專利名稱：連續式真空濺鍍裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種真空濺鍍裝置，特別是涉及一種連續式真空濺鍍裝置。
背景技術：
眾所皆知地，真空濺鍍技術是已廣泛應用在眾多產業領域中，舉凡半導體制造業、
光電業、電子業......，而為了提高鍍膜產品的競爭力，降低設備與操作成本、縮短周期時
間(cycle time)、提高產能效率、提升鍍膜品質與產品優良率......等，則成為業界所追
求的目標方向。因此，連續式(in-line)多腔體(multi-chambers)真空濺鍍設備，在具備 設備成本低、設置空間需求較小、周期時間短，與產能大等優勢下，已漸漸取代傳統的批次
式(batch type)或晶圓式(wafer type)真空濺鍍設備。 簡單來說，連續式真空濺鍍設備通常包含一入料腔體(中低真空度)、一鍍膜腔 體(高真空度)與一出料腔體(中低真空度)，待加工基板是一片接一片地連續輸入或輸 出上述腔體。其中，由于入料腔體(loadlock)必需反復地抽真空(pumpdown)與破真空 (venting)，而鍍膜腔體是維持在高真空度狀態下而不需破真空，所以，業界普遍認為，入料 腔體的抽真空與破真空效率會對整個濺鍍制程的周期時間、產能、污染控制與產品優良率 等層面產生直接、顯著的影響。 由此可見，上述現有的連續式真空濺鍍裝置在結構與使用上，顯然仍存在有不便
與缺陷，而亟待加以進一步改進。為解決上述存在的問題，相關廠商莫不費盡心思來謀求解
決之道，但長久以來一直未見適用的設計被發展完成，而一般產品又沒有適切的結構能夠
解決上述問題，此顯然是相關業者急欲解決的問題。因此如何能創設一種新型結構的連續
式真空濺鍍裝置，實屬當前重要研發課題之一，亦成為當前業界極需改進的目標。 而為了達到縮短入料腔體的充/抽氣時間與提高其運轉速度的目的，常見是從腔
體體積與真空抽氣系統來進行最佳化設計，如傳統的方式是以原本的入料腔體搭配較大型
的抽氣泵(泵即幫浦)，目前亦有利用縮小入料腔體體積與縮短抽氣泵的前置管線長度等 作法。本案申請人則是利用改變入料腔體的抽氣模式的手段，使入料腔體的抽/排氣效率 與運轉速度提高，基板能迅速輸入/出入料腔體，以達縮短周期時間與提升產能效果。
發明內容本實用新型的目的在于，克服現有的連續式真空濺鍍裝置所存在的缺陷，而提供 一種新型結構的連續式真空濺鍍裝置，所要解決的技術問題是提供一種能優化入料腔體的 抽/排氣效率與運作速度，可以縮短周期時間并提增產能的連續式真空濺鍍裝置，非常適 于實用。 本實用新型的目的及解決其技術問題是采用以下的技術方案來實現的。依據本實 用新型提出的一種連續式真空濺鍍裝置，其包含一個入料單元，以及一個連接該入料單元 的入料抽氣單元，其中該入料單元，具有一個連接該入料抽氣單元且能進行抽真空與破真 空的第一腔體，以及一個連接該第一腔體與該入料抽氣單元且只進行抽真空的第二腔體。[0008] 本實用新型的目的以及解決其技術問題還可以采用以下的技術措施來進一步實 現。 較佳地，前述的連續式真空濺鍍裝置，其中所述的入料單元還具有一個設置在該 第一腔體與該第二腔體間的活動閥門，該入料抽氣單元具有一個連接該第一腔體的第一粗 抽泵、一個連接該第二腔體的第二粗抽泵、一個設置在該第一腔體與該第一粗抽泵間的第 一氣閥，以及一個設置在該第二腔體與該第二粗抽泵間的第二氣閥。 較佳地，前述的連續式真空濺鍍裝置，其中所述的入料抽氣單元具有一個連接該 第一腔體與該第二腔體的粗抽泵、一個設置在該第一腔體與該第二腔體間的第一氣閥、一 個設置在該粗抽泵與該第一腔體之間的第二氣閥，以及一個設置在該粗抽泵與該第二腔體 間的第三氣閥。 