技術編號：93683
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。封、導結合的雙環密封系統(以下簡稱雙環密封系統)是空氣潔凈技術領域解決高效過濾器安裝邊框滲漏的新方法。高效過濾器是潔凈室的最后一道擋住灰塵隨送風進入室內的手段，而它的邊框和框架之間的滲漏(見圖1)則是有重要影響的一種滲漏，因為這不能通過像篩選過濾器那樣的辦法預先解決，相反，卻帶有極大的隨機性。對于高潔凈度級別的潔凈室，例如100級潔凈室(每升空氣中，≥0.5μ的塵粒不允許超過3.5粒)，特別是超大規模集成電路生產所要求的10級潔凈室(每升空氣中，≥0.1μ的塵粒不允許超過0.35粒)，邊框的滲漏成為致命的問題。因為...
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