專利名稱：用于形成鐵電薄膜的組合物、鐵電薄膜及其制造方法、液體噴射頭的制作方法
技術領域：
本發明涉及用于根據MOD(金屬有機沉積)法來形成鐵電薄膜的用于形成鐵電薄膜的組合物、鐵電薄膜、制造鐵電薄膜的方法、及液體噴射頭。
背景技術：
包含以鋯鈦酸鉛(PZT)等為代表的晶體的鐵電薄膜具有自發極化、較高介電常數、光電效應、壓電效應、及熱電效應等，并因此廣泛應用于包含壓電元件的器件開發。同時，作為形成這種鐵電薄膜的方法，已知諸如MOD法、溶膠凝膠法、CVD(化學氣相沉積)法、以及濺射法。具體而言，MOD法及溶膠凝膠法具有可容易地以較低成本形成鐵電薄膜的優勢。
在根據MOD法形成鐵電薄膜時，通常通過在乙醇中溶解諸如金屬醇鹽的有機金屬化合物、在對象物上涂覆通過向其加入水解抑制劑而獲得的膠體狀溶液、并干燥并燒結對象物上的溶液來形成該膜。同時，在根據溶膠凝膠法形成鐵電薄膜時，該方法與MOD法相類似地來形成膜，不同之處在于該方法應用通過將有機金屬化合物溶解在醇中、并通過在向其加入所需的最小量的水的同時使該有機金屬化合物溶液水解并發生縮聚反應所得到的膠體狀溶液(例如參考專利文獻1)。
以下將詳述應用MOD法及溶膠凝膠法來制造鐵電薄膜的方法。通過使用諸如干燥氮氣的干燥惰性氣體(輸送氣體)，儲存在容器中用于形成鐵電薄膜的組合物被傳輸至布置在對象物之上的噴嘴，且用于形成鐵電薄膜的組合物從噴嘴落在旋轉的對象物上。以此方式，前體膜(precursorfilm)形成在對象物上，然后通過干燥及脫脂被轉化為凝膠體，且通過進一步燒結對象物上的膜來制造鐵電薄膜。
但是，就用于根據MOD法或溶膠凝膠法來形成鐵電薄膜的用于形成鐵電薄膜的組合物而言，包含在用于形成鐵電薄膜的組合物中的醇(溶劑)會在組合物接觸干燥惰性氣體的干燥惰性氣體環境中蒸發。由此存在將導致溶膠凝聚并沉積的有機金屬化合物的分散穩定性劣化的問題。此外，當用于形成鐵電薄膜的組合物在容器中儲存一定時間后，還存在由于溶膠沉積導致的用于鐵電薄膜的組合物(有機金屬化合物)的儲存穩定性劣化的問題。
在這里，當溶膠沉積時，用于鐵電薄膜的該組合物中的溶膠組成會改變且鐵電薄膜中的膜成份會不均勻地分布，由此包含鐵電薄膜的壓電元件的壓電特性可能會波動。此外，在包含作為壓電致動器的壓電元件的液體噴射頭中，壓電元件的壓電特性的波動會導致不均勻的液體噴射特性。
專利文獻1JP-A-6-5946發明內容本發明要解決的問題著眼于以上情況，本發明的目的是提供一種用于形成鐵電薄膜的組合物，其是一種可應用于MOD法的、可長期維持有機金屬化合物的優異的分散穩定性及儲存穩定性的膠體狀溶液；以及提供一種鐵電薄膜、一種制造鐵電薄膜的方法和一種液體噴射頭。
解決問題的方法為了解決上述問題，本發明的第一個方面提供了一種用于形成鐵電薄膜的組合物，所述組合物由可應用于金屬有機沉積法的膠體狀溶液制成，所述膠體狀溶液包括包含構成鐵電薄膜的金屬的有機金屬化合物，所述組合物至少包括非所述有機金屬化合物中的結晶水的水。
根據第一個方面，包含了具有相對較高的沸點的水。由此，可以在干燥惰性氣體環境中長期維持有機金屬化合物的優異的分散穩定性及儲存穩定性。