較佳地，前述的連續式真空濺鍍裝置，其還包含一個并接該入料單元的第二腔體 的濺鍍單元，以及一個連接該濺鍍單元的濺鍍抽氣單元，該濺鍍單元具有一個連接該第二 腔體的工作腔體，該濺鍍抽氣單元具有一個連接該工作腔體的粗抽泵，以及一個連接該工 作腔體的細抽泵。 較佳地，前述的連續式真空濺鍍裝置，其還包含一個并接該入料單元的第一腔體 的濺鍍單元，以及一個連接該濺鍍單元的濺鍍抽氣單元，該濺鍍單元具有一個連接該第一 腔體的工作腔體，該濺鍍抽氣單元具有一個連接該工作腔體的粗抽泵，以及一個連接該工 作腔體的細抽泵。 較佳地，前述的連續式真空濺鍍裝置，其還包含一個并接該濺鍍單元的出料單元， 以及一個連接該出料單元的出料抽氣單元，該出料單元具有一個出料腔體，該出料抽氣單 元具有一個連接該出料腔體的粗抽泵。 較佳地，前述的連續式真空濺鍍裝置，其還包含一個氣隔單元，該氣隔單元具有一 個阻隔設置在外界環境與該第一腔體之間的入料閥門、一個阻隔設置在該入料單元與該工 作腔體之間的加工入口閥門、一個阻隔設置在該工作腔體與該出料腔體之間的加工出口閥 門，以及一個阻隔設置該出料腔體與外界環境之間的出料閥門。 本實用新型與現有技術相比具有明顯的優點和有益效果。借由上述技術方案，本 實用新型連續式真空濺鍍裝置至少具有下列優點及有益效果本實用新型利用該第二腔體 是持續維持在低于環境氣壓的特定真空狀態下而不需破真空的設計，具有能優化該第一腔 體的抽/排氣效率，因而提高該入料單元的運作速度，使整體產生周期時間縮短與產能提 升等功效。 綜上所述，本實用新型提供一種能優化入料腔體的抽/排氣效率與運作速度，可
以縮短周期時間并提增產能的連續式真空濺鍍裝置，非常適于實用。本實用新型在技術上
有顯著的進步，并具有明顯的積極效果，誠為一新穎、進步、實用的新設計。 上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技
術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本實用新型的上述和其他目的、特征
和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。
圖1是本實用新型連續式真空濺鍍裝置一第一較佳實施例的示意圖。[0019] 圖2是本實用新型連續式真空濺鍍裝置一第二較佳實施例的示意圖。
具體實施方式
為更進一步闡述本實用新型為達成預定發明目的所采取的技術手段及功效，以下 結合附圖及較佳實施例，對依據本實用新型提出的連續式真空濺鍍裝置其具體實施方式
、 結構、特征及其功效，詳細說明如后。 有關本實用新型的前述及其他技術內容、特點及功效，在以下配合參考圖式的較 佳實施例的詳細說明中將可清楚的呈現。通過具體實施方式
的說明，當可對本實用新型為 達成預定目的所采取的技術手段及功效得一更加深入且具體的了解，然而所附圖式僅是提 供參考與說明之用，并非用來對本實用新型加以限制。在本實用新型被詳細描述前，要注意 的是，在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示 請參閱圖1所示，是本實用新型連續式真空濺鍍裝置第一較佳實施例的示意圖。 本實用新型第一較佳實施例的連續式真空濺鍍裝置2，包含一個入料單元21、一個并接該 入料單元21的濺鍍單元22、一個并接該濺鍍單元22的出料單元23、一個連接該入料單元 21的入料抽氣單元24、一個連接該濺鍍單元22的濺鍍抽氣單元25、一個連接該出料單元 23的出料抽氣單元26，以及一個用以阻隔該入料單元21、該濺鍍單元22與該出料單元23 的氣隔單元27。其中，該入料單元21、該濺鍍單元22與該出料單元23是依序排成一直列 狀。 