本發明涉及晶圓缺陷檢測，具體地說，涉及一種圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測方法、裝置、系統及存儲介質。
背景技術：
1、圖案晶圓棱錐(pyramid)是外延生長后在表面出現的顯示小平面的一種結構，其表面臟污等外觀缺陷一直是視覺檢測中的難題。在基于檢測模板(如黃金模板)的檢測中，其通過構建理想的待檢測區域的檢測模板，并通過比較實際檢測區域的圖像與檢測模板的灰度差值實現；目前在該領域中，對于如何高效利用檢測設備的計算資源，針對不同尺寸的缺陷準確檢測出pyramid(棱錐)臟污等，為研究的熱點。
技術實現思路
1、本發明提供了一種圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測方法，其能夠克服現有技術的某種或某些缺陷。
2、根據本發明的圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測方法，其具有如下步驟：
3、s1、構建檢測模板，獲取待檢測區域在檢測模板中的基準灰度圖a，a＝i1[m，n]；i1[m，n]為列數為m、行數為n的像素點的灰度值；
4、s2、獲取待檢測區域的實際灰度圖b，b＝i2[m，n]；i2[m，n]為列數為m、行數為n的像素點的灰度值；
5、s3、同時將基準灰度圖a和實際灰度圖b縮小n次，縮小n次后的基準灰度圖a為灰度圖an，縮小n次后的基準灰度圖b為灰度圖bn；
6、s4、獲取灰度圖bn與灰度圖an的差值圖δin，δin＝an-bn；以δin大于設定灰度閾值的像素點作為問題點，獲取所有問題點在實際灰度圖b中連通后的面積作為缺陷面積s；
7、在缺陷面積s大于設定面積閾值時，則判定待檢測區域存在缺陷，并結束檢測；
8、在缺陷面積s小于設定面積閾值時，將n賦值為n-1，重復步驟s3和步驟s4繼續進行檢測直至n＝1；
9、s5、輸出檢測結果。
10、作為優選，n的數值設置為縮小n次后的基準灰度圖a的像素尺寸不低于10。
11、作為優選，灰度閾值設置為25。
12、作為優選，面積閾值設置為15。
13、此外，本發明還提供了一種圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測裝置，包括存儲器和處理器，所述存儲器中存儲有計算機程序，所述處理器執行所述計算機程序時，實現任一項上述的檢測方法的步驟。
14、此外，本發明還提供了一種圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測系統，其包括上述的圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測裝置。
15、此外，本發明還提供了一種計算機可讀介質，其上存儲有計算機程序，其所述計算機程序被執行時實現任一項上述的檢測方法的步驟。
16、本發明的有益效果在于：由于圖案晶圓棱錐的密集度高、數量大且存在凹槽結構，如果存在臟污則差值運算的運算量很大，并且由于不同區域的臟污尺寸差異大，故會導致常規的檢測方法存在分類麻煩、檢測時間長等的缺陷；相較于目前基于檢測模板的缺陷檢測，本方法不單單只是將待檢測區域的實際灰度圖與檢測模板(基準灰度圖)進行相減后比對灰度差值，而是通過步驟s3對原始圖像(實際灰度圖b)和模板(基準灰度圖a)進行縮小后相減，從而能夠較佳地實現運算速度的幾何倍提升。此外，由于步驟s4中，會在未檢出缺陷時，逐級地減小縮放的倍速后進行再次檢測，故而能夠較佳地保證滿足不同尺寸臟污缺陷的檢測需要。
1.圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測方法，其具有如下步驟：
2.根據權利要求1所述的圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測方法，其特征在于：n的數值設置為縮小n次后的基準灰度圖a的像素尺寸不低于10。
3.根據權利要求1所述的圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測方法，其特征在于：灰度閾值設置為25。
4.根據權利要求1所述的圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測方法，其特征在于：面積閾值設置為15。
5.圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測裝置，包括存儲器和處理器，所述存儲器中存儲有計算機程序，其特征在于：所述處理器執行所述計算機程序時，實現權利要求1至4中任一項所述的檢測方法的步驟。
6.圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測系統，其特征在于：包括權利要求5中所述的圖案晶圓棱錐臟污缺陷檢測裝置。
7.一種計算機可讀介質，其上存儲有計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被執行時實現權利要求1至5中任一項所述的檢測方法的步驟。