本發明的第二個方面提供了一種根據第一個方面的用于形成鐵電薄膜的組合物，其中所述非所述有機金屬化合物中的結晶水的水的摩爾量是包括在所述膠體狀溶液中的所述金屬的總摩爾量的1至10倍。
根據第二個方面，所述用于形成鐵電薄膜的組合物的粘度具有對形成鐵電薄膜而言最佳的值。由此，可以相對容易地形成鐵電薄膜。
本發明的第三個方面提供了一種根據第二個方面的用于形成鐵電薄膜的組合物，其中所述非所述有機金屬化合物中的結晶水的水的摩爾量是包括在所述膠體狀溶液中的所述金屬的總摩爾量的5至7倍。
根據第三個方面，所述用于形成鐵電薄膜的組合物的粘度具有對形成鐵電薄膜而言甚至更佳的值。由此，可以相對容易地形成鐵電薄膜。
本發明的第四個方面提供了一種鐵電薄膜，其由根據第一至第三個方面中的任何一個方面的用于形成鐵電薄膜的組合物制成。
根據第四個方面，可以相對容易地實現具有幾近均勻分布的膜成份及穩定的壓電特性的鐵電薄膜。
本發明的第五個方面提供了一種包括壓電元件作為噴射液體的壓電致動器的液體噴射頭，所述壓電元件包括根據第四個方面的鐵電薄膜。
根據第五個方面，可以相對容易地實現具有穩定液體噴射特性及高可靠性的液體噴射頭。
本發明的第六個方面提供了一種制造鐵電薄膜的方法，包括將非有機金屬化合物中的結晶水的水加入到可應用于金屬有機沉積法的膠體狀溶液中，所述膠體狀溶液包括包含構成鐵電薄膜的金屬的有機金屬化合物；將所獲得的用于形成鐵電薄膜的組合物涂覆在對象物上；并通過干燥并燒結所述對象物上的所述用于形成鐵電薄膜的組合物來形成所述鐵電薄膜。
根據第六個方面，用于形成鐵電薄膜、包含具有相對較高沸點的水的組合物可在干燥惰性氣體環境中長期維持優異的分散穩定性及儲存穩定性。因此，可以相對容易地制造具有幾近均勻分布的膜成份的鐵電薄膜。
本發明的第七個方面提供了根據第六個方面的制造鐵電薄膜的方法，其中，通過將干燥惰性氣體引入儲存所述用于形成鐵電薄膜的組合物的容器，將所述用于形成鐵電薄膜的組合物傳送至連接至所述容器的噴嘴，且所述用于形成鐵電薄膜的組合物從所述噴嘴滴在旋轉的所述對象物上，同時將所述用于形成鐵電薄膜的組合物涂覆在所述對象物上。
根據第七個方面，可以相對容易地制造具有幾近均勻分散的膜成份的前體薄膜。
圖1是分解立體圖，示出了根據本發明的第二實施例的記錄頭的輪廓。
圖2(a)及2(b)是根據本發明的第二實施例的記錄頭的俯視圖及沿線A-A’所取的剖視圖。
具體實施例方式
以下將基于實施例詳細描述本發明。
(第一實施例)本發明的用于形成鐵電薄膜的組合物是膠體狀溶液(溶膠)，該膠體狀溶液可應用在用于根據MOD法來形成鐵電薄膜的MOD(金屬有機沉積)法中。更準確的講，該組合物至少含有包含構成鐵電薄膜的金屬的有機金屬化合物以及非該有機金屬化合物中的結晶水的水。不同于產生凝膠反應的溶膠凝膠法，MOD法指簡單地通過涂覆醇化物的或者使用醇化物作為原料的有機金屬材料的溶液、干燥、并進行加熱處理來獲得膜等的方法。“有機金屬化合物中的結晶水”是指例如包含在構成用于形成鐵電薄膜的材料的有機金屬化合物的晶體中的水(結晶水)。本發明所述的“非有機金屬化合物中的結晶水的水”指不同于結晶水的水。
