一種雙搖擺噴淋裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及蝕刻、顯影設備的【技術領域】，公開了一種雙搖擺噴淋裝置，用于蝕刻機或者顯影機，包括上下兩組對稱設置的搖擺噴淋單元，搖擺噴淋單元包括垂直于待蝕刻基板傳送方向的導軌，架設于導軌上且垂直于傳送方向作往復式直線運動的噴淋架，以及活動設置于噴淋架中且間隔的多個噴淋管，各噴淋管兩端與導軌之間均設置有旋轉塊，旋轉塊的一端與導軌之間轉動連接，其另一端與噴淋管垂直且軸向定位連接。本雙搖擺噴淋裝置中，噴淋管活動穿插在噴淋架上，使噴淋管的安裝和拆卸簡單便捷；噴淋管和導軌之間設置有旋轉塊，使噴淋管在噴淋架往復式直線運動的作用下，實現了轉動和直線運動的雙動作噴淋，有效地消除了水池效應，提高了蝕刻的精度和效率。
【專利說明】一種雙搖擺噴淋裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及蝕刻、顯影設備的【技術領域】，尤其涉及一種用于蝕刻機或者顯影機中的雙搖擺噴淋裝置。
【背景技術】
[0002]隨著電子行業發展的日益加快，印制電路板(PCB)的應用領域越來越廣泛，這也相應地要求其相關的工藝能滿足日益更新的發展需求。
[0003]蝕刻(etching)是將印制電路板的基板使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術，蝕刻技術可以分為濕蝕刻(wet etching)和干蝕刻(dry etching)兩類,通常所指蝕刻也稱光化學蝕刻(photochemical etching),指通過曝光制版、顯影后,將要蝕刻區域的保護膜去除，在蝕刻時接觸化學溶液，達到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效
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[0004]噴淋是蝕刻過程中一個重要的步驟，對蝕刻能力均勻穩定有著極大的影響。
[0005]現有的蝕刻、顯影機中的噴淋架噴淋裝置主要是單向搖擺的，其普遍存在的缺點是:噴淋裝置作單方向的直線運動，導致基板上表面容易會產生積液，無法消除基板板面中間的水池效應，所謂水池效應，指的是藥水噴淋到基板上，而繼續噴淋出的藥水會被原有的積液所阻礙，不能直接與基板表面的待蝕刻層接觸產生化學反應；現有的蝕刻、顯影機中的噴淋架噴淋裝置，還存在噴灑均勻度不夠好，容易出現基板四周蝕刻效果好，而基板中間部分蝕刻不均勻現象，因此不能生產高、精、細的線路。
[0006]現有的蝕刻、顯影機中的噴淋架噴淋裝置，其上的噴淋管通常是固定安裝的，當噴淋管損壞時，其拆卸、更換、維修十分不便；另外，噴淋裝置中的噴淋架四周框體通常采用直接焊接固定，其強度不夠，容易破壞松動，導致噴淋不均勻，嚴重影響蝕刻效果。
實用新型內容
[0007]本實用新型的目的在于提供一種雙搖擺噴淋裝置，旨在解決現有技術中，蝕刻、顯影機中的噴淋架噴淋裝置存在如下缺陷:
[0008]I)噴淋裝置作單方向的直線運動，導致基板上表面容易會產生積液，進而導致基板上表面產生水池效應，嚴重影響蝕刻精度；
[0009]2)噴淋裝置中的噴淋管是固定安裝的，當噴淋管損壞時，其拆卸、更換、維修十分不便。
