的操作狀態可通過如上所述的傳感器布置來測量。在圖14中，示例性地圖示包括傳感器910和911的傳感器布置。傳感器910、911可被適配用于測量繞線管901和902的凸緣的內部距離。盡管在圖14中圖示具有兩個傳感器910,911的傳感器布置，但是根據本文所述的實施方式的其他傳感器布置也可用于絲鋸裝置900中，所述其他傳感器布置諸如為如圖3至圖10和圖12至圖13中所示的傳感器布置。
[0085]圖15圖示用于測量根據本文所述的實施方式的絲鋸裝置的操作狀態的方法1200的流程圖。根據一些實施方式，絲鋸裝置(將從所述絲鋸裝置測量操作狀態)可以是如上所述的絲鋸裝置。例如，在方塊1210中，絲鋸裝置包括用于接收繞線管的繞線管接收布置，所述繞線管在繞線管的每一端包括一個凸緣。方法1200在方塊1220中包括通過傳感器布置測量至少一個繞線管凸緣的操作狀態。用于測量凸緣的操作狀態的傳感器布置可以例如是如上文相對于圖1至圖13所述的傳感器布置，且所述用于測量凸緣的操作狀態的傳感器布置可包括如上所述的一個或多個接近傳感器或激光傳感器。
[0086]圖16圖示根據本文所述的實施方式的用于測量絲鋸裝置的操作狀態的方法的流程圖1300。方法1300包括方塊1310和1320，所述方塊1310和1320可與如上所述的方塊1210和1220相同。在方法1300中，測量方塊1320中的至少一個繞線管凸緣的操作狀態可包括三個方塊1321、1322和1323的至少一個。根據一些實施方式，方塊1321包括測量在繞線管的凸緣和繞線管接收布置(諸如上文相對于圖2所述的繞線管接收布置)的表面之間的距離。在一個實施方式中，可示例性地測量在繞線管的凸緣和大體上平行于所述凸緣的繞線管接收布置的表面之間的距離。在方塊1322中，可以測量在一個繞線管的兩個繞線管凸緣之間的距離。在方塊1323中，測量其中一個繞線管凸緣的形變，特別地，通過在凸緣的整個圓周上測量傳感器至凸緣的距離來測量凸緣的形變。
[0087]根據一些實施方式，測量繞線管凸緣的操作狀態包括移動傳感器布置至繞線管凸緣，以便測量繞線管凸緣的操作狀態。例如，傳感器布置可通過移動單元被移動向凸緣，所述移動單元諸如移動單元或如上文相對于絲鋸裝置所述的可伸縮臂。在一個實施方式中，移動單元將傳感器布置移動接近于凸緣。從傳感器到凸緣的精確距離可取決于所使用的傳感器和凸緣的尺寸和材料。特別地，傳感器布置被朝向凸緣移動，以便以非接觸方式測量繞線管凸緣的操作狀態。例如，如上所述，傳感器可以是接近傳感器，或激光傳感器或允許以非接觸方式測量至凸緣的距離的任何類型的距離傳感器。
[0088]在一個實施方式中，繞線管凸緣(多個)的操作狀態的測量可在絲鋸操作期間進行。例如，(諸如通過氣動機構)驅動攜載著傳感器布置的至少一部分的移動單元，以便接近于繞線管凸緣(所述繞線管凸緣的操作狀態將被測量)放置傳感器。由移動單元攜載的傳感器布置的部分到凸緣的移動可在絲鋸裝置的操作期間或在絲鋸操作期間的減速階段時進行。以此方式，如果需要測量，或控制單元指示預定時間段(所述預定時間段之后，繞線管凸緣的操作狀態的測量到期)期滿，那么可根據需要提供傳感器布置。
[0089]圖17圖示用于操作絲鋸裝置的方法的流程圖1400。根據一些實施方式，絲鋸裝置可以是如上文相對于圖1至圖13所述的絲鋸裝置，所述絲鋸裝置通過方塊1410表示。在一個實施方式中，方法1400包括在方塊1420中提供用于從繞線管鋸切半導體工件的絲線。繞線管通常包括在繞線管的每一端的繞線管凸緣。在方塊1430中，方法1400包括例如如上所述通過使用傳感器布置測量至少一個繞線管凸緣的操作狀態。傳感器布置可以是上文中相對于用于測量絲鋸的操作狀態的方法或相對于絲鋸裝置所描述的傳感器布置。
[0090]如本文所述的絲鋸裝置可用于各種不同絲鋸技術，諸如使用漿料或金剛石技術，或來回模式的絲鋸。
[0091]通過使用本文所述的絲鋸裝置的實施方式，不僅可以檢測凸緣之間的距離或凸緣和機器主體之間的距離，而且可以檢測在絲鋸操作期間的任何誤差的來源。例如，可以檢測繞線管接收上的繞線管的滑動、凸緣的形變，或被安裝的錯誤類型的繞線管。
[0092]雖然前述內容是針對本發明的實施方式，但是可在不背離本發明的基本范圍的情況下設計本發明的其他和進一步實施方式，且本發明的范圍是由所附權利要求書所決定的。
【權利要求】
1.一種用于鋸切半導體工件(102; 104; 106; 108)的絲鋸裝置(200; 300; 400; 500; 600)，所述絲鋸裝置包括: 用于接收繞線管(250; 350; 450; 550; 650; 651)的繞線管接收布置(210; 310; 410; 510)，所述繞線管在所述繞線管的每一端包括繞線管凸緣(260，270; 360，37O; 460，470; 560，570; 660，670; 661; 671);和 傳感器布置(220; 320; 420 ; 520; 620)，所述傳感器布置用于測量至少一個所述繞線管凸緣(260，270; 360，370; 460; 470; 560，570; 660，670; 661; 671)的操作狀態。