該入料單元21，具有一個第一腔體211、一個串聯該第一腔體211的第二腔體213， 以及一個設置在該第一腔體211與第二腔體213間的活動閥門212 ;其中，該第一腔體211 必需反復地進行抽真空與破真空(venting)，該第二腔體213則要維持在低于一大氣壓的 特定真空度狀態，而不需破真空。 該入料抽氣單元24，具有一個連接第一腔體211的第一粗抽泵241、一個連接該第 二腔體213的第二粗抽泵242、一個設置在該第一腔體211與該第一粗抽泵241之間且用以 控制二者是否連通的第一氣閥243，以及一個設置在該第二腔體213與該第二粗抽泵242之 間且用以控制二者是否連通的第二氣閥244 ;本實施例中，該第一粗抽泵241與該第二粗抽 泵242皆是機械泵，如魯式泵或旋轉葉片泵。該第一粗抽泵241能使該第一腔體211的壓 力從一環境氣壓值降至一預抽真空壓力值，而該第二粗抽泵242能使該第二腔體213的壓 力維持在小于該預抽真空壓力值的一送出真空壓力值；本實施例中，該環境氣壓值為一大 氣壓=latm = 760torr，該預抽真空壓力值為10—、orr，而該送出真空壓力值為10—2torr。 該濺鍍單元22，具有四個依序排成一直列狀的工作腔體221 224，在該四工作腔 體221 224中是分別進行基板加熱、鍍膜、鍍膜與膜加熱改質處理等作業，有關相關作業 的機件運作細節則是該技術領域中具有通常知識的技術人員所熟知，且非關本實用新型的 技術特征，故此不再詳述；本實施例中，工作腔體221 224的數量是四個，當然也能是一個 或應需求以增減。 該濺鍍抽氣單元25，具有四個分別連接該四工作腔體221 224的粗抽泵251，以 及四個分別連接該四工作腔體221 224的細抽泵252 ;以連接同一工作腔體221的粗抽 泵251與細抽泵252來說明，二者是依序啟動以對該工作腔體221進行二段式抽真空，簡 單地說，首先是該粗抽泵251對該工作腔體221抽氣至呈中低真空度狀態(> 10—3tOTr)，接著，該細抽泵252再繼續對該工作腔體221抽氣至呈高真空度狀態(< 10—3torr)，此后， 該工作腔體221便持續維持在高真空度狀態而不需破真空，有關二段式抽真空的其他操 作細節，同樣是該技術領域中具有通常知識的技術人員所熟知，且非關本實用新型的技術 特征，故此不再詳述。本實施例中，粗抽泵251也是機械泵，而細抽泵252為渦輪泵、擴散 泵......等高真空泵。 該出料單元23，具有一個出料腔體231，在此能進行吹凈、冷卻等作業。該出料抽 氣單元26，具有一個連接該出料腔體231的粗抽泵261。該出料腔體231同樣必需反復地 被抽真空與破真空，而該粗抽泵261能使該出料腔體231的內部氣壓從常壓降呈中低真空 度狀態(約10—2torr)。本實施例中，該粗抽泵261同樣是機械泵。 該氣隔單元27，具有一個用以阻隔外界環境與該第一腔體211的入料閥門271、一 個用以阻隔該第二腔體213與該工作腔體221的加工入口閥門272、三個用以分隔該四工作 腔體221 224的氣密閥門273、一個用以阻隔該工作腔體224與該出料腔體231的加工出 口閥門274，以及一個用以阻隔該出料腔體231與外界環境的出料閥門275。利用該加工入 口閥門272、該三氣密閥門273與該加工出口閥門274，能避免該第二腔體213、該四工作腔 體221 224與該出料腔體231相互污染，以維持個別的真空度與潔凈度要求。 在操作該連續式真空濺鍍裝置2時，基板1是一片接一片地連續輸送經該入料單 元21、該濺鍍單元22與該出料單元23，也就是說，該入料單元21、該濺鍍單元22與該出料 單元23是同時在運作的。在送入第一片基板1前，控制該氣隔單元27的入料閥門271、加 工入口閥門272、氣密閥門273、加工出口閥門274與出料閥門275等皆為封閉，并啟動該 入料抽氣單元24的第二粗抽泵242(該第二氣閥244為開啟)與該濺鍍抽氣單元25，以分 別使該第二腔體213維持在中低真空度狀態(約10—2torr)、該濺鍍單元22的四工作腔體 221 224維持在高真空度狀態(約10—6torr)，另外對該第一腔體211與該出料腔體231 進行破真空。 