專利名稱：線圈連接組件，上電極裝置和led刻蝕機的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于半導體技術，尤其是涉及一種線圈連接組件，具有該線圈連接組 件的上電極裝置和具有該上電極裝置的LED刻蝕機。
背景技術：
LED刻蝕機是LED光源生產過程中的重要的設備，GaN基外延層或藍寶石襯底是刻 蝕的主要對象，刻蝕的效果直接關系到光源芯片的質量高低，進而影響光源的質量。LED刻 蝕機的組成主要包括傳輸和工藝兩個模塊，二者共同影響著刻蝕的效率或者設備的產能， 刻蝕結果主要由工藝模塊決定，LED刻蝕機的上電極裝置的線圈結構決定了離子體分布的 均勻性，進而影響基片的刻蝕效果。圖3示出了傳統LED刻蝕機的上電極裝置，其中線圈A15與線圈支架A14連接，連 接柱A13的下端與線圈支架A14相連，連接條A3，A4，All，A12分別將連接柱A13的上端與 連接片A5，A6，A9，A10的下端連接，連接片A5，A6，A9，AlO的上端與射頻激發裝置A8相連。 射頻激發裝置A8通過線圈A15產生等離子體，決定了對晶片刻蝕的效果，線圈連接條的對 稱性以及線圈連接條與晶片的距離大小都對刻蝕效果具有重要的影響。在上述傳統上電極裝置中，線圈連接條的空間布局凌亂，安裝和拆卸復雜，線圈連 接的對稱性差；且在該上電極裝置應用于刻蝕裝置中時，由于線圈連接條與晶片的距離相 對較小，使得線圈連接條與線圈盒內的其他功能部件相互干涉，等離子體分布均勻性差，對 刻蝕產生不利影響。而且，隨著線圈盒尺寸的減小，上電極裝置的維護困難，因此對線圈連 接條的布置提出了更高的要求。
實用新型內容本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本實用新型的一個目的在于提出一種空間布局整齊、組裝、拆卸和維護方便 的線圈連接組件。本實用新型的另一目的在于提出一種具有上述線圈連接組件的上電極裝置，該上 電極裝置結構緊湊，尺寸減小，維護方便，產生的等離子體均勻。本實用新型的再一目的在于提出一種具有上述上電極裝置的LED刻蝕機，該LED 刻蝕機對晶片的刻蝕均勻，晶片刻蝕質量高。根據本實用新型第一方面的線圈連接組件，包括用于安裝線圈的線圈支架；托盤，所述托盤的上表面形成有第一至第四凹槽；第一至第四線圈連接條，所述第 一至第四線圈連接條分別容納和設置在所述第一至第四凹槽內；和第一至第四連接柱，所 述第一至第四連接柱設置在所述線圈支架的上表面與所述托盤的下表面之間，且所述第一 至第四連接柱分別連接所述第一至第四線圈連接條與所述線圈支架上的對應線圈。根據本實用新型實施例的線圈連接組件，由于設置了托盤，且線圈連接條分別容 納和設置在凹槽內，因此圈連接條的空間布置整齊，而且線圈連接條的尺寸減小，減小了所 需的空間，且組裝、拆卸和維護非常方便。同時，線圈連接柱的高度可以增加，增加了線圈連 接條與線圈支架之間的空間，便于其他部件的維修，同時可以增加線圈連接條與線圈的距離，從而可以增加線圈連接條與晶片之間的距離，提高對晶片的處理效果。另外，根據本實用新型上述實施例的線圈連接組件還可以具有如下附加的技術特 征具體地，所述第一至第四凹槽內分別形成有通孔，其中所述第一至第四連接柱的 上端分別穿過所述通孔與第一至第四線圈連接條相連。可選地，所述第一至第四凹槽為弧形槽。進而，所述第一至第四凹槽沿徑向間隔開設置。優選地，所述第一至第四凹槽同心。具體地，相鄰兩個凹槽中外側凹槽的弧長大于內側凹槽的弧長。優選地，第一至第四線圈連接條的上表面分別與所述托盤的上表面平齊。根據本實用新型第二方面的上電極裝置包括線圈盒，所述線圈盒內限定有空腔， 所述線圈盒的上端面敞開而下端面設有下開口 ；石英蓋，所述石英蓋設置在所述下開口內， 用于封閉所述下開口 ；頂蓋，所述頂蓋設置在線圈盒的頂端且形成有上開口 ；射頻激發裝 置，所述射頻激發裝置設置在所述頂蓋上；線圈；和線圈連接組件，其中所述線圈組件為根 據本發明第一方面所述的線圈連接組件，其中所述線圈安裝在所述線圈連接組件的線圈支 架的下表面上，所述線圈支架安裝在所述石英蓋上，且所述線圈連接組件的第一至第四線 圈連接條分別與所述射頻激發裝置相連。