專利名稱：一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種除塵裝置，特別涉及一種薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置。
背景技術：
薄膜太陽能電池制備過程中激光刻劃工藝產生的粉塵會帶來三方面不良影響一 是部分粉塵殘留在激光刻線的刻線槽內，導致短路的發生；二是粉塵會散步到空氣中，影響 凈化車間的潔凈度；三是這些粉塵是導電的，極易粘附在電路板上對各電子元件造成損壞。目前，薄膜太陽能電池領域使用的激光刻劃機主要有兩種工作方式，一種是激光 束透過玻璃對膜層進行刻劃，刻劃中產生的粉塵、顆粒沿激光束出射方向高速噴出，具有 一定的運動方向，采用這種刻劃方式的除塵裝置與激光刻劃機分別位于薄膜太陽能電池兩 側，設計較為容易；另一種是由于特殊工藝需要，激光束需直接作用到膜層上，激光刻線中 產生的粉塵只能沿激光束入射方向返回，且由于激光束的沖擊，粉塵具有多個發散的運動 方向，普通的除塵系統難以達到較好的除塵效果。申請號200810218755. 3的中國專利公開 了一種激光刻線除塵裝置，是針對激光束透過玻璃對膜層進行加工的激光刻線機設計的， 該裝置包括吸塵裝置和抽風裝置兩部分，其優點是結構簡單、易于實現，但該裝置不適用于 激光束直接作用到電池板膜層的刻劃方式，不能解決激光加工中產生的粉塵、顆粒沿激光 入射方向返回后對激光束的遮擋和聚焦鏡片的污染。
發明內容本實用新型的任務是針對現有除塵裝置無法解決粉塵、顆粒沿激光入射方向返回 后對激光束造成遮擋和污染聚焦鏡片的問題，提供一種適用于激光束直接作用電池板膜面 的激光刻線除塵裝置，具有效果好、成本低、設計簡單、易于產業化的優點。為實現以上任務，本實用新型采用的技術方案是一種用于薄膜太陽能電池激光 刻線除塵裝置，包括吸塵機構、抽風機構以及連接所述吸塵機構與所述抽風機構的連接機 構，所述吸塵機構固定在激光聚焦鏡頭的固定板上，其特征在于所述吸塵機構包括環繞激 光束的空心套筒，所述空心套筒外側設有與所述連接構件相通的孔，由所述連接機構將吸 塵機構連接至所述抽風機構。所述空心套筒包括內管、外管、片狀大圓環以及片狀小圓環，所述內管和外管通過 所述大圓環和所述小圓環共軸焊接，所述大圓環位于頂部，所述小圓環位于外管和內管之 間的中上部。所述與連接構件相通的孔的位置不高于所述小圓環。所述抽風機構包括抽風機和濾塵箱。所述連接機構包括連接固定管、波紋管和拖鏈，所述連接固定管的一端焊接在所 述空心套筒外側，另一端和所述波紋管相連，所述波紋管置于所述拖鏈內。所述抽風機是2KW 3KW的渦輪風機。[0011]所述吸塵機構距離薄膜太陽能電池板1 2cm。所述連接固定管是不銹鋼材質本實用新型的有益效果是吸塵機構采用空心套筒結構有效防止粉塵對激光束的 污染，克服了傳統除塵系統針對激光光路保護需要額外增加吹風裝置的問題。
圖1是本實用新型整體結構示意圖及實施例圖圖2是本方案吸塵部分的剖面圖圖3是圖2中A-A剖視示意圖圖1-3中，抽風機1，濾塵箱2，固定板3，激光聚焦鏡頭4，拖鏈5，波紋管6，吸塵機 構7，激光束8，薄膜太陽能電池板9，粉塵10，大圓環7-1，小圓環7-2，外管7-3，內管7-4， 連接固定管7-5，固定片7-6。
以下結合附圖對本實用新型進一步說明。本實用新型主要由吸塵機構7、抽風機構以及連接所述吸塵機構和抽風機構的連 接機構組成，吸塵機構7固定在激光聚焦鏡頭4的固定板3上。抽風機構包括抽風機1、濾 塵箱2，連接機構包括拖鏈5、波紋管6、連接固定管7-5。吸塵機構7呈一空心套筒，包括大 圓環7-1、小圓環7-2、外管7-3、內管7-4、固定片7-6，大、小圓環呈片狀，各部分優選不銹鋼 材質，內管7-4在外管7-3內部，兩者通過位于頂部和中上部的片狀圓環形大圓環7-1和小 圓環7-2共軸焊接，外管7-3、內管7-4和小圓環7-2三者間形成頂部密封，外管7-3的側面 開有孔，并與連接固定管7-5焊接，連接固定管7-5又通過焊接于其上面的固定片7-6將整 個吸塵機構7通過螺絲固定在激光聚焦鏡頭4的固定板3上，這樣可以保證吸塵裝置7 — 直處于激光聚焦鏡頭4下方。波紋管6置于拖鏈5內，一頭與吸塵機構7相連，一頭與濾塵 箱2相連。激光刻劃時，固定板3在電機作用下帶動激光聚焦鏡頭4和吸塵機構7做同步 往復運動，拖鏈5同時也帶動波紋管6隨同做伸長和收縮運動，激光束8直接作用到電池板 9上表面的膜層上，產生了運動方向發散的粉塵10，吸塵機構7將粉塵10吸出后，通過波紋 管6進入濾塵箱2進行過濾，過濾后的氣體經抽風機1的排風口排出，最終完成除塵過程。
具體實施方式