此外，在本發明中，考慮到改善有機金屬化合物的分散穩定性及儲存穩定性，非有機金屬化合物中的結晶水的水的量(含量)沒有具體上限。但是，針對諸如涂覆、干燥及燒結的多種膜形成工藝的條件，考慮用于形成鐵電薄膜的組合物的粘度，上述(水的)量具有最佳范圍。更準確的講，非有機金屬化合物中的結晶水的水的摩爾量被優選的設定為包含在有機金屬化合物溶液中的金屬的總的摩爾量的1至10倍，或更優選的被設定為包含在有機金屬化合物溶液中的金屬的總的摩爾量的5至7倍。
在這里，如果用于形成鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜的組合物被應用來形成PZT薄膜，則“包含在有機金屬化合物溶液中的金屬的總摩爾量”等于構成PZT的金屬元素(即，鉛(Pb)、鈦(Ti)、及鋯(Zr))的總的摩爾量。
除了諸如金屬醇鹽或醋酸鹽化合物的有機金屬化合物之外，用于根據MOD法來形成鐵電薄膜的用于形成本發明的鐵電薄膜的組合物還包含作為溶劑的醇以及用于防止有機金屬化合物的水解的水解抑制劑。例如，用于有機金屬化合物的溶劑可以是丁氧基乙醇、丙醇等。水解抑制劑例如可以是單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、及乙酰丙酮等。
在這里，適當時，可以將用于穩定有機金屬化合物并由此防止在鐵電薄膜上產生裂縫的穩定劑(諸如聚乙二醇)加入本發明的用于形成鐵電薄膜的組合物。也可以加入增稠劑等其他添加劑。
此外，用于根據MOD法形成鐵電薄膜的本發明的用于鐵電薄膜的組合物包含具有相對較高沸點的水。由此，可以在干燥惰性氣體環境中長期保持有機金屬化合物的分散穩定性，并可靠地防止了溶膠凝聚和沉積。此外，即使當用于形成鐵電薄膜的組合物在干燥惰性氣體下在容器中儲存一定時間后，也可以可靠地防止溶膠沉積。由此，可以長期維持有機金屬化合物的儲存穩定性。
在這里，本發明的用于鐵電薄膜的組合物通過將非有機金屬化合物中的結晶水的水加入可應用于MOD法的包含有機金屬化合物的膠體狀溶液來制備，該膠體狀溶液諸如是通過將有機金屬化合物及水解抑制劑加入醇(溶劑)中而形成的膠體狀溶液。如上所述，因為有機金屬化合物溶液包含水解抑制劑，故不會因隨后加入水而導致有機金屬化合物與水之間發生水解。特別在可應用于MOD法的膠體狀溶液的情況下，本發明可產生更顯著的效果。
接下來將基于示例1及對比示例1來進一步詳細描述本發明的用于形成鐵電薄膜的組合物。
(示例1)在將劑量為354g的2-正丁氧基乙醇(CH3(CH2)3OCH2CH2OH)加入燒瓶中后，將劑量為38.4g(0.135mol)的四異丙氧基鈦(Ti((CH3)2CHO)4))加入該燒瓶。在室溫下攪拌該混合物以制備溶液A。然后，將劑量為68.8g的二乙醇胺(HN(CH2CH2OH)2)與燒瓶中的溶液A混合。在室溫下攪拌該混合物以制備溶液B。然后，將劑量為139.8g(0.368mol)的乙酸鉛三水合物(Pb(CH3COO)2·3H2O)加入燒瓶中的溶液B。然后，將劑量為82.6g(0.169mol)的乙酰丙酮鋯(Zr(CH3COCHCOCH3)4)加入其中。在加熱至70℃的同時將該混合物攪拌45分鐘，然后將其自然冷卻至室溫以制備溶液C。然后，將劑量為34.2g的聚乙二醇((-CH2CH2O-)n)(平均分子量為400)加入燒瓶中的溶液C，然后在室溫下攪拌該混合物以制備溶液D。最后，將劑量為36.3g(2.02mol)的純水加入燒瓶中的溶液D，然后在室溫下攪拌該混合物以完成示例1的用于形成鐵電薄膜的組合物(用于形成Pb1.21(Zr0.556Ti0.444)O3薄膜的組合物)。