根據本實用新型實施例的上電極裝置，線圈連接條空間布局整齊，安裝、拆卸和維 護簡單，線圈連接條所需空間減小，便于對其他部件的維護，而且線圈連接的對稱性高，產 生的等離子體分布均勻，而且線圈盒的整體尺寸可以減小，上電極裝置的整體尺寸減小。此 外，由于線圈連接柱的高度可以增加，使得所述線圈連接條與線圈之間的距離增大，從而增 加了線圈連接條與晶片之間的距離，減少了與線圈盒內的其他功能部件之間的干涉，提高 了對晶片的處理效果。具體地，所述線圈支架通過安裝支架安裝到石英蓋上。根據本實用新型第三方面的實施例的LED刻蝕機包括根據本實用新型第二方面 實施例所述的上電極裝置。根據本實用新型實施例的LED刻蝕機，由于線圈連接條布置設 計合理，因此等離子體均勻；而且由于線圈連接柱的高度可以增加，使得所述線圈連接條與 晶片之間的距離增大，因此對晶片的刻蝕均勻，晶片質量提高。本實用新型的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述 中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。
本實用新型的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施例的描述中 將變得明顯和容易理解，其中圖1是根據本實用新型實施例的上電極裝置的示意圖；圖2是根據本實用新型實施例的線圈連接組件的托盤的平面示意圖；和圖3是傳統上電極裝置的示意圖。
具體實施方式
下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始 至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的 限制。在本實用新型的描述中，術語“上”、“下”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為 基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型而不是要求本實用新型必 須以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，“第一”、“第二”、 “第三”、“第四”等術語僅僅是為了便于描述，而不能理解為對數量的限制。下面參考附圖描述根據本實用新型實施例的線圈連接組件。如圖1和2所示，根據本實用新型實施例的線圈連接組件包括線圈支架15，托盤 11，第一線圈連接條5、第二線圈連接條4、第三線圈連接條12和第四線圈連接條13，第一線 圈連接柱14A、第二線圈連接柱14B、第三線圈連接柱14C和第四線圈連接柱14D。更具體而言，線圈支架15用于將線圈16安裝到其上，例如線圈16安裝到線圈支 架15的下表面上。托盤11的上表面形成有第一凹槽110、第二凹槽111、第三凹槽112和 第三凹槽113。第一線圈連接條5、第二線圈連接條4、第三線圈連接條12和第四線圈連接 條13分別容納和設置在第一凹槽110、第二凹槽111、第三凹槽112和第三凹槽113內。第 一線圈連接柱14A、第二線圈連接柱14B、第三線圈連接柱14C和第四線圈連接柱14D設置 在線圈支架15的上表面與托盤11的下表面之間，從而分別將第一線圈連接條5、第二線圈 連接條4、第三線圈連接條12和第四線圈連接條13與線圈支架15上的對應線圈16相連。