專利名稱：一種提高安全性的石墨盤抓手的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及利用金屬有機化學汽相淀積(M0CVD)技術生長外延片技術領域，尤其是指
應用于高頻加熱技術時常用的一種提高安全性的石墨盤抓手。
背景技術：
金屬有機化學汽相淀積(MOCVD)系統是一種能夠制備納米量級超薄層材料的研究和生產
設備，被廣泛用于納米半導體材料及器件的研究和開發工作，在MOCVD設備上進行材料生
長需要快速的升降溫工藝，常用中高頻感應加熱和電阻絲加熱兩種。用中高頻加熱時常使用
石墨盤做加熱主體，石墨盤是一種潔凈的加熱方式。
由于傳統的石墨盤抓手利用的是杠桿原理在抓手一端l'固定時，另一端2'整體圍繞O
點轉動，導致推手ll'及21'端開口度過小時操作不靈活，開口度過大時則容易碰到MOCVD
石英件的側壁而造成昂貴石英件的損壞；其次由于其分離的兩個部分間的連接部分較少(只
有O點)，因此整個結構不夠緊湊，容易脫落松動而造成安全事故。
因此，設計一種活動靈活并且能夠方便安全操作的專用抓手便顯的尤其重要。
實用新型內容
本實用新型所要解決的技術問題是提供用于MOCVD技術領域的一種安全靈活且能準確定位的石墨盤專用抓手。
為解決上述問題，本實用新型采用如下技術方案 一種提高安全性的石墨盤抓手，該石墨盤抓手包括第一懸臂及與第一懸臂連接的第二懸臂，所述第一懸臂包括第一橫梁與第一橫梁通過螺紋連接的推手，所述第二懸臂包括第二橫梁及與所述第二橫梁匹配的定標模塊和自
鎖模塊，其特征在于所述第二橫梁為中空鋼管，其一側開設有窗口，用于和第一橫梁連接并控制第一橫梁中推手的移動距離。
作為本實用新型的優選方案之一，所述窗口上方有刻度標注，便于決定在具體的場合下石墨盤抓手打開的距離。
作為本實用新型的優選方案之一，所述石墨盤抓手進一步包括與第二懸臂橫梁通過螺釘
固定的自鎖裝置。
作為本實用新型的優選方案之一，所述自鎖裝置由不銹鋼管制成。
作為本實用新型的優選方案之一，所述不銹鋼管內徑大于或等于第二懸臂上的第二橫梁外徑，所述不銹鋼管上有螺紋孔并通過螺釘與第二橫梁連接固定。
作為本實用新型的優選方案之一，所述石墨盤抓手包括定標模塊，該模塊由內徑大于或等于第二橫梁外徑的不銹鋼管制成，其上有螺紋孔并通過螺釘與第二橫梁連接固定以確定推手的最大活動距離進而精確控制抓手的開口度。
本實用新型涉及一種活動靈活并且能夠方便準確安全操作的石墨盤抓手，增加了石墨盤操作的安全性。
圖1是現有石墨盤抓手結構示意圖2是本實用新型石墨盤抓手結構示意圖3是本實用新型石墨盤抓手結構分解圖。
具體實施方式
本實用新型涉及一種提高安全性的石墨盤抓手，請參照圖2至圖3所示，該石墨盤抓手包括第一懸臂1及與第一懸臂1連接的第二懸臂2，所述第一懸臂1包括第一橫梁11與第一橫梁11通過螺紋連接的第一推手12，所述第二懸臂2包括中空的第二橫梁21及與所述第二橫梁21通過螺紋連接的第二推手22，所述石墨盤抓手設有套設于第二橫梁21上的定標模塊3和自鎖模塊4，所述第二橫梁21上開有窗口 23，該窗口 23—側設有刻度盤24，便于決定在具體的場合下石磨盤抓手打開的距離。所述定位模塊3用于和第二橫梁21連接并控制第一橫梁11的第一推手12的移動距離。
所述窗口 23上方有刻度盤24，便于決定在具體的場合下石墨盤抓手打開及閉合時的準確位置。第一懸臂1與第二懸臂2組合后最大的開口不大于整個活動區域的范圍，防止造成周邊器件的損傷，同時其最小開口等于要抓取石墨盤的外圍直徑并通過自鎖模塊4鎖定在具體的位置，增加了操作的安全性。
所述自鎖裝置4通過螺釘42和第一套筒41與第二橫梁21固定。所述定標模塊3通過螺釘32和第二套筒31裝設于第二橫梁21上。