2.如權利要求1所述的絲鋸裝置，其中所述絲鋸裝置(200;300; 400; 500; 600)進一步包括移動單元(325; 625)，且其中所述傳感器布置(320; 620)的至少一部分被安裝到所述移動單元。
3.如權利要求2所述的絲鋸裝置，其中所述移動單元是可伸縮臂。
4.如權利要求1所述的絲鋸裝置，其中所述傳感器布置(220;320; 420; 520; 620)被配置為用于測量至少一個所述繞線管凸緣(260，270; 360，370; 460，470; 560，570; 660，670; 66I;671)的形狀和位置的至少一個。
5.如權利要求1所述的絲鋸裝置，其中所述傳感器布置(220;320; 420; 520; 620)被配置為用于測量包括由以下項組成的群組的至少一項的操作狀態:在所述繞線管(250;350;450;550;650;651)的至少一個所述凸緣(260, 270;360, 370;460;470;560, 570; 660, 670; 661; 671)和所述繞線管接收布置(210; 310; 410; 510)的表面(216;316;416;516;616;618)之間的距離、在一個繞線管(250; 350; 450; 550; 650; 651)的所述兩個凸緣(260，270; 360，370; 460; 470; 560, 570; 660, 670; 661; 671)之間的距離，和至少一個所述繞線管凸緣(260，270; 360，370; 460; 470; 560，570; 660，670; 661; 671)的形變。
6.如權利要求1、2、4或5中的任一項所述的絲鋸裝置，其中所述繞線管接收布置包括第一繞線管接收和第二繞線管接收，所述第一繞線管接收用于接收提供絲線的饋線管(650)，所述第二繞線管接收用于接收收納所述絲線的卷線管(651)，且其中所述傳感器布置(220; 320; 420; 520; 620)被配置為用于測量所述饋線管(650)的至少一個所述繞線管凸緣(660;670)的所述操作狀態，且測量所述卷線管(651)的至少一個所述繞線管凸緣(661; 671)的所述操作狀態。
7.如權利要求6所述的絲鋸裝置，其中所述傳感器布置(220;320; 420; 520; 620)包括至少一個傳感器(621; 626)和至少一個傳感器(622; 627),所述至少一個傳感器(621; 626)適合于測量所述饋線管(650)的所述操作狀態，且所述至少一個傳感器(622;627)用于測量所述卷線管(651)的所述操作狀態。
8.如權利要求7所述的絲鋸裝置，如果從屬于權利要求2，則其中用于所述饋線管(650)的一個傳感器和用于所述卷線管￠51)的一個傳感器(622)被安裝到所述移動單元(625)。
9.如權利要求1、2、4或5中的任一項所述的絲鋸裝置，其中所述絲鋸裝置(200;300;400;500;600)包括機器主體(217;317;417;517;617),所述機器主體(217; 317; 417; 517; 617)被設置為用于提供所述繞線管接收(210; 310; 410; 510)，且其中所述傳感器布置(220; 320; 420; 520; 620)至少在所述機器主體和所述繞線管接收布置的一個處包括參考傳感器裝置。
10.如權利要求6所述的絲鋸裝置，其中所述絲鋸裝置(200;300; 400; 500; 600)包括機器主體(217;317;417;517;617)，所述機器主體(217; 317; 417; 517; 617)被設置為用于提供所述繞線管接收(210; 310; 410; 510)，且其中所述傳感器布置(220; 320; 420; 520; 620)至少在所述機器主體和所述繞線管接收布置的一個處包括參考傳感器裝置。
11.如權利要求2至3中的任一項所述的絲鋸裝置，其中所述絲鋸裝置(200;300;400;500;600)包括機器主體(217;317;417;517;617),所述機器主體(217; 317; 417; 517; 617)被設置成用于提供所述繞線管接收(210; 310; 410; 510)，且其中所述傳感器布置(220; 320; 420; 520; 620)包括在所述機器主體處的參考傳感器和安裝到所述移動單元的傳感器裝置。