根據本實用新型實施例的線圈連接組件，由于設置了托盤11，第一線圈連接條5、 第二線圈連接條4、第三線圈連接條12和第四線圈連接條13分別容納和設置在第一凹槽 110、第二凹槽111、第三凹槽112和第三凹槽113內，因此第一線圈連接條5、第二線圈連接 條4、第三線圈連接條12和第四線圈連接條13的長度尺寸減小，減小了線圈連接條所需的 空間，并且組裝、拆卸和維護非常方便，同時，第一線圈連接柱14A、第二線圈連接柱14B、第 三線圈連接柱14C和第四線圈連接柱14D的高度可與增加，增加了線圈連接條與線圈支架 15之間的空間，便于其他部件的維修，并且增加了線圈連接條與線圈之間的距離，從而可以 增加線圈連接條與具有根據本發明實施例的線圈連接組件的刻蝕機所刻蝕的晶片之間的 距離，提高刻蝕效果。在本實用新型的一個具體示例中，第一凹槽110、第二凹槽111、第三凹槽112和第 三凹槽113內分別形成有通孔，從而第一線圈連接柱14A、第二線圈連接柱14B、第三線圈連 接柱14C和第四線圈連接柱14D能夠穿過對應的通孔與第一線圈連接條5、第二線圈連接條 4、第三線圈連接條12和第四線圈連接條13相連。在本實用新型的一些實施例中，如圖2所示，第一凹槽110、第二凹槽111、第三凹 槽112和第三凹槽113為弧形槽。第一凹槽110、第二凹槽111、第三凹槽112和第三凹槽 113沿托盤11的徑向間隔開設置。在更具體的實施例中，第一凹槽110、第二凹槽111、第三 凹槽112和第三凹槽113同心設置，并且相鄰兩個凹槽中外側凹槽的弧長大于內側凹槽的 弧長。如圖1所示，在本實用新型的一個具體示例中，第一線圈連接條5、第二線圈連接 條4、第三線圈連接條12和第四線圈連接條13的上表面分別與托盤11的上表面平齊。下面參考圖1描述根據本實用新型實施例的具有上述線圈連接組件的上電極裝置。[0042]如圖1所示，根據本實用新型一個實施例的上電極裝置包括線圈盒17，石英蓋1， 頂蓋7，射頻激發裝置8，線圈16和線圈連接組件。更具體地，所述線圈連接組件可以為參考上面實施例描述的線圈連接組件。線圈 盒17內限定有空腔，線圈盒17的上端面敞開而下端面設有下開口。石英蓋1設置在下開 口內用于封閉下開口。頂蓋7設置在線圈盒17的頂端且形成有上開口。射頻激發裝置8 設置在頂蓋7上。如圖1所示，線圈16安裝在線圈支架15的下表面上，線圈支架15安裝在石英蓋1 上，例如通過安裝支架2安裝到石英蓋1上，并且與石英蓋1間隔開預定距離，第一線圈連 接條5、第二線圈連接條4、第三線圈連接條12和第四線圈連接條13分別與射頻激發裝置 8相連，例如，分別與第一連接片6，第二連接片10，第三連接片9和第四連接片3相連。需 要理解的是，第一連接片6，第二連接片10，第三連接片9和第四連接片3可以為連接條的 形式。第一線圈連接柱14A、第二線圈連接柱14B、第三線圈連接柱14C和第四線圈連接 柱14D的上端分別與第一線圈連接條5、第二線圈連接條4、第三線圈連接條12和第四線圈 連接條13相連而它們的下端分別與對應的線圈16相連。根據本實用新型實施例的上電極裝置，由于線圈連接條設置在托盤上的凹槽內， 因此線圈連接條空間布置整齊，上電極裝置產生的等離子體分布均勻，線圈連接條的安裝、 拆卸和維護簡單，所需空間減小，由此線圈連接柱的高度可以增加，便于對其他部件的維 護；并且由于線圈連接柱的高度可以增加，使得線圈連接條與線圈之間的距離增大，進而使 得線圈連接條與具有根據本發明實施例的上電極裝置的刻蝕機所處理的晶片之間的距離 可以增大，減小了線圈連接條與線圈盒內的其他功能部件之間的干涉，提高了刻蝕效果。而 且，線圈盒的整體尺寸可以減小，上電極裝置的整體尺寸可以減小。根據本實用新型實施例的上電極裝置可以用于LED刻蝕機，具有根據本實用新型 實施例的上電極裝置的LED刻蝕機，由于線圈連接條的布置設計合理，線圈連接布置更加 有效，因此等離子體分布均勻，而且，線圈連接條與晶片的距離增大，因此對晶片的刻蝕均 勻，晶片的質量提高。根據本實用新型的實施例的LED刻蝕機的其他構成都是已知的，這里 不再詳細描述。需要理解的是，根據本實用新型實施例的上電極裝置并不限于用于LED刻蝕機， 也可以用于其他半導體處理設備。