[0010]本實用新型是這樣實現的，一種雙搖擺噴淋裝置，用于蝕刻機或者顯影機，包括上下兩組對稱設置的搖擺噴淋單元，所述搖擺噴淋單元包括垂直于待蝕刻基板的傳送方向的導軌，架設于所述導軌上的且垂直于所述傳送方向作往復式直線運動的噴淋架，以及活動設置于所述噴淋架中且相互間隔的多個噴淋管，所述噴淋管的兩端與所述導軌之間均設置有旋轉塊，所述旋轉塊的一端與所述導軌之間轉動連接，所述旋轉塊的另一端與所述噴淋管垂直且軸向定位連接。[0011]優選地，所述導軌上固定設置有定位架，所述旋轉塊的一端通過定位件與所述定位架轉動連接。
[0012]進一步地，所述噴淋架上橫設有噴管固定板，所述噴管固定板位于所述噴淋管和所述旋轉塊之間。
[0013]優選地，所述噴淋管與所述旋轉塊通過軸向定位組件配合形成軸向定位連接，所述軸向定位組件包括與所述噴淋管連接的噴管堵頭，與所述噴管堵頭軸向定位連接的轉接頭，以及套接所述噴管堵頭和所述轉接頭的套殼，所述轉接頭穿過所述噴管固定板并與所述旋轉塊軸向定位連接。
[0014]進一步地，所述雙搖擺噴淋裝置還包括用于驅動所述搖擺噴淋單元運動的驅動組件，所述驅動組件設于所述上下兩噴淋架的同側，并分別與其固定連接，且所述驅動組件帶動所述上下兩噴淋架垂直于所述傳送方向作錯開式直線運動。
[0015]優選地，所述驅動組件包括電動機，以及由所述電動機上伸出的主軸，所述主軸上固定連接有兩組反向設置的偏心輪，所述偏心輪上套設有偏心套，所述偏心套上固定連接有拉桿，所述拉桿與所述噴淋架固定連接。
[0016]進一步地，所述噴淋管上設置有多個用于噴淋藥液的噴嘴。
[0017]更進一步地，所述噴淋管上還設置有進液管，所述進液管與所述噴淋管連通，且所述進液管上開設有用于輸入藥液的進液口。
[0018]優選地，所述噴淋架包括兩側框和兩橫框，所述側框和所述橫框固定連接。
[0019]進一步地，所述兩側框上均設有用于增加強度的加強板，且所述兩側框之間固定連接有用于增加強度加強棒。
[0020]與現有技術相比，本實用新型提出的雙搖擺噴淋裝置，噴淋管活動穿插在垂直于傳送方向作往復式直線運動的噴淋架中，這樣使噴淋管的安裝和拆卸更加簡單便捷；噴淋管和導軌之間設置有旋轉塊，使噴淋管在噴淋架往復式直線運動的作用下，實現了轉動和直線運動的雙動作噴淋，有效地消除了水池效應，提高了蝕刻的精度和效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0021]圖1為本實用新型實施例提供的雙搖擺噴淋裝置的結構示意圖；
[0022]圖2為本實用新型實施例提供的雙搖擺噴淋裝置的局部剖面示意圖；
[0023]圖3為本實用新型實施例提供的雙搖擺噴淋裝置的局部結構示意圖；
[0024]圖4為圖3的爆炸示意圖。
【具體實施方式】
[0025]為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0026]以下結合具體實施例對本實用新型的實現進行詳細的描述。
[0027]如圖1?4所示，為本實用新型提供的一個較佳實施例。
[0028]本實施例提供的雙搖擺噴淋裝置，主要應用于蝕刻機或者顯影機中，其包括分別設置在待蝕刻基板上方和下方的兩組搖擺噴淋單元1，這兩組搖擺噴淋單元彼此對稱設置，并分別對準待蝕刻基板的上表面和下表面進行噴淋蝕刻。
[0029]本實施例中，搖擺噴淋單元I包括一對平行間隔的導軌11、一個噴淋架12以及多個噴淋管13，其中，導軌11為豎直的型材，其垂直于待蝕刻基板的傳送方向，噴淋架12架設在導軌11上，并且，該噴淋架12可以在導軌11上垂直于傳送方向進行往復式直線運動，另夕卜，多個噴淋管13間隔設置在噴淋架12中，且各個噴淋管13的兩端與導軌11之間設置有旋轉塊14，該旋轉塊14的一端與噴淋管13垂直且軸向定位連接，旋轉塊14的另一端與導軌11之間轉動連接；當噴淋架12垂直于傳送方向進行往復式直線運動時，噴淋架12會帶動噴淋管13在垂直于傳送方向上也做往復式直線運動，與此同時，旋轉塊14與噴淋管13垂直且軸向定位連接的一端被噴淋管13在其往復式直線運動的方向上所帶動，由于旋轉塊14的另一端與導軌11之間轉動連接，因而，噴淋管13在垂直于傳送方向上做往復式直線運動時，同步實現了軸向轉動，也就是說，噴淋架12進行直線運動時，帶動噴淋管13實現了直線運動和轉動的雙動作。
