壓電材料、壓電元件及電子設備的制作方法
【專利摘要】本發明涉及壓電材料、壓電元件及電子設備。具體提供了一種在寬廣的實際使用溫度范圍內具有令人滿意并且穩定的介電常數和機械品質因子的無鉛壓電材料。所述壓電材料包括由式(1)表示的鈣鈦礦型金屬氧化物:(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3(其中1.00≤a≤1.01,0.125≤x≤0.300,并且0.041≤y≤0.074),Mn和Mg。基于以金屬為基礎的100重量份的鈣鈦礦型金屬氧化物,Mn的含量為0.12重量份或更多并且0.40重量份或更少。基于以金屬為基礎的100重量份的鈣鈦礦型金屬氧化物,Mg的含量為0.10重量份或更少(排除0重量份)。
【專利說明】壓電材料、壓電元件及電子設備
【技術領域】
[0001]本發明涉及壓電材料,特別是無鉛壓電材料。本發明還涉及壓電元件、多層壓電元件、液體排出頭、液體排出裝置、超聲馬達、光學設備、振動裝置、除塵裝置、圖像采集裝置和電子設備,每個均包括所述壓電材料。
【背景技術】
[0002]通常,壓電材料為ABO3鈣鈦礦型金屬氧化物如鋯鈦酸鉛(以下稱為“PZT”)。然而,由于PZT包含作為A位點元素的鉛,因而其對環境的影響是有爭議的。因此,需要具有無鉛鈣鈦礦型金屬氧化物的壓電材料。
[0003]已知鈦酸鋇為具有無鉛鈣鈦礦型金屬氧化物的壓電材料。此外,為了改進壓電材料的特性,開發了其基本組成為鈦酸鋇的材料。日本專利
【發明者】小山信也, 清水康志, 久保田純, 上林彰, 田中秀典 申請人:佳能株式會社