(對比示例1)除了不加入純水之外，以與示例1相類似的方式制備對比示例1的用于形成鐵電薄膜的組合物。
(測試示例1)對于上述示例1及對比示例1的用于鐵電薄膜的組合物，通過測量并對比在干燥氮氣環境中溶膠沉積所需的時間來進行測試。結果，在對比示例1中，在經過72小時后溶膠沉積就已經開始。相反，在示例1中，在經過1000小時后沒有發現溶膠沉積。通過該測試結果，很明顯，相較于不包含非乙酸鉛三水合物中的結晶水的純水的對比示例1的用于形成鐵電薄膜的組合物，包含非乙酸鉛三水合物中的結晶水的純水的示例1的用于形成鐵電薄膜的組合物可長期維持優異的分散穩定性及儲存穩定性。
這里，通過使用上述用于形成鐵電薄膜的組合物而形成的鐵電薄膜例如包含諸如鋯鈦酸鉛(PZT)的鐵電材料(壓電材料)的晶體，或通過加入諸如鈮、鎳、鎂、鉍、釔、鐿等金屬而獲得的弛豫鐵電材料的晶體。例如，其組成可以是PbTiO3(PT)、PbZrO3(PZ)、Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)、Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMN-PT)、Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PZN-PT)、Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PNN-PT)、Pb(In1/2Nb1/2)O3-PbTiO3(PIN-PT)、Pb(Sc1/2Ta1/2)O3-PbTiO3(PST-PT)、Pb(Sc1/2Nb1/2)O3-PbTiO3(PSN-PT)、BiScO3-PbTiO3(BS-PT)、BiYbO3-PbTiO3(BY-PT)等等。
本發明的鐵電薄膜由用于形成鐵電薄膜(就有機金屬化合物而言其具有優異的分散穩定性及儲存穩定性)的組合物制成。因此，膜成份幾乎均勻地分布，或換言之，鐵電薄膜的膜質量變得幾近一致。由此，鐵電薄膜可顯示穩定的壓電特性。
這里，本實施例的上述用于形成鐵電薄膜的組合物以及通過使用該用于形成鐵電薄膜的組合物而形成的鐵電薄膜可應用于器件開發的廣泛領域。盡管其應用等沒有具體的限制，但可能的應用的示例包括微致動器、濾波器、延遲線路、舌片式選擇器(reed selector)、音叉振蕩器、音叉時鐘、收發器、壓電拾音器、壓電耳機、壓電擴音器、SAW濾波器、RF調制器、諧振器、延遲元件、多帶耦合器、壓電加速計、壓電揚聲器等等。
此外，本發明的制造鐵電薄膜的方法包括制備用于形成鐵電薄膜的組合物的工序，制備用于形成鐵電薄膜的組合物的工序通過將水解抑制劑等加入通過將有機金屬化合物溶解于諸如醇的溶劑而獲得的溶液中、然后向其加入非有機金屬化合物中的結晶水的水來完成。通過在對象物上涂覆所制備的用于形成鐵電薄膜的組合物，然后干燥、脫脂、并燒結對象物上用于形成鐵電薄膜的組合物來形成鐵電薄膜。
