本技術涉及雙氧水生產領域，尤其涉及一種電子級雙氧水儲罐智能氮封系統。
背景技術：
1、隨著國內食品、醫藥、光伏、lcd以及半導體產業發展，特別是受疫情的影響，食品醫藥衛生行業對清潔消毒劑的h2o2需求量越來越大，對質量品質的管控越來越嚴；而半導體電子產業作為國家發展戰略支持的高新技術產業，近幾年每年投資規模都在2000億以上，形成了華東、華南、華中、西南半導體產業聚集產業中心，電子級化學品的用量也逐年大幅度增加。隨著半導體制程線寬的演進，14nm將逐漸成為主流，未來甚至7nm及5nm技術也將一步一步實現。因此，半導體廠先進制程對于高純電子化學品需求只會增不會減，要求達到陽離子小于10ppt的質量水平。
2、而電子級雙氧水與外界空氣接觸易造成顆粒物超標，影響其質量，所以需要增強雙氧水儲罐的密封性，防止造成質量事故的發生。專利號為cn218441813u的現有技術公開了一種雙氧水儲槽氮氣密封裝置，其采用氮封方法，使氮氣依次進入串連的多個雙氧水儲槽，通過水封槽密封，能提高雙氧水儲罐的氮封效果，降低氮氣消耗量。但是當需要向儲罐內補充雙氧水時，為了平衡罐內氣壓，在充入雙氧水同時，罐內的氮氣也將排出，目前該部分氮氣一般直接排至大氣中，將造成氮氣的損失和浪費。
技術實現思路
1、本實用新型旨在至少解決上述所提及的技術問題之一，提供一種電子級雙氧水儲罐智能氮封系統，能夠有效回收利用氮封排出的廢氣。
2、為了實現上述目的，本實用新型采用的技術方案為：
3、一種電子級雙氧水儲罐智能氮封系統，包括雙氧水儲罐、供氮裝置和廢氣儲存罐，所述雙氧水儲罐上連通有進液管、出液管、氮氣輸入管和氮氣輸出管，所述供氮裝置的輸出端連通氮氣輸入管，所述氮氣輸出管連通廢氣儲存罐的輸入端，所述廢氣儲存罐的輸出端均連通氮氣輸入管和出液管。
4、作為上述技術方案的改進，所述廢氣儲存罐的輸出端上連通有氮氣吹掃頭。
5、作為上述技術方案的改進，還包括控制系統，所述雙氧水儲罐上設有第一壓力變送器，所述氮氣輸入管上設有氮封閥，所述氮氣輸出管上設有泄氮閥，所述控制系統均電連接第一壓力變送器、氮封閥和泄氮閥，所述第一壓力變送器能夠實時監測雙氧水儲罐的內部壓力值，并將實時壓力值傳送至控制系統，所述控制系統能夠將實時壓力值與預設閾值進行比較，并根據比較結果分別控制氮封閥和泄氮閥的打開或關閉。
6、作為上述技術方案的改進，所述雙氧水儲罐上設有呼吸閥，所述控制系統能夠將實時壓力值與預設閾值進行比較，并根據比較結果控制呼吸閥的打開或關閉。
7、作為上述技術方案的改進，所述控制系統包括相互電連接的中央處理器和控制器，所述第一壓力變送器與中央處理器電連接，所述氮封閥、泄氮閥和呼吸閥均與控制器電連接，所述中央處理器能夠接收第一壓力變送器發送的實時壓力值，并將實時壓力值與內部預設的壓力閾值進行比較，所述控制器能夠接收中央處理器發送的比較結果信號，并根據比較結果分別控制氮封閥、泄氮閥和呼吸閥的打開或關閉。
8、作為上述技術方案的改進，所述雙氧水儲罐上連通有液位管，所述液位管內設有液位傳感器，所述液位傳感器與中央處理器電連接，所述中央處理器能夠接收液位傳感器發送的實時液位高度值，并將實時液位高度與內部預設的液位高度閾值進行比較，所述控制器能夠接收中央處理器發送的比較結果信號，并根據比較結果分別控制氮封閥、泄氮閥和呼吸閥的打開或關閉。