所述第一橫梁11遠離第一推手12的一端設有凹槽110，所述第一套筒41 一端設有與所述凹槽110配和的卡槽43。使用時，螺釘33插裝于所述凹槽110內，卡槽43卡合與所述螺釘33上。
此抓手由第一懸臂1和第二懸臂2兩個分立部件組成，第一懸臂1和第二懸臂2的接觸部分較長，這樣整體結構比較緊湊且能夠承受更大的重量從而增加了操作安全性。
第一懸臂1有獨立的結構和一個可以拆卸的第一推手11組成，推手可以和整個第一懸臂1通過螺紋連接。第二懸臂2包含一邊開有窗口 23的第二橫梁21，用于和第一懸臂1的連接和控制第一懸 臂1中第一推手12的移動距離。
第二懸臂2的窗口 23區上方有刻度盤24，便于決定在具體的場合下石磨盤抓手打開的距 離。第一懸臂1和第二懸臂2組合后最大的開口不大于整個活動區域的范圍防止造成器件的 損傷。同時加入了自鎖裝置4，定標模塊3，進一步增加其安全性和準確性。
自鎖裝置4由材質稍軟且彈性較好的不銹鋼管制成。該不銹鋼管內徑稍大于或等于第二 懸臂2的第二橫梁21外徑且最終外型如附圖2至3所標示形狀。其上有螺紋孔并通過螺釘與 第二懸臂2的第二橫梁21連接固定。所述石墨盤抓手包括定標模塊3。該定標模塊3由內徑 稍大于或等于第二懸臂2的第二橫梁21外徑的不銹鋼管制成，其上有螺紋孔并通過螺釘與第 二懸臂2的第二橫梁21連接固定以確定第一推手及第二推手的最大活動距離進而精確控制石 磨盤抓手的開口度。
以上實施例僅用以說明而非限制本實用新型的技術方案。在此基礎上所作的不脫離本實 用新型精祌和范圍的特征均應涵蓋在本實用新型的專利申請范圍當中。
權利要求1. 一種提高安全性的石墨盤抓手，該石墨盤抓手包括第一懸臂及與第一懸臂連接的第二懸臂，所述第一懸臂包括第一橫梁與第一橫梁通過螺紋連接的推手，所述第二懸臂包括第二橫梁及與所述第二橫梁匹配的定標模塊和自鎖模塊，其特征在于所述第二橫梁為中空鋼管，其一側開設有窗口，用于和第一橫梁連接并控制第一橫梁中推手的移動距離。
2. 如權利要求1所述的一種提高安全性的石墨盤抓手，其特征在于所述窗口上方有刻度 標注，便于決定在具體的場合下石墨盤抓手打開的距離。
3. 如權利要求1所述的一種提高安全性的石墨盤抓手，其特征在于所述石墨盤抓手進一 步包括與第二懸臂橫梁通過螺釘固定的自鎖裝置。
4. 如權利要求3所述的一種提高安全性的石墨盤抓手，其特征在于所述自鎖裝置由不銹 鋼管制成。
5. 如權利要求4所述的一種提高安全性的石墨盤抓手，其特征在于所述不銹鋼管內徑大 于或等于第二懸臂上的第二橫梁外徑，所述不銹鋼管上有螺紋孔并通過螺釘與第二橫梁連接 固定。
6. 如權利要求1所述的一種提高安全性的石墨盤抓手，其特征在于所述石墨盤抓手包括 定標模塊，該模塊由內徑大于或等于第二橫梁外徑的不銹鋼管制成，其上有螺紋孔并通過螺 釘與第二橫梁連接固定以確定推手的最大活動距離進而精確控制抓手的開口度。
專利摘要本實用新型涉及一種提高安全性的石墨盤抓手，該石墨盤抓手包括第一懸臂及與第一懸臂連接的第二懸臂，所述第一懸臂包括第一橫梁與第一橫梁通過螺紋連接的推手，所述第二懸臂包括中空的第二橫梁及與所述第二橫梁匹配的定標模塊和自鎖模塊，所述第二橫梁開有窗口，用于和第一橫梁連接并控制第一橫梁中推手的移動距離。所述窗口上方有刻度標注，便于決定在具體的場合下石墨盤抓手打開及閉合時的準確位置。第一懸臂與第二懸臂組合后最大的開口不大于整個活動區域的范圍，防止造成周邊器件的損傷，同時其最小開口等于抓取石墨盤的外徑并通過自鎖模塊鎖定在具體的位置，進一步增加了操作的安全性。
文檔編號C23C16/00GK201288216SQ200820154598
公開日2009年8月12日 申請日期2008年10月29日 優先權日2008年10月29日
發明者淼 李 申請人:上海藍光科技有限公司