12.如權利要求6所述的絲鋸裝置，其中所述絲鋸裝置(200;300; 400; 500; 600)包括機器主體(217;317;417;517;617)，所述機器主體(217; 317; 417; 517; 617)被設置成用于提供所述繞線管接收(210; 310; 410; 510)，且其中所述傳感器布置(220; 320; 420; 520; 620)包括在所述機器主體處的參考傳感器和安裝到所述移動單元的傳感器裝置。
13.如權利要求1、2、4或5中的任一項所述的絲鋸裝置，其中所述傳感器布置(220; 320; 420; 520; 620)包括接近傳感器、激光傳感器和可旋轉傳感器(1110)中的至少一個。
14.一種用于測量鋸切半導體工件(102; 104; 106; 108)的絲鋸裝置(200; 300; 400; 500; 600)的操作狀態的方法(1200 )，所述絲鋸裝置包括用于接收繞線管(250; 350; 450; 550; 650; 651)的繞線管接收布置(210; 310; 410; 510)，所述繞線管(250; 350; 450; 550; 650; 651)在所述繞線管的每一端處包括一個凸緣(260，270; 360, 370;460; 470; 560，570; 660，670; 661; 671)，所述方法包括: 通過傳感器布置(220; 320; 420; 520; 620)測量(1220)至少一個所述繞線管凸緣的所述操作狀態。
15.如權利要求14所述的方法，其中測量至少一個所述繞線管凸緣(260，270;360，370; 460; 470; 560, 570; 660, 670; 661; 671)的所述操作狀態包括至少一個以下所述測量:測量在所述繞線管(250; 350; 450; 550; 650; 651)的至少一個所述凸緣(260, 270; 360, 370; 460, 470; 560, 570; 660, 670; 661; 671)和所述繞線管接收布置(210; 310; 410; 510)的表面(216; 316; 416; 516; 616; 618)之間的距離，測量在一個繞線管(250; 350; 450; 550; 650; 651)的所述繞線管凸緣(260，270; 360，370; 460，470; 560，570; 660，670; 661; 671)之間的距離，和測量一個所述繞線管凸緣(260，270; 360，370; 460，470; 560，570; 660，670; 661; 671)的形變。
16.如權利要求14至15中的任一項所述的方法，其中測量至少一個所述繞線管凸緣的所述操作狀態包括:移動所述傳感器布置的至少一部分至所述繞線管凸緣(260，270; 360，370; 460, 470; 560, 570; 660, 670; 661; 671)，以便測量所述繞線管凸緣的所述操作狀態。
17.如權利要求14至15中的任一項所述的方法，其中測量所述繞線管凸緣的所述操作狀態包括:以非接觸的方式測量所述繞線管凸緣的所述操作狀態。
18.如權利要求14至15中的任一項所述的方法，其中測量所述繞線管凸緣(260，270;360，370; 460; 470; 560，570; 660，670; 661; 671)的至少一個的所述操作狀態是在所述絲鋸的操作期間進行的。
19.如權利要求14至15中的任一項所述的方法，其中測量至少一個所述繞線管凸緣(260，270; 360，370; 460; 470; 560，570; 660，670; 661; 671)的所述操作狀態是在所述絲鋸操作期間的減速階段時進行的。
20.一種用于操作鋸切半導體工件(102; 104; 106; 108)的絲鋸裝置(200; 300; 400; 500; 600)的方法，所述方法包括: 從繞線管(250; 350; 450; 550; 650; 651)提供用于鋸切所述半導體工件的絲線，其中所述繞線管在所述繞線管的每一端包括繞線管凸緣(260，270; 360，370; 460，470; 560，570; 66O,670;661;671)； 根據權利要求14至15中的任一項所述地測量至少一個所述繞線管凸緣(260，270; 36O,370; 460，470; 560，570; 660，670; 661; 671)的所述操作狀態。
【文檔編號】B28D7/00GK104416686SQ201310475905
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年10月12日 優先權日:2013年8月21日
【發明者】C·佐米尼, M·比約 申請人:應用材料瑞士有限責任公司