專利名稱：一種真空腔室u型包網擋板的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種真空腔室U型包網擋板。
背景技術：
在磁控濺射鍍膜的真空腔室中，陰極位與分子泵位之間設置有窗口板，該窗口板上開設有多個孔從而將磁控濺射鍍膜過程中產生的廢氣排出，以保證真空腔室中的真空度。然而窗口板上常有磁控濺射物的附著，在使用前需要對其進行打磨，換靶的工作量較大，此外，窗口板的表面往往設置的比較光滑，其表面對磁控濺射物的吸附能力不強，生產過程中容易出現崩渣和掉渣的現象，嚴重地影響了產品的生產效率和生產質量。
發明內容本實用新型的目的是提供一種真空腔室U型包網擋板，該包網擋板在吸附磁控濺射物后易于更換和清潔，有效地提高了磁控濺射產品的生產效率和生產質量。為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是:一種真空腔室U型包網擋板，所述包網擋板包括不銹鋼材料制成的擋板本體，所述擋板本體呈U字型，所述擋板本體的底部開設有多個通孔，所述擋板本體的外側周部上包設有不銹鋼網。優選地，所述擋板本體上所述U字型的開口兩端分別向兩側折彎。由于上述技術方案的運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點:本實用新型的一種真空腔室U型包網擋板，通過將擋板本體設置成U字型，并擋板本體上U字型開口的底部開設多個通孔，同時在擋 板本體的外側周部上包設不銹鋼網，將該U型包網擋板設置于磁控濺射鍍膜的真空腔室中，將其置于陰極位與分子泵位之間，真空腔室中產生的氣體從通孔中排出，磁控濺射物則能夠很好地附著至U型包網擋板的不銹鋼網上形成積渣，這有效地減少了積渣發生崩渣、掉渣的現象。當不銹鋼網上的積渣達到一定值時，可方便地將該U型包網擋板取出，對其進行拆卸噴砂即可將附著在不銹鋼網上的積渣清除掉，其清理過程方便、快捷，減少了換靶的頻率，換靶后也無需打磨，大幅地提高了磁控濺射產品的生產效率，同時也保證了產品的生產質量。
附圖1為本實用新型的整體結構示意圖；附圖2為本實用新型的主視結構示意圖；附圖3為附圖2中A-A部剖視結構放大示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖來對本實用新型的技術方案作進一步的闡述。參見圖1 3所示的一種真空腔室U型包網擋板，該包網擋板包括不銹鋼材質制成的擋板本體I，擋板本體I呈U字型，該擋板本體I的底部開設有多個通孔2，擋板本體I的外側周部上還包設有不銹鋼網(圖中未示出)，擋板本體I上U字型開口的兩端分別向兩側折彎形成折彎部3。將該U型包網擋板應用于磁控濺射鍍膜的真空腔室中，將其置于陰極位與分子泵位之間，并將擋板本體I的U字型底部朝向陰極位，真空腔室中產生的氣體通過通孔2排出該腔室，擋板本體I的U字型槽內可放置真空濺射生產中的其他部件。由于擋板本體I上包有不銹鋼網，磁控濺射物能夠很好地附著在該不銹鋼網上，能夠有效地減少磁控濺射物在不銹鋼網上形成的積渣發生的崩渣、掉渣現象。此外，折彎部3能夠將陰極位與分子泵位完全隔開，磁控濺射物也能夠基本上全部附著到該包網擋板上，避免磁控濺射物濺射至其他部件上。當該U型包網擋板上的磁控濺射物形成的積渣達到一定值時，則將該U型包網擋板取出，對其進行拆卸噴砂即可將附著在不銹鋼網上的積渣清除掉，其清理過程方便、快捷，減少了換靶的頻次，換靶后也無需打磨，大幅地提高了磁控濺射產品的生產效率，同時也保證了產品的生產質量。上述實施 例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內容并據以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種真空腔室U型包網擋板，其特征在于:所述包網擋板包括不銹鋼材料制成的擋板本體，所述擋板本體呈U字型，所述擋板本體的底部開設有多個通孔，所述擋板本體的外側周部上包設有不銹鋼網。
2.根據權利要求1所述的一 種真空腔室U型包網擋板，其特征在于:所述擋板本體上所述U字型的開口兩端分別向兩側折彎。
專利摘要本實用新型公開了一種真空腔室U型包網擋板，通過將擋板本體設置成U字型，并U字型開口的底部開設多個通孔，同時在擋板本體的外側周部上包設不銹鋼網，將該U型包網擋板設置于磁控濺射鍍膜的真空腔室中，將其置于陰極位與分子泵位之間，真空腔室中產生的氣體從通孔中排出，磁控濺射物則能夠很好地附著至U型包網擋板的不銹鋼網上形成積渣，這有效地減少了積渣發生崩渣、掉渣的現象。當不銹鋼網上的積渣達到一定值時，可方便地將該U型包網擋板取出，對其進行拆卸噴砂即可將附著在不銹鋼網上的積渣清除掉，其清理過程方便、快捷，減少了換靶的頻次，換靶后也無需打磨，大幅地提高了磁控濺射產品的生產效率，同時也保證了產品的生產質量。
文檔編號C23C14/35GK203128650SQ201320067079
公開日2013年8月14日 申請日期2013年2月5日 優先權日2013年2月5日
發明者田富 申請人:吳江南玻華東工程玻璃有限公司