接著，將基板1裝載在承載盤3上，并開啟該入料閥門271，以使基板1連同承載盤 3 —并送入該第一腔體211中，隨后關閉該入料閥門271，并啟動該入料抽氣單元24的第一 粗抽泵241 (該第一氣閥243為開啟)，待該第一腔體211達該預抽真空壓力(約10—、orr) 時，該活動閥門212便會開啟以使基板1移送至該第二腔體213中；隨后該活動閥門212再 關閉，該第一粗抽泵241與該第一氣閥243皆關閉，該第一腔體211便進行破真空，以準備 讓下一片基板l移入。直到確認該第二腔體213已達該送出真空壓力(約10—2torr)后，該 加工入口閥門272會開啟以使基板1移進入該工作腔體221中。 基板1在移送入該工作腔體221中后，配合控制氣密閥門273的適時啟閉，基板1 便能依序移經該四工作腔體221 224以進行加溫、鍍膜、鍍膜與膜加熱改質處理等加工， 完成上述加工作業后，該加工出口閥門274會開啟，讓鍍膜成品從該工作腔體224移出并移 送入該出料腔體231中，以進行后續的吹凈、冷卻等作業，最后開啟該出料閥門275，將鍍膜 成品與承載盤3 —并移出，再將鍍膜成品取下就可以了。 因此，利用該第一腔體211與第二腔體213的結構設計，降低該第一腔體211的真 空度要求，使該第一腔體211能夠快速地抽真空(從latm抽至10—Horr)與破真空，配合該 第二腔體213不需破真空而持續維持在能將基板1移至該濺鍍單元22中的送出真空壓力 狀態下，使得基板1能夠快速地進、出該入料單元21，有效地優化該入料單元21的抽/排氣效率與運作速度，進而讓該連續式真空濺鍍裝置2整體能夠產生周期時間縮短與產能提升 等功效。 請參閱圖2所示，是本實用新型連續式真空濺鍍裝置一第二較佳實施例的示意 圖。為本實用新型第二較佳實施例的連續式真空濺鍍裝置2，與上述第一較佳實施例不同 處在于，該入料單元21的該第一腔體211與第二腔體213為并聯，其中，基板1自該第一腔 體211移出后便直接移送入該濺鍍單元22的工作腔體221內。再者，該入料抽氣單元24 是包含一個連接該第一腔體211與第二腔體213的粗抽泵245、一個設置在該第一腔體211 與第二腔體213間且用以控制二者是否連通的第一氣閥246、一個設置在該粗抽泵245與該 第一腔體211間且用以控制二者是否連通的第二氣閥247，以及一個設置在該第一腔體211 與第二腔體213且用以控制二者是否連通的第三氣閥248。另外，該加工入口閥門272是設 置在該第一腔體21與該工作腔體221間，同樣地，在該粗抽泵245對該第一腔體211抽真 空達該送出真空壓力值(約10—2torr)時，該加工入口閥門272便打開。 在該入料單元21與該入料抽氣單元24的運作過程中，該粗抽泵245是持續對該 第二腔體213進行抽真空，該第三氣閥248是常開狀態，使該第二腔體213 —直維持在低 于該環境氣壓的特定真空度狀態下而不需破真空，再配合控制該第一氣閥246、該第二氣 閥247的適時啟閉，例如在該第一腔體211在進行抽真空時，該第一氣閥246與該第二氣 閥247需要開啟，而在該第一腔體211進行破真空時，則關閉該第一氣閥246與該第二氣閥 247，如此一來，便能夠有效地提高該第一腔體211的抽真空與破真空效率，讓基板1能夠迅 速輸進/出該第一腔體211以繼續移進入該濺鍍單元22中，所以同樣能使整體達到縮短周 期時間與提升產能等功效。 綜上所述，本實用新型的連續式真空濺鍍裝置2，能夠有效優化該入料單元211的 抽/排氣效率與運作速度，進而讓整體產生周期時間縮短與產能提升等功效，所以，確實能 達成本實用新型的目的及功效。 