[0030]采用上述的雙搖擺噴淋裝置運用于蝕刻機或者顯影機中進行噴淋蝕刻，具有以下特點:
[0031]I)由于上述噴淋管13和導軌11之間設置有旋轉塊14，在上述噴淋架12垂直于傳送方向進行往復式直線運動時，通過噴淋架12與旋轉塊14以及導軌11的配合，實現了噴淋管13直線運動和轉動的雙動作，這樣，噴淋管13的雙搖擺噴淋使藥液能均勻地噴灑在待蝕刻基板的表面，同時噴淋管13的旋轉噴淋有效消除了基板上堆積的藥液，從而使待蝕刻基板的表面獲得新鮮藥液，這樣大幅提高了蝕刻的均勻性以及蝕刻能力，有效地減少了水池效應，顯著提高了細線路、高密度線路的精度和均勻度；
[0032]2)上述噴淋管13是活動穿插在噴淋架12中，因而，噴淋管13的安裝和拆卸十分方便快捷，省時省力。
[0033]為了配合上述旋轉塊14與上述導軌11的安裝，在導軌11上固定設置有定位架15，此處，該定位架15與導軌11采用焊接的形式固定，當然，在其他實施例中也可以采用其他的方式固定連接，或者將定位架15與導軌11 一體化設置；上述旋轉塊14上開設有通孔141，定位架15上開設有與通孔141配合的安裝孔151，通過在通孔141和安裝孔151中活動插設定位件19，使旋轉塊14與定位架15形成轉動連接，此處，定位件19采用的是螺釘，這樣，旋轉塊14就能夠以定位件19為軸轉動，當然，在其他實施例中，旋轉塊14也可以采用其他方式與定位架15構成轉動連接。
[0034]本實施例中，上述噴淋架12中的兩端均橫設有噴管固定板125，該噴管固定板125位于上述噴淋管13的端部和上述旋轉塊14之間并與上述導軌11平行；在噴淋架12垂直于上述傳送方向進行往復式直線運動時，噴管固定板125將帶動噴淋管13以及上述旋轉塊14的一端沿垂直于上述傳送方向進行直線運動，與此同時，由于旋轉塊14的另一端與定位架15轉動連接，因而，旋轉塊14將以上述定位件19為旋轉中心，并以旋轉塊14自身的板長為旋轉半徑進行旋轉，又由于旋轉塊14與噴淋管13的端部軸向定位連接，進而實現了噴淋管13的軸向旋轉，這樣，噴淋管13的軸向轉動和直線運動的雙動作合成了擺動，此處，擺動的角度范圍為±15°，當然，在其他實施例中，根據實際情況和需求，噴淋管13的擺動角度范圍也可以設計為其他的銳角角度范圍，其通過更改定位架15的長度而實現。
[0035]上述噴淋管13的端部與上述旋轉塊14之間設置有軸向定位組件18，兩者通過該軸向定位組件18的連接而形成軸向定位；此處，軸向定位組件18包括噴管堵頭181、轉接頭182、套殼183以及鈦套184，其中，噴管堵頭181與上述噴淋管13的端部固定連接，且該噴管堵頭181上具有定位槽，轉接頭182上具有凸臺，該轉接頭182通過凸臺與定位槽的配合，使噴管堵頭181與轉接頭182形成了軸向定位連接，套殼183則套設在噴管堵頭181與轉接頭182上，此處，套殼183的外周具有旋動防滑的凹凸面，此凹凸面未在圖1和圖3中畫出，僅在圖4中示意；同時，轉接頭182的一端還穿過上述噴管固定板125，并伸入上述旋轉塊14的下端，上述噴淋架12的橫框123上開設圓孔，圓孔內套設鈦套184，該鈦套184穿過旋轉塊14的下端和固定板125后伸入轉接頭182中，這樣，噴淋管13與旋轉塊14就形成了軸向定位連接，當然，在其他實施例中，根據實際情況和需求，軸向定位組件18也可以為其他形式的結構，或者，上述噴淋管13的端部與上述旋轉塊14之間也可以通過其他的方式形成軸向定位連接。
