專利名稱：油擴散泵抽高真空快冷裝置的制作方法
技術領域：
本發明是真空爐抽高真空時擴散泵的一種加強裝置，它的目的是提商抽真空系統的真空度，并降低油擴 散泵對加熱區域的污染。
背景技術：
目前的擴散泵是由電加熱盤將擴散泵里的油加熱，揮發，在上部有一水冷管路通過水冷的方式進行冷 凝為回流而復始來達到抽真空的目的。目前的水冷管路一般不帶水冷裝置，故冷卻效果不好，往往真空度 達不到標準的要求。由于冷卻速度的不夠，油的揮發往往進入加熱室而導致污染工件。
發明內容
本發明是主要在原擴散泵的基礎上加上一個高強度的冷井，它的原理是在原水冷的基礎上將以氟里昂 為介質由壓縮機制冷的循環系統，使其冷卻速度大大降低，從而大大改善了冷凝的效果。使油在通過冷井 時也不再揮發。也就不會有油污進入加熱室。 具體實施方法該裝置是將原水冷系統作進一步改進，使冷卻速度加快，并在管路內通入氟里昂作為冷卻介質。由壓 縮機進行制冷。從而來提高冷卻速度，該方法簡單有效，降低了成本。
權利要求
1.在原擴散泵的基礎上加上一個高強度的冷井，它的原理是在原水冷的基礎上將水換成以氟里昂為介質由壓縮機制冷的循環系統，使其冷卻速度大大降低，從而大大改善了冷凝的效果。使油在通過冷井時也再揮發。也就不會有油污進入加熱室。
全文摘要
本發明油擴散泵抽高真空快冷裝置是真空爐抽高真空時擴散泵的一種加強裝置，它的目的是提高抽真空系統的真空度，并降低油擴散泵對加熱區域的污染。目前的擴散泵是由電加熱盤將擴散泵里的油加熱，揮發，在上部有一水冷管路通過水冷的方式進行冷凝為回流而復始來達到抽真空的目的。目前的水冷管路一般不帶水冷裝置，故冷卻效果不好，往往真空度達不到標準的要求。由于冷卻速度的不夠，油的揮發往往進入加熱室而導致污染工件。本發明是主要在原擴散泵的基礎上加上一個高強度的冷井，它的原理是在原水冷的基礎上將以氟里昂為介質由壓縮機制冷的循環系統，使其冷卻速度大大降低，從而大大改善了冷凝的效果。使油在通過冷井時也不再揮發。也就不會有油污進入加熱室。
文檔編號F04F9/00GK101334050SQ20071002467
公開日2008年12月31日 申請日期2007年6月27日 優先權日2007年6月27日
發明者李榮華 申請人:吳江市天地人真空爐業有限公司