以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上 的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型，任何熟 悉本專業的技術人員在不脫離本實用新型技術方案范圍內，當可利用上述揭示的技術內容 作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術方案的內 容，依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍 屬于本實用新型技術方案的范圍內。
權利要求一種連續式真空濺鍍裝置，包含一個入料單元，以及一個連接該入料單元的入料抽氣單元，其特征在于該入料單元，具有一個連接該入料抽氣單元且能進行抽真空與破真空的第一腔體，以及一個連接該第一腔體與該入料抽氣單元且只進行抽真空的第二腔體。
2. 如權利要求1所述的連續式真空濺鍍裝置，其特征在于其中所述的入料單元還具有 一個設置在該第一腔體與該第二腔體間的活動閥門，該入料抽氣單元具有一個連接該第一 腔體的第一粗抽泵、一個連接該第二腔體的第二粗抽泵、一個設置在該第一腔體與該第一 粗抽泵間的第一氣閥，以及一個設置在該第二腔體與該第二粗抽泵間的第二氣閥。
3. 如權利要求1所述的連續式真空濺鍍裝置，其特征在于其中所述的入料抽氣單元具 有一個連接該第一腔體與該第二腔體的粗抽泵、一個設置在該第一腔體與該第二腔體間的 第一氣閥、一個設置在該粗抽泵與該第一腔體間的第二氣閥，以及一個設置在該粗抽泵與 該第二腔體間的第三氣閥。
4. 如權利要求2所述的連續式真空濺鍍裝置，其特征在于其還包含一個并接該入料單 元的第二腔體的濺鍍單元，以及一個連接該濺鍍單元的濺鍍抽氣單元，該濺鍍單元具有一 個連接該第二腔體的工作腔體，該濺鍍抽氣單元具有一個連接該工作腔體的粗抽泵，以及 一個連接該工作腔體的細抽泵。
5. 如權利要求3所述的連續式真空濺鍍裝置，其特征在于其還包含一個并接該入料單 元的第一腔體的濺鍍單元，以及一個連接該濺鍍單元的濺鍍抽氣單元，該濺鍍單元具有一 個連接該第一腔體的工作腔體，該濺鍍抽氣單元具有一個連接該工作腔體的粗抽泵，以及 一個連接該工作腔體的細抽泵。
6. 如權利要求4或5所述的連續式真空濺鍍裝置，其特征在于其還包含一個并接該濺 鍍單元的出料單元，以及一個連接該出料單元的出料抽氣單元，該出料單元具有一個出料 腔體，該出料抽氣單元具有一個連接該出料腔體的粗抽泵。
7. 如權利要求6所述的連續式真空濺鍍裝置，其特征在于其還包含一個氣隔單元，該 氣隔單元具有一個阻隔設置在外界環境與該第一腔體之間的入料閥門、一個阻隔設置在該入料單元與該工作腔體之間的加工入口閥門、一個阻隔設置在該工作腔體與該出料腔體之 間的加工出口閥門，以及一個阻隔設置該出料腔體與外界環境之間的出料閥門。
專利摘要本實用新型是有關于一種連續式真空濺鍍裝置，包含一個入料單元，以及一個入料抽氣單元。該入料單元具有一個連接該入料抽氣單元且能進行抽真空與破真空的第一腔體，以及一個連接該第一腔體與該入料抽氣單元且只進行抽真空的第二腔體。本實用新型借由上述結構，利用該第二腔體是持續維持在低于環境氣壓的特定真空狀態下而不需破真空的設計，能優化該第一腔體的抽/排氣效率，因而提高該入料單元的運作速度，使整體產生周期時間縮短與產能提升等功效。
文檔編號C23C14/56GK201501926SQ20092000445
公開日2010年6月9日 申請日期2009年9月4日 優先權日2009年9月4日
發明者鄭博仁, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司