一種用于非晶硅沉積的控制系統的制作方法
【專利摘要】本發明涉及一種用于非晶硅沉積的控制系統，包括處理器，以及分別與處理器連接的真空傳感器、氬氣閥、氮氣閥、起輝電源和用于抽真空的泵。本發明的有益效果是：使用真空傳感器測量真空的壓力變化數據，將數據發送至PLC進行數據處理，進一步調節自動閥門開度，配合控制閥來自動控制室內壓力。質量流量控制器，測量氣體的流量變化數據發送PLC進行氣體流量數據處理。本發明能滿足工藝對流量的精確控制要求。
【專利說明】—種用于非晶硅沉積的控制系統
【技術領域】
[0001]本發明涉及自動控制領域，具體涉及一種用于非晶硅沉積的控制系統。
【背景技術】
[0002]當前，我們國家在非晶硅產業化的過程中，主要模式是外購國外的設備，國外設備多結構復雜并且由國外技術人員調試，設備工藝參數一經確定很難以改動，從設備研發和工藝調整均受制于人，產品更新換代緩慢，且受行業危機影響，非晶硅的研發也停滯不前，不利于行業的技術創新和非晶硅產業技術升級與產品換代。
【發明內容】
[0003]為了解決上述問題，本發明提供了一種用于非晶硅沉積的控制系統。
[0004]本發明的技術方案是:一種用于非晶硅沉積的控制系統，包括處理器，以及分別與處理器連接的真空傳感器、氬氣閥、氮氣閥、起輝電源和用于抽真空的泵。
[0005]上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統，所述處理器和氬氣閥之間還設置有質量流程控制器，所述處理器和氮氣閥之間還設置有質量流程控制器。
[0006]上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統，所述的泵是羅茨泵。
[0007]上述的一種用 于非晶硅沉積的控制系統，所述的泵包括相互獨立的機械泵和羅茨栗。
[0008]上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統，所述的起輝電源是AE電源。
[0009]上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統，所述的處理器是PLC。
[0010]本發明的有益效果是:使用真空傳感器測量真空的壓力變化數據，將數據發送至PLC進行數據處理，進一步調節自動閥門開度，配合控制閥來自動控制室內壓力。質量流量控制器，測量氣體的流量變化數據發送PLC進行氣體流量數據處理。本發明結構簡單，參數修改方便快捷，能滿足工藝對流量的精確控制要求。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0011]圖1為本發明的結構示意框圖。
【具體實施方式】
[0012]下面結合附圖對本發明作進一步的說明。
[0013]如圖1所示的本發明的結構示意框圖，一種用于非晶硅沉積的控制系統，包括處理器，以及分別與處理器連接的真空傳感器、氬氣閥、氮氣閥、起輝電源和用于抽真空的泵，所述的處理器優選PLC，所述的起輝電源優選AE電源。
[0014]上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統，所述處理器和氬氣閥之間還設置有質量流程控制器，所述處理器和氮氣閥之間還設置有質量流程控制器。
[0015]上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統，所述的泵是羅茨泵。[0016]上述的一種用于非晶硅沉積的控制系統，所述的泵包括相互獨立的機械泵和羅茨泵，所述的機械泵用于對對非晶硅等離子體沉積設備進行初抽真空，當真空度到達1.0*10后啟動羅茨泵進行二級抽空。當真空度達到1.0*10-2時，PLC通過控制氬氣閥向設備內通入300sccm IS氣，制造IS氣沉積環境,IS氣通入后，設備室內壓力會升高，當壓力升高到
5.0*10-1時，PLC向AE電源發出開啟信號，在氬氣環境下進行起輝30s，起輝完成后關閉電源，PLC通過控制氮氣閥向設備內通入355sCCm氮氣對設備進行降溫沖壓，以便于打開設備蓋板，完成沉積。
[0017]以上所述僅是本發明的優選實現方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發明技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明的保護范圍。`
【權利要求】
1.一種用于非晶硅沉積的控制系統，其特征是:包括處理器，以及分別與處理器連接的真空傳感器、氬氣閥、氮氣閥、起輝電源和用于抽真空的泵。
2.根據權利要求1所述的一種用于非晶硅沉積的控制系統，其特征是:所述處理器和氬氣閥之間還設置有質量流程控制器，所述處理器和氮氣閥之間還設置有質量流程控制器。
3.根據權利要求1所述的一種用于非晶硅沉積的控制系統，其特征是:所述的泵是羅茨泵。
4.根據權利要求1所述的一種用于非晶硅沉積的控制系統，其特征是:所述的泵包括相互獨立的機械泵和羅茨泵。
5.根據權利要求1所述的一種用于非晶硅沉積的控制系統，其特征是:所述的起輝電源是AE電源。
6.根據權利要求1-5任一項所述的一種用于非晶硅沉積的控制系統，其特征是:所述的處理器是PLC。`
【文檔編號】C23C16/52GK103774121SQ201210398114
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2012年10月19日 優先權日:2012年10月19日
【發明者】陳五奎, 雷曉全, 任陳平, 王斌 申請人:陜西拓日新能源科技有限公司