在本說明書的描述中，參考術語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示 例”、或“一些示例”等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特征、結構、材料或者特 點包含于本實用新型的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表 述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結構、材料或者特點可以在 任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例，本領域的普通技術人員可以理解 在不脫離本實用新型的原理和宗旨的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換 和變型，本實用新型的范圍由權利要求及其等同物限定。
權利要求1.一種線圈連接組件，其特征在于，包括用于安裝線圈的線圈支架；托盤，所述托盤的上表面形成有第一至第四凹槽；第一至第四線圈連接條，所述第一至第四線圈連接條分別容納和設置在所述第一至第 四凹槽內；和第一至第四連接柱，所述第一至第四連接柱設置在所述線圈支架的上表面與所述托盤 的下表面之間，且所述第一至第四連接柱分別連接所述第一至第四線圈連接條與所述線圈 支架上的對應線圈。
2.根據權利要求1所述的線圈連接組件，其特征在于，所述第一至第四凹槽內分別形 成有通孔，其中所述第一至第四連接柱的上端分別穿過所述通孔與所述第一至第四線圈連 接條相連。
3.根據權利要求1所述的線圈連接組件，其特征在于，所述第一至第四凹槽為弧形槽。
4.根據權利要求3所述的線圈連接組件，其特征在于，所述第一至第四凹槽沿徑向間 隔開設置。
5.根據權利要求4所述的線圈連接組件，其特征在于，所述第一至第四凹槽同心。
6.根據權利要求4或5所述的線圈連接組件，其特征在于，相鄰兩個凹槽中外側凹槽的 弧長大于內側凹槽的弧長。
7.根據權利要求1所述的線圈連接組件，其特征在于，所述第一至第四線圈連接條的 上表面分別與所述托盤的上表面平齊。
8.—種上電極裝置，其特征在于，包括線圈盒，所述線圈盒內限定有空腔，所述線圈盒的上端面敞開而下端面設有下開口 ；石英蓋，所述石英蓋設置在所述下開口內，用于封閉所述下開口 ；頂蓋，所述頂蓋設置在線圈盒的頂端且形成有上開口 ；射頻激發裝置，所述射頻激發裝置設置在所述頂蓋上；線圈；和線圈連接組件，其中所述線圈組件為根據權利要求1-7中任一項所述的線圈連接組 件，其中所述線圈安裝在所述線圈連接組件的線圈支架的下表面上，所述線圈支架安裝在 所述石英蓋上，且所述線圈連接組件的第一至第四線圈連接條分別與所述射頻激發裝置相 連。
9.根據權利要求8所述的上電極裝置，其特征在于，所述線圈支架通過安裝支架安裝 到所述石英蓋上。
10.一種LED刻蝕機，其特征在于，包括根據權利要求8或9所述的上電極裝置。
專利摘要本實用新型公開一種線圈連接組件，包括用于安裝線圈的線圈支架；托盤，所述托盤的上表面形成有第一至第四凹槽；第一至第四線圈連接條，所述第一至第四線圈連接條分別容納和設置在所述第一至第四凹槽內；和第一至第四連接柱，所述第一至第四連接柱設置在線圈支架的上表面與托盤的下表面之間以分別將第一至第四線圈連接條與所述線圈支架上的對應線圈相連。根據本實用新型實施例的線圈連接組件，圈連接條的空間布局整齊，高度減小，減小了連接條所需的空間，組裝和拆卸非常方便，線圈連接條與線圈支架之間的空間增加，便于其他部件的維修。本實用新型還提出了一種具有上述線圈連接組件的上電極裝置和具有該上電極裝置的LED刻蝕機。
文檔編號H01J37/32GK201893315SQ20102060291
公開日2011年7月6日 申請日期2010年11月11日 優先權日2010年11月11日
發明者李璐, 管長樂, 韋剛 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司