專利名稱：化學氣相沉積爐的制作方法
技術領域：
本發明涉及化學氣相沉積技術的技術領域，特別提供了一種化學氣相沉積爐。
背景技術：
現有技術中，氣相沉積爐包括爐體、加熱體、進氣口、出氣口、模具等幾部分，進氣口在爐體底部或頂部，出氣口通常與之相對，為使氣相沉積均勻，進氣口常采用同心圓筒的方式，模具對準進氣口，且有齒輪使每一只吊掛的產品都進行自轉。然而，當制作大尺寸的熱解氮化硼制品時，容易導致鍋底較厚，而側壁較薄，同時由于原料氣體在空間分布的不均勻，導致壁厚分布不均勻的現象時有發生。當同時制作多個熱解氮化硼制品時，也容易導致導致壁厚分布不均勻。人們期望獲得一種技術效果優良的化學氣相沉積爐。
發明內容
本發明的目的在于提供一種技術效果優良的化學氣相沉積爐。本發明具體提供了一種氣相沉積爐，化學氣相沉積爐，其由下述幾部分構成爐體
I、進氣口 2、出氣口 3、模具4、旋轉機構5以及發熱體6 ;其中發熱體6、進氣口 2、出氣口 3都布置在爐體I上，進氣口 2設置在爐體I的上部，旋轉機構5由轉盤5. I、齒輪5. 2、連接軸5. 3、傘齒輪組5. 4、齒套5. 5以及電機5. 6組成，發熱體6由感應線圈6. I、加熱體6. 2以及石墨套筒6. 3組成；電機5. 6通過傘齒輪組5. 4與轉盤5. I相連，齒輪5. 2共有5個且皆通過連接軸5. 3固定在轉盤5. I上，且每個齒輪5. 2上都設置有一個模具4，模具隨著齒輪
5.2的動作實現模具4在爐體I內的公轉與自轉；其特征在于所述旋轉機構5設置在爐體I內的上端；進氣口為三同心圓進氣口。爐體I具體為雙壁水冷爐體。該氣相沉積爐的進氣口為三同心圓進氣口，在爐體I內或爐體I外設有旋轉機構5，可以有多只產品模具4在爐體I內同時進行公轉、自轉。采用該氣相沉積爐制備熱解氮化硼(PBN)制品，能夠提高PBN產品質量及其生產效率，降低生產成本采用三同心圓進氣可以使原料氣體混合的更加均勻，致使氣體不發生明顯的偏析，使得大坩堝與一爐多只的小坩堝顏色均勻。三同心圓進氣口對于生產大尺寸產品的效果比同心圓進氣口更好。采用本發明提供的氣相沉積爐制備而得的產品，尺寸一致、顏色歸一、規格相同，在提聞廣品合格率的同時，也大大提聞了其生廣效率。
圖I為一爐五只氣相沉積爐結構圖。
具體實施例方式實施例I如圖I所示，一種氣相沉積爐，化學氣相沉積爐，其由下述幾部分構成爐體I、進氣口
2、出氣口 3、模具4、旋轉機構5以及發熱體6 ;其中發熱體6、進氣口 2、出氣口 3都布置在爐體I上，進氣口 2設置在爐體I的上部，旋轉機構5由轉盤5. I、齒輪5. 2、連接軸5. 3、傘齒輪組5. 4、齒套5. 5以及電機5. 6組成，發熱體6由感應線圈6. I、加熱體6. 2以及石墨套筒6. 3組成；電機5. 6通過傘齒輪組5. 4與轉盤5. I相連，齒輪5. 2共有5個且皆通過連接軸5. 3固定在轉盤5. I上，且每個齒輪5. 2上都設置有一個模具4，模具隨著齒輪5. 2的動作實現模具4在爐體I內的公轉與自轉；所述旋轉機構5設置在爐體I內的上端；進氣口為三同心圓進氣口。 爐體I具體為雙壁水冷爐體。
權利要求
1.化學氣相沉積爐，其由下述幾部分構成爐體(I)、進氣口(2)、出氣口(3)、模具(4)、旋轉機構(5)以及發熱體(6);其中發熱體(6)、進氣口(2)、出氣口(3)都布置在爐體(I)上，進氣口(2)設置在爐體(I)的上部，旋轉機構(5)由轉盤(5. I)、齒輪(5. 2)、連接軸(5. 3)、傘齒輪組(5. 4)、齒套(5. 5)以及電機(5. 6)組成，發熱體(6)由感應線圈(6. I)、力口熱體(6. 2)以及石墨套筒(6. 3)組成；電機(5. 6)通過傘齒輪組(5. 4)與轉盤(5. I)相連，齒輪(5.2)共有5個且皆通過連接軸(5. 3 )固定在轉盤(5. I)上，且每個齒輪(5.2)上都設置有一個模具4;其特征在于所述旋轉機構(5)設置在爐體(I)內的上端；進氣口為三同心圓進氣口。
2.按照權利要求I所述化學氣相沉積爐，其特征在于爐體I具體為雙壁水冷爐體。
全文摘要
本發明的目的在于提供一種氣相沉積爐，該氣相沉積爐包括爐體、加熱體、進氣口、出氣口以及模具，進氣口在爐體底部或頂部，其特征在于在爐體內或爐體外設有旋轉機構，所述旋轉機構由1~36個齒輪、轉盤、齒套、傘齒輪組、連接軸以及電機組成，電機通過傘齒輪組與轉盤相連，齒輪通過連接軸固定在轉盤上，齒套在所有齒輪外圍固定，并與齒輪嚙合，轉盤轉動帶動齒輪沿著圓盤式齒套旋轉，每個齒輪上都吊掛或直立一個模具，模具隨著齒輪的自轉公轉實現了產品在爐內的公轉與自轉。采用該氣相沉積爐制備熱解氮化硼制品，能夠提高PBN產品質量及其生產效率，降低生產成本。
文檔編號C23C16/458GK102839361SQ201110324989
公開日2012年12月26日 申請日期2011年10月24日 優先權日2011年10月24日
發明者季歷程 申請人:南通天華和睿科技創業有限公司