實施例1 見圖1，本實用新型主要由吸塵機構7、抽風機構以及連接所述吸塵機構和抽風機 構的連接機構組成，吸塵機構7固定在激光聚焦鏡頭4的固定板3上。抽風機構包括抽風機 1、濾塵箱2，連接機構包括拖鏈5、波紋管6、連接固定管7-5。吸塵機構7呈一空心套筒，包 括大圓環7-1、小圓環7-2、外管7-3、內管7-4、固定片7-6，大、小圓環呈片狀，各部分均為不 銹鋼材質，內管7-4在外管7-3內部，兩者通過位于頂部和中上部的片狀圓環形大圓環7-1 和小圓環7-2共軸焊接，外管7-3、內管7-4和小圓環7-2三者間形成頂部密封，外管7-3的 側面開有孔，并與連接固定管7-5焊接，連接固定管7-5又通過焊接于其上面的固定片7-6 將整個吸塵機構7通過螺絲固定在激光聚焦鏡頭4的固定板3上，這樣可以保證吸塵裝置 7 一直處于激光聚焦鏡頭4下方。波紋管6置于拖鏈5內，一頭與吸塵機構7相連，一頭與 濾塵箱2相連。抽風機1選用2KW的渦輪風機，吸塵裝置7與電池板9的間距為1cm。激光刻劃時，固定板3在電機作用下帶動激光聚焦鏡頭4和吸塵機構7做同步往復運動，拖鏈5 同時也帶動波紋管6隨同做伸長和收縮運動，激光束8直接作用到電池板9上表面的膜層 上，產生了運動方向發散的粉塵10，吸塵機構7將粉塵10吸出后，通過波紋管6進入濾塵箱 2進行過濾，過濾后的氣體經抽風機1的排風口排出，最終完成除塵過程。實施例2 見圖1，具體實施方式
同實施例1，在此不再贅述。不同之處在于，抽風機1選用 3KW的渦輪風機，吸塵裝置7與電池板9的間距為2cm。激光刻劃時，固定板3在電機作用 下帶動激光聚焦鏡頭4和吸塵機構7做同步往復運動，拖鏈5同時也帶動波紋管6隨同做 伸長和收縮運動，激光束8直接作用到電池板9上表面的膜層上，產生了運動方向發散的粉 塵10，吸塵機構7將粉塵10吸出后，通過波紋管6進入濾塵箱2進行過濾，過濾后的氣體經 抽風機1的排風口排出，最終完成除塵過程。實施例3 見圖1，具體實施方式
同實施例1，在此不再贅述。不同之處在于，抽風機1選用 2. 5KW的渦輪風機，吸塵裝置7與電池板9的間距為1. 5cm。激光刻劃時，固定板3在電機 作用下帶動激光聚焦鏡頭4和吸塵機構7做同步往復運動，拖鏈5同時也帶動波紋管6隨 同做伸長和收縮運動，激光束8直接作用到電池板9上表面的膜層上，產生了運動方向發散 的粉塵10，吸塵機構7將粉塵10吸出后，通過波紋管6進入濾塵箱2進行過濾，過濾后的氣 體經抽風機1的排風口排出，最終完成除塵過程。本實用新型的技術方案不限于上述實施例，在本領域普通技術人員所具備的知識 范圍內，還可以在不脫離本實用新型宗旨的前提下作出各種變化，從本實用新型公開的內 容直接導出或聯想到的所有變形，均應認為是本實用新型的保護范圍。
權利要求1.一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，包括吸塵機構、抽風機構以及連接所 述吸塵機構與所述抽風機構的連接機構，所述吸塵機構固定在激光聚焦鏡頭的固定板上， 其特征在于所述吸塵機構包括環繞激光束的空心套筒，所述空心套筒外側設有與所述連接構件相通的孔，由所述連接機構將吸塵機構連接至 所述抽風機構。
2.根據權利要求1所述的用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于 所述空心套筒包括內管、外管、片狀大圓環以及片狀小圓環，所述內管和外管通過所述大圓環和所述小圓環共軸焊接，所述大圓環位于頂部，所述 小圓環位于外管和內管之間的中上部。
3.根據權利要求2所述的一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于 所述與連接構件相通的孔的位置不高于所述小圓環。
4.根據權利要求1所述的一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于 所述抽風機構包括抽風機和濾塵箱。
5.根據權利要求1所述的一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于 所述連接機構包括連接固定管、波紋管和拖鏈，所述連接固定管的一端焊接在所述空心套筒外側，另一端和所述波紋管相連，所述波紋管置于所述拖鏈內。
6.根據權利要求4所述的一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于所 述抽風機是2KW 3KW的渦輪風機。
7.根據權利要求1所述的一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于所 述吸塵機構距離薄膜太陽能電池板1 2cm。
8.根據權利要求5所述的一種用于薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，其特征在于所 述連接固定管是不銹鋼材質。
專利摘要本實用新型公開了一種薄膜太陽能電池激光刻線除塵裝置，屬于太陽能電池技術領域。本實用新型包括吸塵機構、抽風機構以及連接吸塵機構與抽風機構的連接機構，吸塵機構固定在激光聚焦鏡頭的固定板上，其特征在于所述吸塵機構包括環繞激光束的空心套筒，空心套筒外側設有與所述連接構件相通的孔，連接機構將吸塵機構連接至抽風機構。本實用新型的吸塵機構采用空心套筒結構有效防止粉塵對激光束的污染，克服了傳統除塵系統針對激光光路保護需要額外增加吹風裝置的問題。
文檔編號B23K26/16GK201856037SQ201020554230
公開日2011年6月8日 申請日期2010年9月30日 優先權日2010年9月30日
發明者于明珠, 李毅 申請人:深圳市創益科技發展有限公司