以此方式，根據本發明的制造鐵電薄膜的方法，用于形成鐵電薄膜的包含具有較高沸點的水的組合物可在干燥惰性氣體環境中長期維持有機金屬化合物的優異的分散穩定性及儲存穩定性。由此，可以相對容易地形成具有幾近均勻分布的膜成份(換言之，具有幾近一致的膜質量)的鐵電薄膜。
同時，在向對象物上涂覆用于形成鐵電薄膜的組合物的步驟中，優選的是將干燥惰性氣體以給定的流率引入儲存該用于形成鐵電薄膜的組合物的容器中，以將該用于形成鐵電薄膜的組合物傳送至連接到容器的噴嘴，并將該用于形成鐵電薄膜的組合物從噴嘴滴至旋轉的對象物上。以此方式，可以相對容易地制造用于具有幾近均勻分布的膜成份的鐵電薄膜的前體膜。
(第二實施例)接下來，將參考圖1至圖2(b)詳細描述一種噴墨記錄頭，其代表將本發明應用至壓電致動器的液體噴射頭的示例。圖1是分解立體圖，示出了代表液體噴射頭的示例的噴墨記錄頭的輪廓。圖2(a)及2(b)是俯視圖及沿圖1中的線A-A’所取的剖視圖。如圖1至圖2(b)所示，在本實施例中，通道形成襯底10由具有面取向(110)的單晶硅襯底制成，且具有0.5至2μm范圍內厚度的彈性膜50形成在其一個表面上，其中該彈性膜50由通過熱氧化預先形成的二氧化硅(SiO2)制成。
由多個分隔壁11分隔的多個壓力產生腔12通過從其一個表面側各向異性蝕刻該單晶硅襯底而布置在該通道形成襯底10上。同時，與稍后描述的保護板30的儲存部32連通的連通部13形成于壓力產生腔12的垂直于布置方向(寬度方向)的方向(縱長方向)上的端部的外側。此外，該連通部13通過供墨通道14分別與各個壓力產生腔12的縱長方向上的端部連通。
此外，用于形成壓力產生腔12的掩膜51設置在通道形成襯底10的開口表面側上。通過鉆孔設置有噴嘴孔21的噴嘴板20通過粘合劑、熱接合膜等被固定在該掩膜51上，其中該噴嘴孔21與各個壓力產生腔12的供墨通道14的相反側上的端部附近連通。
同時，具有例如約0.4μm厚度的絕緣膜55形成在彈性膜50的與上述通道形成襯底10的開口表面的相反一側上。根據下述工藝，具有例如約0.2μm厚度的下電極膜60、具有例如約1μm厚度的鐵電薄膜(壓電層)70、以及具有例如約0.05μm厚度的上電極膜80通過層疊而形成在該絕緣膜55上并共同構成壓電元件300。這里，本實施例的鐵電薄膜70由用于形成鐵電薄膜的組合物形成，所述組合物由可應用于MOD法的膠體狀溶液制成，其中所述組合物通過向有機金屬化合物的溶液中加入非有機金屬化合物中的結晶水的水來獲得。
這里，壓電元件300指包括下電極膜60、鐵電薄膜70、以及上電極膜80的部分。通常，壓電元件300的電極中的一個用作共用電極，而另一電極及鐵電薄膜70依照各個壓力產生腔12被圖案化。此外，如此圖案化的包括電極中的一個及鐵電薄膜70的部分(其基于向兩個電極施加電壓而產生壓電應變)將在這里被稱作壓電活性部分。在本實施例中，下電極膜60被用作壓電元件300的共用電極而上電極膜80被用作壓電元件300的個體電極。但是，因為驅動電路或配線的方便而反轉的配置也是可行的。在任何情況下，為每個壓力產生腔12都形成有壓電活性部分。此外，壓電元件300以及通過壓電元件300的驅動而發生位移的振動板在這里被總稱為壓電致動器。這里，彈性膜50、絕緣膜55、以及下電極膜60一起充當本實施例中的振動板。
