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集成電路氣密性測試裝置的制作方法

文檔序號:41234836發布日期:2025-03-14 12:03閱讀:29來源:國知局

本技術涉及集成電路氣密性測試,尤其涉及集成電路氣密性測試裝置。


背景技術:

1、在傳統的氣密測試領域,半自動氣密測試儀的使用通常需要依賴于與產品尺寸精確匹配的專用socket。這種依賴性導致了一個問題:每當集成電路(芯片)的尺寸發生變化,就必須更換相應的socket來進行壓力測試。這一過程不僅耗時,而且缺乏靈活性。此外,為了驗證不同尺寸的芯片,通常需要進行繁瑣的change?kit操作,這增加了測試過程的復雜性和成本。


技術實現思路

1、本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點,而提出的集成電路氣密性測試裝置。

2、為了實現上述目的,本實用新型采用了如下技術方案:集成電路氣密性測試裝置,包括底座,所述底座上固定連接有升降機構框架,所述升降機構框架上固定連接有直線導軌,所述直線導軌上滑動設有限位滑塊,所述限位滑塊固定連接有測試裝置本體,所述測試裝置本體的內部底端設置有吸嘴固定凹槽,所述測試裝置本體的中部設置有壓力傳感器,所述測試裝置本體上滑動連接有軸承,所述軸承與測試裝置本體滑動連接,所述軸承上固定連接有調整齒輪,所述升降機構框架的頂部設置有手動升降裝置。

3、作為上述技術方案的進一步描述:

4、所述手動升降裝置與軸承連接并通過下壓手動升降裝置帶動軸承下降。

5、作為上述技術方案的進一步描述:

6、所述吸嘴固定凹槽內固定外用吸嘴,并將吸嘴一側通過氣管與氣密泄漏儀連接。

7、作為上述技術方案的進一步描述:

8、所述底座上放置待測試芯片。

9、作為上述技術方案的進一步描述:

10、所述壓力傳感器連接在泄漏儀上,泄漏儀將測試結果反饋給壓力傳感器,根據壓力傳感器結果人為判定測試是否通過。

11、作為上述技術方案的進一步描述:

12、所述調整齒輪用于調整軸承的壓力。

13、本實用新型具有如下有益效果:本實用新型提出的集成電路氣密性測試裝置,允許使用通用的手動氣密測試治具,配合萬用吸嘴,能夠適應不同尺寸的產品進行測試,消除了為特定產品制作專用socket的需求,從而大幅節約了時間和成本,同時該測試裝置在測試能力上與原有的專用socket保持一致,確保了測試結果的準確性和可靠性,本實用新型不僅提升了測試效率,還保證了測試的一致性和有效性。



技術特征:

1.集成電路氣密性測試裝置,包括底座(1),其特征在于:底座(1)上固定連接有升降機構框架(2),所述升降機構框架(2)上固定連接有直線導軌(3),所述直線導軌(3)上滑動設有限位滑塊(4),所述限位滑塊(4)固定連接有測試裝置本體(5),所述測試裝置本體(5)的內部底端設置有吸嘴固定凹槽(6),所述測試裝置本體(5)的中部設置有壓力傳感器(7),所述測試裝置本體(5)上滑動連接有軸承(8),所述軸承(8)與測試裝置本體(5)滑動連接,所述軸承(8)上固定連接有調整齒輪(9),所述升降機構框架(2)的頂部設置有手動升降裝置(10)。

2.根據權利要求1所述的集成電路氣密性測試裝置,其特征在于:所述手動升降裝置(10)與軸承(8)連接并通過下壓手動升降裝置(10)帶動軸承(8)下降。

3.根據權利要求2所述的集成電路氣密性測試裝置,其特征在于:所述吸嘴固定凹槽(6)內固定外用吸嘴,并將吸嘴一側通過氣管與氣密泄漏儀連接。

4.根據權利要求3所述的集成電路氣密性測試裝置,其特征在于:所述底座(1)上放置待測試芯片。

5.根據權利要求4所述的集成電路氣密性測試裝置,其特征在于:所述壓力傳感器(7)連接在泄漏儀上,泄漏儀將測試結果反饋給壓力傳感器(7),根據壓力傳感器(7)結果人為判定測試是否通過。

6.根據權利要求5所述的集成電路氣密性測試裝置,其特征在于:所述調整齒輪(9)用于調整軸承(8)的壓力。


技術總結
本技術涉及集成電路氣密性測試技術領域的集成電路氣密性測試裝置,包括底座,底座上固定連接有升降機構框架,所述升降機構框架上固定連接有直線導軌,所述直線導軌上滑動設有限位滑塊,所述限位滑塊固定連接有測試裝置本體,所述測試裝置本體的內部底端設置有吸嘴固定凹槽,所述測試裝置本體的中部設置有壓力傳感器。本技術提出的集成電路氣密性測試裝置,允許使用通用的手動氣密測試治具,配合萬用吸嘴能夠適應不同尺寸的產品進行測試,消除了為特定產品制作專用socket的需求,大幅節約了時間和成本,同時在測試能力上與原有的專用socket保持一致,確保了測試結果的準確性和可靠性,不僅提升了測試效率,還保證了測試的一致性和有效性。

技術研發人員:惠辛陽
受保護的技術使用者:日月新半導體(蘇州)有限公司
技術研發日:20240618
技術公布日:2025/3/13
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