石英管同軸傳動臥式清洗機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及石英管清洗裝置領域，特別涉及一種石英管同軸傳動臥式清洗機。
【背景技術】
[0002]在半導體硅片生產工藝中，石英管需要定期進行清洗，以保證其潔凈度。目前的清洗方法是將石英管放置在耐酸堿槽中，手動加入清洗化學劑，然后手動那刷子清洗，最后手拿水槍噴淋清洗。但是這種做法清洗效率低下，也容易對工作人員的安全和健康造成傷害。
[0003]為此，目前有中國專利授權公告號0吧015727611](授權公告日2010.9.8)公開了一種太陽能電池石英管清洗機，但是該太陽能電池石英管清洗機不能實現清洗液方便回收，且清洗效果也不完全理想。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的目的在于針對現有技術的上述不足和缺陷，提供一種石英管同軸傳動臥式清洗機，以解決上述問題。
[0005]本實用新型所解決的技術問題可以采用以下技術方案來實現:
[0006]石英管同軸傳動臥式清洗機，其特征在于，包括底架和至少兩水平并排設置在所述底架內的清洗單元，每一清洗單元包括:
[0007]清洗槽，所述清洗槽內壁周向設置有若干側部噴淋管，所述清洗槽的面向石英管開口的第一端部內壁設置有延伸入石英管內壁的端部噴淋管，所述清洗槽的底部設置有廢液回收孔，該廢液回收孔與一廢液回收裝置連接。
[0008]設置在清洗槽底部且沿清洗槽長度方向平行間隔設置的一對轉動軸，所述轉動軸沿長度方向間隔設置有若干帶動石英管轉動的阻尼圈，所述轉動軸的端部設置有第一傳動齒輪；
[0009]設置在與所述清洗槽的第一端部相對的第二端部外側的傳動機構，所述傳動機構的傳動輸出端延伸入所述清洗槽內且與所述第一傳動齒輪傳動連接。
[0010]在本實用新型的一個優選實施例中，所述傳動機構為旋轉電機，所述旋轉電機的傳動輸出端設置有第二傳動齒輪，所述第二傳動齒輪通過一大齒輪與所述第一傳動齒輪傳動嚙合，所述大齒輪的外徑大于所述第一、第二傳動齒輪。
[0011]在本實用新型的一個優選實施例中，所述若干側部噴淋管分別設置在所述清洗槽兩側壁的頂部。
[0012]在本實用新型的一個優選實施例中，所述清洗槽的頂部設置有烘干燈。
[0013]由于采用了如上的技術方案，本實用新型通過至少兩清洗單元同步進行清洗，提高清洗效率，除去人工清洗，保證員工的安全，另外，本實用新型還能將廢液回收利用，符合環保要求。
【附圖說明】
[0014]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0015]圖1是本實用新型一種實施例的俯視圖。
[0016]圖2是圖1的左視圖。
[0017]圖3是圖1的仰視圖。
【具體實施方式】
[0018]為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面進一步闡述本實用新型。
[0019]參見圖1至圖3所示的石英管同軸傳動臥式清洗機，包括底架1000和至少兩水平并排設置在底架1000內的清洗單元100，本實施例中的清洗單元100為兩組，當然也可以根據具體使用需要而使用多組清洗單元100水平并排設置。
[0020]每一清洗單元100包括清洗槽110，清洗槽110內壁設置有若干側部噴淋管120，為了提高噴淋清洗效果，本實施例中的側部噴淋管120分別設置在清洗槽110兩側壁的頂部。清洗槽110的面向石英管I開口的第一端部111內壁設置有延伸入石英管I內壁的端部噴淋管(圖中未示出)，清洗槽110的底部設置有廢液回收孔130，該廢液回收孔130與一廢液回收裝置131連接，對廢液進行回收，方便廢液循環使用，符合環保要求。
[0021]在清洗槽110底部設置有一對轉動軸140，一對轉動軸140沿清洗槽110長度方向平行間隔，轉動軸140沿長度方向間隔設置有若干帶動石英管I轉動的阻尼圈141，轉動軸140的端部設置有第一傳動齒輪142。
[0022]在與清洗槽110的第一端部111相對的第二端部112外側設置有傳動機構150，本實施例中的傳動機構150為旋轉電機，旋轉電機通過安裝架151安裝在底架1000外側，旋轉電機的旋轉軸152延伸入清洗槽110內，旋轉軸152的端部設置有第二傳動齒輪153。為了方便控制石英管I的旋轉速度，防止石英管I轉動過快，第二傳動齒輪153通過一大齒輪154與第一傳動齒輪142傳動嗤合，大齒輪154的外徑大于第一、第二傳動齒輪142、153。
[0023]為了提高本實用新型的實用性，還可在清洗槽110的頂部設置有烘干燈(圖中未示出)。
[0024]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【主權項】
1.石英管同軸傳動臥式清洗機，其特征在于，包括底架和至少兩水平并排設置在所述底架內的清洗單元，每一清洗單元包括: 清洗槽，所述清洗槽內壁周向設置有若干側部噴淋管，所述清洗槽的面向石英管開口的第一端部內壁設置有延伸入石英管內壁的端部噴淋管，所述清洗槽的底部設置有廢液回收孔，該廢液回收孔與一廢液回收裝置連接； 設置在清洗槽底部且沿清洗槽長度方向平行間隔設置的一對轉動軸，所述轉動軸沿長度方向間隔設置有若干帶動石英管轉動的阻尼圈，所述轉動軸的端部設置有第一傳動齒輪； 設置在與所述清洗槽的第一端部相對的第二端部外側的傳動機構，所述傳動機構的傳動輸出端延伸入所述清洗槽內且與所述第一傳動齒輪傳動連接。2.如權利要求1所述的石英管同軸傳動臥式清洗機，其特征在于，所述傳動機構為旋轉電機，所述旋轉電機的傳動輸出端設置有第二傳動齒輪，所述第二傳動齒輪通過一大齒輪與所述第一傳動齒輪傳動嚙合，所述大齒輪的外徑大于所述第一、第二傳動齒輪。3.如權利要求1所述的石英管同軸傳動臥式清洗機，其特征在于，所述若干側部噴淋管分別設置在所述清洗槽兩側壁的頂部。4.如權利要求1所述的石英管同軸傳動臥式清洗機，其特征在于，所述清洗槽的頂部設置有烘干燈。
【專利摘要】本實用新型公開了一種石英管同軸傳動臥式清洗機，包括底架和至少兩水平并排設置在底架內的清洗單元，每一清洗單元包括：清洗槽，清洗槽內壁周向設置有若干側部噴淋管，清洗槽的面向石英管開口的第一端部內壁設置有延伸入石英管內壁的端部噴淋管，清洗槽的底部設置有廢液回收孔，該廢液回收孔與一廢液回收裝置連接；設置在清洗槽底部且沿清洗槽長度方向平行間隔設置的一對轉動軸，轉動軸沿長度方向間隔設置有若干帶動石英管轉動的阻尼圈，轉動軸的端部設置有第一傳動齒輪；設置在與清洗槽的第一端部相對的第二端部外側的傳動機構，傳動機構的傳動輸出端延伸入清洗槽內且與第一傳動齒輪傳動連接。本實用新型提高清洗效率，保證員工的安全。
【IPC分類】B08B13/00, B08B9/032
【公開號】CN205289141
【申請號】
【發明人】李 杰
【申請人】上海提牛機電設備有限公司
【公開日】2016年6月8日
【申請日】2015年12月21日