此外，包括可確保不妨礙壓電元件300操作的充分空間的壓電元件保持部31的保護板30通過粘合劑被接合至通道形成襯底10的設置有壓電元件300的一側上。壓電元件300形成在該壓電元件保持部31的內部并由此以幾乎不受外部環境影響的狀態被保護。這里，壓電元件保持部31的內部空間可以是密封的或是不密封的。
此外，保護板30設置有儲存部32，其構成儲液室100的至少一部分，該儲液室100充當通往各個壓力產生腔12的共用墨腔。如上所述，該儲存部32與通道形成襯底10的連通部13相連通并由此構成起到通往各個壓力產生腔12的共用墨腔的作用的儲液室100。同時，通孔33形成在保護板30上位于壓電元件保持部31與儲存部32之間的區域中，由此以在厚度方向上穿透保護板30。此外，從各個壓電元件300引出的各個引線電極90的端部的附近暴露在通孔33的內部。
此外，包括密封膜41及固定板42的柔性板40被接合在上述保護板30上。這里，固定板42由諸如金屬的硬質材料制成。該固定板42相對于儲液室100的區域在厚度方向上被完全除去并由此形成開口部43。由此，儲液室100的一側僅由具柔性的密封膜41密封。
在上述本實施例的噴墨記錄頭中，墨水從未示出的外部供墨裝置被引入。在從儲液室100至噴嘴孔21的范圍中的內部充滿墨水后，根據來自未示出的驅動IC的驅動信號，相應于各個壓力產生腔12，在下電極膜60與上電極膜80之間施加驅動電壓，而彈性膜50、絕緣膜55、下電極膜60、及鐵電薄膜70彎曲變形。以此方式，增加了相應壓力產生腔12中的壓力并從噴嘴孔21噴射墨滴。
在上述本實施例的噴墨記錄頭中，鐵電薄膜70由有機金屬化合物以及用于形成鐵電薄膜的組合物制成，該組合物包含非該有機金屬化合物中的結晶水的水，或換言之，該用于形成鐵電薄膜的組合物具有有機金屬化合物的優異的分散穩定性及儲存穩定性。由此，鐵電薄膜70的膜成份幾近均勻地分布，且鐵電薄膜70的膜質量變得幾近一致。由此，可以穩定頭的噴墨特性并改善頭的可靠性。
盡管基于作為液體噴射頭的示例的構造為噴墨的噴墨記錄頭描述了本實施例，但液體噴射頭不應被僅限于此。例如，液體噴射頭可以是用在諸如打印機的圖像記錄裝置中的記錄頭、用于制造液晶顯示器等的彩色濾光片的彩色材料噴射頭、用于形成有機EL顯示器、FED(場發射顯示器)等中的電極的電極材料噴射頭、以及用于制造生物芯片的活性有機材料噴射頭等。
權利要求書(按照條約第19條的修改)1.一種用于形成鐵電薄膜的組合物，所述組合物由可應用于金屬有機沉積法的膠體狀溶液制成，所述膠體狀溶液包括包含構成鐵電薄膜的金屬的有機金屬化合物，所述組合物至少包括非所述有機金屬化合物中的結晶水的水。
2.根據權利要求1所述的用于形成鐵電薄膜的組合物，其中所述非所述有機金屬化合物中的結晶水的水的摩爾量是包括在所述膠體狀溶液中的所述金屬的總摩爾量的1至10倍。
3.根據權利要求2所述的用于形成鐵電薄膜的組合物，其中所述非所述有機金屬化合物中的結晶水的水的摩爾量是包括在所述膠體狀溶液中的所述金屬的總摩爾量的5至7倍。
4.一種鐵電薄膜，其由根據權利要求1-3中任一項所述的用于形成鐵電薄膜的組合物制成。
