一種單晶硅棒機械粘接設備的制造方法
【技術領域】
[0001 ]本發明涉及單晶硅棒加工技術領域。
【背景技術】
[0002]單晶硅棒粘接工序是單晶開方前的一個準備工序，主要工作就是將一根根單晶硅棒用膠粘接到開方機專用的圓形狀晶托上，必須保證單晶硅棒的中心軸線與晶托的中心軸線的誤差在允許的范圍內，才能保證開方機能正常的將單晶硅棒加工成單晶硅塊。
[0003]由于單晶粘接工序對人員的要求較高，粘料工在粘接過程中需要憑借自己的工作經驗來進行操作，有很大的幾率造成單晶出現外形情況，特別是臨界單晶和扭曲單晶，出現外形的幾率和單晶的長度也有很大的因素，而且粘料無法粘接500mm以上單晶。培養一名粘料人員最少需要半年時間，假如有人員辭職而沒有頂崗人員會對生產造成一定的影響。綜上所述，人工粘接單晶硅棒效率低、精度低，且生產過程中受人為因素影響很大，不能保證高效穩定的持續生產。
【發明內容】
[0004]本發明要解決的技術問題是針對上述現有技術的不足，提供一種單晶硅棒機械粘接設備，提高了單晶硅棒粘接工序的加工效率和加工精度，同時降低對工人的要求，操作方便，保證后續開方工序的穩定生產。
[0005]為解決上述技術問題，本發明所采取的技術方案是:包括第一平板、第二平板、電磁吸盤、立柱、回轉臺、調整平臺、升降絲杠、底座，工作臺；工作臺的上表面設有調整平臺，調整平臺上面為回轉臺，回轉臺上面為底座，四根立柱和第一平板固定連接，四根立柱和第二平板滑動配合，第二平板的底面上設有電磁吸盤;升降絲杠能使第二平板升降下壓，升降絲杠和動力傳動機構連接。
[0006]作為優選，本發明還設有壓力傳感器、能沿立柱升降的位移傳感器和控制器，所述動力傳動機構為伺服電機傳動機構。
[0007]作為優選，所述回轉臺為蝸桿蝸輪結構。
[0008]作為優選，所述調整平臺為相互垂直的兩組直線導軌滑塊結構構成，導軌兩側標有刻度。
[0009]作為優選，回轉臺、調整平臺均設有電機傳動機構。
[0010]作為優選，回轉臺、調整平臺均為手動機構，并設有位移顯示器，位移顯示器上顯示位移傳感器測量到的單晶娃棒的尺寸偏移量。
[0011]作為優選，所述位移傳感器固定在連接板上，連接板通過安裝在立柱上的直線軸承與立柱相連，實現所述位移傳感器上下移動。
[0012]采用上述技術方案所產生的有益效果在于:本發明通過各種傳感器、傳動機構和調整平臺實現了準確地將單晶硅棒和晶托調整至相同位置后機械粘接，加工效率和加工精度都得到了極大的提升，同時降低了對工人的要求，操作方便，保證了后續開方工序的穩定生產。
【附圖說明】
[0013]圖1是本發明的一種實施例的結構示意圖。
[0014]圖中:1-第一平板，2-第二平板，3-電磁吸盤，4-晶托，5-單晶硅棒，6_立柱，7-回轉臺，8-調整平臺，9-工作臺，10-升降絲杠，11-連接板，12-直線軸承，13-位移傳感器，14-底座，15-位移顯示器。
【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖和【具體實施方式】對本發明作進一步詳細的說明。需說明的是，附圖采用非常簡化的形式且使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。
[0016]如圖1所示，為本發明一種單晶硅棒機械粘接設備的一個實施例，此設備包括第一平板1、第二平板2、電磁吸盤3、立柱6、回轉臺7、調整平臺8、升降絲杠10、底座14，工作臺9;工作臺9的上表面設有調整平臺8，調整平臺8上面為回轉臺7，回轉臺7上面為底座14，四根立柱6和第一平板I固定連接，四根立柱6和第二平板2滑動配合，第二平板2的底面上設有電磁吸盤3;升降絲杠10能使第二平板2升降下壓，升降絲杠10和動力傳動機構連接。