[0036]上述噴淋架12兩端的外側均設置有滑輪124，該噴淋架12通過滑輪124架設在上述導軌11上，并在上述導軌11上垂直于上述傳送方向進行往復式直線運動，當然，在其他實施例中，噴淋架12也可以采用其他方式活動架設在上述導軌11上。
[0037]在本實施例中，上述雙搖擺噴淋裝置還包括驅動組件16，該驅動組件16用于帶動上述噴淋架12垂直于上述傳送方向進行往復式直線運動，該驅動組件16設置在上下兩個噴淋架12的同側，且分別與兩噴淋架12固定連接；當該驅動組件16啟動工作時，其會同時帶動位于待蝕刻基板上方和下方的噴淋架12垂直于上述傳送方向進行往復式直線運動，并且，兩個噴淋架12的運動呈錯開式前后直線運動。
[0038]上述驅動組件16包括一個電動機161、一根主軸162、兩個偏心輪163、兩個偏心套164以及兩根拉桿165，其中，主軸162的上端與電動機161的輸出軸固定連接，兩個偏心輪163間隔固定在主軸162上，且分別對應上下兩個上述噴淋架12 ;為了實現上述兩個噴淋架12的錯開式運動,兩個偏心輪163相互反向設置,另外,兩個偏心套164分別套設在兩個偏心輪163上，兩根拉桿165的一端分別與兩個偏心輪163對應固定連接，兩根拉桿165的另一端分別與兩個噴淋架12固定連接；當電動機161啟動工作時，其帶動主軸162轉動，主軸162帶動兩個相互反向設置的偏心輪163轉動，偏心輪163的轉動則帶動對應的偏心套164垂直于上述傳送方向進行往復式直線運動，進而，偏心套164帶動對應的拉桿165進行往復式直線運動，拉桿165則帶動相應的噴淋架12進行與偏心套164同向的往復式直線運動，此處，噴淋架12的直線運動范圍為±20mm，當然，根據實際情況或具體需求，也可以設計為其他的距離范圍；另外，在其他實施例中，也可以采用其他形式的驅動組件，這里并不作具體限定。
[0039]本實施例中，上述的各個噴淋管13上都設置有多個噴嘴132，且各個噴嘴132等間距地均勻布置在噴淋管13上，各噴嘴132均對準沿待蝕刻基板表面，并噴淋藥液進行蝕刻。
[0040]上述的各個噴淋管13上均設置有一一對應的進液管17，各進液管17的兩端分別與對應的噴淋管13連通，并且，在進液管17中間部分還開設有與外部輸液管道連通的進液口 171，外部輸液管道通過進液口 171向進液管17內注液，進液管17再將其內的藥液通過其兩端注入噴淋管13內，這樣，有效保證了噴淋管13內進液壓力的均勻，也提高了噴嘴132噴淋的均勻性，提高了蝕刻精度，當然，在其他實施例中，噴淋管13上可以設置多個進液管17，或者，在進液管17上設置多個與噴淋管13連通的接口，其目的是為了保證進液壓力的均勻。
[0041]本實施例中，上述噴淋架12包括兩側框122和兩橫框123，其中，側框122與橫框123垂直，且兩側框122與兩橫框123首尾相接，側框122與橫框123通過焊接的方式固定連接后，再通過緊固件進行加固，此處，緊固件采用的是鈦螺絲，相比傳統的焊接固定，采用鈦螺絲對側框122與橫框123進行再加固，有效增加了噴淋架12的整體強度，當然，在其他實施例中，根據實際情況，側框122與橫框123也可以采用其他緊固件或者其他的固定連接方式，另外，噴淋架12也可以采用其他形式的結構。