9、作為上述技術方案的改進，所述廢氣儲存罐上設有第二壓力變送器，所述廢氣儲存罐的輸出端上均設有出氣閥。
10、作為上述技術方案的改進，所述氮氣輸入管上且位于氮封閥兩端的位置上均設有截止閥。
11、與現有技術相比本申請的有益效果是：
12、本實用新型的一種電子級雙氧水儲罐智能氮封系統，通過設置供氮裝置向雙氧水儲罐的頂部內充入氮氣，以調節雙氧水儲罐內氣壓，達到防止外部大氣、灰塵等進入雙氧水儲罐的目的，避免電子級雙氧水的顆粒物超標；并采用廢氣儲存罐對雙氧水儲罐排出的氮氣進行回收，回收的氮氣可以繼續氮封使用，也可以通至雙氧水儲罐的出液管，用于在雙氧水出液前清潔出液管使用，避免前段雙氧水出液被污染。
1.一種電子級雙氧水儲罐智能氮封系統，其特征在于，包括雙氧水儲罐、供氮裝置和廢氣儲存罐，所述雙氧水儲罐上連通有進液管、出液管、氮氣輸入管和氮氣輸出管，所述供氮裝置的輸出端連通氮氣輸入管，所述氮氣輸出管連通廢氣儲存罐的輸入端，所述廢氣儲存罐的輸出端均連通氮氣輸入管和出液管。
2.根據權利要求1所述的一種電子級雙氧水儲罐智能氮封系統，其特征在于，所述廢氣儲存罐的輸出端上連通有氮氣吹掃頭。
3.根據權利要求1所述的一種電子級雙氧水儲罐智能氮封系統，其特征在于，還包括控制系統，所述雙氧水儲罐上設有第一壓力變送器，所述氮氣輸入管上設有氮封閥，所述氮氣輸出管上設有泄氮閥，所述控制系統均電連接第一壓力變送器、氮封閥和泄氮閥，所述第一壓力變送器能夠實時監測雙氧水儲罐的內部壓力值，并將實時壓力值傳送至控制系統，所述控制系統能夠將實時壓力值與預設閾值進行比較，并根據比較結果分別控制氮封閥和泄氮閥的打開或關閉。
4.根據權利要求3所述的一種電子級雙氧水儲罐智能氮封系統，其特征在于，所述雙氧水儲罐上設有呼吸閥，所述控制系統能夠將實時壓力值與預設閾值進行比較，并根據比較結果控制呼吸閥的打開或關閉。
5.根據權利要求4所述的一種電子級雙氧水儲罐智能氮封系統，其特征在于，所述控制系統包括相互電連接的中央處理器和控制器，所述第一壓力變送器與中央處理器電連接，所述氮封閥、泄氮閥和呼吸閥均與控制器電連接，所述中央處理器能夠接收第一壓力變送器發送的實時壓力值，并將實時壓力值與內部預設的壓力閾值進行比較，所述控制器能夠接收中央處理器發送的比較結果信號，并根據比較結果分別控制氮封閥、泄氮閥和呼吸閥的打開或關閉。
6.根據權利要求5所述的一種電子級雙氧水儲罐智能氮封系統，其特征在于，所述雙氧水儲罐上連通有液位管，所述液位管內設有液位傳感器，所述液位傳感器與中央處理器電連接，所述中央處理器能夠接收液位傳感器發送的實時液位高度值，并將實時液位高度與內部預設的液位高度閾值進行比較，所述控制器能夠接收中央處理器發送的比較結果信號，并根據比較結果分別控制氮封閥、泄氮閥和呼吸閥的打開或關閉。
7.根據權利要求3所述的一種電子級雙氧水儲罐智能氮封系統，其特征在于，所述廢氣儲存罐上設有第二壓力變送器，所述廢氣儲存罐的輸出端上均設有出氣閥。
8.根據權利要求1所述的一種電子級雙氧水儲罐智能氮封系統，其特征在于，所述氮氣輸入管上且位于氮封閥兩端的位置上均設有截止閥。