[0017]動力傳動機構為伺服電機傳動機構，通過伺服電機可直接控制升降絲杠10實現上下移動，升降絲杠10帶動第二平板2、第二平板2底面上的電磁吸盤3和電磁吸盤3吸附的晶托4實現上下移動，升降距離可達到600mm。
[0018]進一步地，本實施例還設有壓力傳感器、能沿立柱6升降的位移傳感器13和控制器。位移傳感器13固定在連接板11上，連接板11通過安裝在立柱6上的直線軸承12與立柱6相連，實現位移傳感器13上下移動。
[0019]進一步地，回轉臺7為蝸桿蝸輪結構。
[0020]進一步地，調整平臺8為相互垂直的兩組直線導軌滑塊結構構成，導軌兩側標有刻度，通過調整平臺8來調整底座14的位置，以此實現單晶硅棒5的中心軸線與晶托4的中心軸線處于同一直線上。
[0021]進一步地，回轉臺7、調整平臺8均設有電機傳動機構，實現位移準確移動。
[0022]進一步地，回轉臺7、調整平臺8還可以設為手動機構，減少電機部件，結構簡單。設有位移顯示器15，位移顯示器15上顯示位移傳感器13測量到的單晶硅棒5的尺寸偏移量。
[0023]采用上述技術方案后，本發明通過各種傳感器、傳動機構和調整平臺實現了準確地將單晶硅棒和晶托調整至相同位置后機械粘接，加工效率和加工精度都得到了極大的提升，同時降低了對工人的要求，操作方便，保證了后續開方工序的穩定生產。
【主權項】
1.一種單晶硅棒機械粘接設備，其特征在于:包括第一平板(I)、第二平板(2)、電磁吸盤(3)、立柱(6)、回轉臺(7)、調整平臺(8)、升降絲杠(10)、底座(14)，工作臺(9);工作臺(9)的上表面設有調整平臺(8)，調整平臺(8)上面為回轉臺(7)，回轉臺(7)上面為底座(14)，四根立柱(6)和第一平板(I)固定連接，四根立柱(6)和第二平板(2)滑動配合，第二平板(2)的底面上設有電磁吸盤(3);升降絲杠(10)能使第二平板(2)升降下壓，升降絲杠(10)和動力傳動機構連接。2.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒機械粘接設備，其特征在于還設有壓力傳感器、能沿立柱(6)升降的位移傳感器(13)和控制器，所述動力傳動機構為伺服電機傳動機構。3.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒機械粘接設備，其特征在于所述回轉臺(7)為蝸桿蝸輪結構。4.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒機械粘接設備，其特征在于所述調整平臺(8)為相互垂直的兩組直線導軌滑塊結構構成，導軌兩側標有刻度。5.根據權利要求2所述的一種單晶硅棒機械粘接設備，其特征在于回轉臺(7)、調整平臺(8 )均設有電機傳動機構。6.根據權利要求2所述的一種單晶硅棒機械粘接設備，其特征在于回轉臺(7)、調整平臺(8)均為手動機構，并設有位移顯示器(15)。7.根據權利要求2所述的一種單晶硅棒機械粘接設備，其特征在于所述位移傳感器(13)固定在連接板(11)上，連接板(11)由安裝在立柱(6)上的直線軸承(12)固定于立柱(6)上。
【專利摘要】本發明公開了一種單晶硅棒機械粘接設備，涉及單晶硅棒加工技術領域，包括第一平板、第二平板、電磁吸盤、立柱、回轉臺、調整平臺、升降絲杠、底座和工作臺，晶托吸附在電磁吸盤下面，通過回轉臺和調整平臺將單晶硅棒和晶托對齊，升降絲杠帶動第二平板、電磁吸盤和晶托升降下壓。本發明通過傳感器、傳動機構和調整平臺實現了準確地將單晶硅棒和晶托調整至相同位置后機械粘接，加工效率和加工精度都得到了極大的提升，同時降低了對工人的要求，操作方便，保證了后續開方工序的穩定生產。
【IPC分類】C30B33/06, B28D7/04
【公開號】CN105643822
【申請號】
【發明人】王會敏, 何京輝, 張瑞強, 張建龍
【申請人】邢臺晶龍電子材料有限公司
【公開日】2016年6月8日
【申請日】2016年3月17日