[0042]上述的兩側框122上均設置有加強板1221，而且，兩側框122之間橫還橫設有加強棒1222，此處，加強棒1222采用的是鈦棒，當然，加強棒1222也可以采用其他的材質；通過在兩側框122上設置加強板1221和加強棒1222，有效增加了噴淋架12的整體強度，避免了因噴淋架12松動導致上述噴淋管13運動不穩，而致使噴淋不均勻的影響；在其他實施例中，噴淋架12也可以采用的方式進行加固。
[0043]另外，在本實施例中，上述噴淋管13采用的是筆直的中空管，當然，在其他實施例中，上述噴淋管13也可以采用其他形狀的中空管，比如波浪彎折中空管等等。
[0044]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種雙搖擺噴淋裝置，用于蝕刻機或者顯影機，其特征在于，包括上下兩組對稱設置的搖擺噴淋單元，所述搖擺噴淋單元包括垂直于待蝕刻基板的傳送方向的導軌，架設于所述導軌上且垂直于所述傳送方向作往復式直線運動的噴淋架，以及活動設置于所述噴淋架中且相互間隔的多個噴淋管，所述噴淋管的兩端與所述導軌之間均設置有旋轉塊，所述旋轉塊的一端與所述導軌之間轉動連接，所述旋轉塊的另一端與所述噴淋管垂直且軸向定位連接。
2.如權利要求1所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述導軌上固定設置有定位架，所述旋轉塊的一端通過定位件與所述定位架轉動連接。
3.如權利要求2所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋架上橫設有噴管固定板，所述噴管固定板位于所述噴淋管和所述旋轉塊之間。
4.如權利要求3所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管與所述旋轉塊通過軸向定位組件配合形成軸向定位連接，所述軸向定位組件包括與所述噴淋管連接的噴管堵頭，與所述噴管堵頭軸向定位連接的轉接頭，以及套接所述噴管堵頭和所述轉接頭的套殼，所述轉接頭穿過所述噴管固定板并與所述旋轉塊軸向定位連接。
5.如權利要求1?4任一項所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述雙搖擺噴淋裝置還包括用于驅動所述搖擺噴淋單元運動的驅動組件，所述驅動組件設于所述上下兩噴淋架的同側，并分別與其固定連接，且所述驅動組件帶動所述上下兩噴淋架垂直于所述傳送方向作錯開式直線運動。
6.如權利要求5所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述驅動組件包括電動機，以及由所述電動機上伸出的主軸，所述主軸上固定連接有兩組反向設置的偏心輪，所述偏心輪上套設有偏心套，所述偏心套上固定連接有拉桿，所述拉桿與所述噴淋架固定連接。
7.如權利要求1所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管上設置有多個用于噴淋藥液的噴嘴。
8.如權利要求7所述的雙搖擺噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管上還設置有進液管，所述進液管與所述噴淋管連通，且所述進液管上開設有用于輸入藥液的進液口。
【文檔編號】C23F1/08GK203700525SQ201320856403
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2013年12月23日 優先權日:2013年12月23日
【發明者】李建光, 劉雪橋, 陳龍英, 朱西祥, 李衛華, 劉以新 申請人:深圳市潔馳科技有限公司