5.一種液體噴射頭，包括壓電元件，其包括根據權利要求4所述的鐵電薄膜，所述壓電元件充當噴射液體的壓電致動器。
6.一種制造鐵電薄膜的方法，包括將非有機金屬化合物中的結晶水的水加入到可應用于金屬有機沉積法的膠體狀溶液中，所述膠體狀溶液包括包含構成鐵電薄膜的金屬的有機金屬化合物；將所獲得的用于形成鐵電薄膜的組合物涂覆在對象物上；以及通過干燥并燒結所述對象物上的所述用于形成鐵電薄膜的組合物來形成所述鐵電薄膜。
7.根據權利要求6所述的制造鐵電薄膜的方法，其中，通過將干燥惰性氣體引入儲存所述用于形成鐵電薄膜的組合物的容器，將所述用于形成鐵電薄膜的組合物傳送至連接至所述容器的噴嘴，且所述用于形成鐵電薄膜的組合物從所述噴嘴滴在旋轉的所述對象物上，同時將所述用于形成鐵電薄膜的組合物涂覆在所述對象物上。
8.根據權利要求6所述的制造鐵電薄膜的方法，其中，所述非有機金屬化合物中的結晶水的水在向所述膠體狀溶液添加水解抑制劑之后加入。
權利要求
1.一種用于形成鐵電薄膜的組合物，所述組合物由可應用于金屬有機沉積法的膠體狀溶液制成，所述膠體狀溶液包括包含構成鐵電薄膜的金屬的有機金屬化合物，所述組合物至少包括非所述有機金屬化合物中的結晶水的水。
2.根據權利要求1所述的用于形成鐵電薄膜的組合物，其中所述非所述有機金屬化合物中的結晶水的水的摩爾量是包括在所述膠體狀溶液中的所述金屬的總摩爾量的1至10倍。
3.根據權利要求2所述的用于形成鐵電薄膜的組合物，其中所述非所述有機金屬化合物中的結晶水的水的摩爾量是包括在所述膠體狀溶液中的所述金屬的總摩爾量的5至7倍。
4.一種鐵電薄膜，其由根據權利要求1-3中任一項所述的用于形成鐵電薄膜的組合物制成。
5.一種液體噴射頭，包括壓電元件，其包括根據權利要求4所述的鐵電薄膜，所述壓電元件充當噴射液體的壓電致動器。
6.一種制造鐵電薄膜的方法，包括將非有機金屬化合物中的結晶水的水加入到可應用于金屬有機沉積法的膠體狀溶液中，所述膠體狀溶液包括包含構成鐵電薄膜的金屬的有機金屬化合物；將所獲得的用于形成鐵電薄膜的組合物涂覆在對象物上；以及通過干燥并燒結所述對象物上的所述用于形成鐵電薄膜的組合物來形成所述鐵電薄膜。
7.根據權利要求6所述的制造鐵電薄膜的方法，其中，通過將干燥惰性氣體引入儲存所述用于形成鐵電薄膜的組合物的容器，將所述用于形成鐵電薄膜的組合物傳送至連接至所述容器的噴嘴，且所述用于形成鐵電薄膜的組合物從所述噴嘴滴在旋轉的所述對象物上，同時將所述用于形成鐵電薄膜的組合物涂覆在所述對象物上。
全文摘要
提供了一種用于形成鐵電薄膜的組合物，其是一種可應用于MOD法的、可長期維持有機金屬化合物的優異的分散穩定性及儲存穩定性的膠體狀溶液；一種鐵電薄膜；一種制造鐵電薄膜的方法；以及一種液體噴射頭。在根據MOD法形成鐵電薄膜時使用一種用于形成鐵電薄膜的組合物，所述組合物由可應用于MOD法的膠體狀溶液制成，所述膠體狀溶液包括包含構成鐵電薄膜的金屬的有機金屬化合物，所述組合物包含非所述有機金屬化合物中的結晶水的水。
文檔編號C01G25/00GK1922743SQ20058000610
公開日2007年2月28日 申請日期2005年6月29日 優先權日2004年7月13日
發明者角浩二 申請人:精工愛普生株式會社