一種硅片清洗機的制作方法
【技術領域】
[0001 ]本實用新型屬于硅片切割技術領域，特別是涉及一種硅片清洗機。
【背景技術】
[0002]硅片是一種硅材料通過加工切成一片一片而形成的。從硅材料到可使用的硅片要經過切割、清洗等多道工序。清洗作為硅片的一個生產工序之一，其清洗的好壞對硅片的使用性能有著很大的影響。清洗的主要目的是為了清洗掉切割過程中的產生的砂粒、殘留的切削磨料、金屬離子及指紋等，使硅片表面達到無腐蝕氧化、無殘留等技術指標。現有硅片清洗常采用一種封閉的硅片清洗機，清洗硅片時要將硅片放在花籃中再進清洗機清洗，清洗后檢測工段人員將硅片從花籃里面倒出，再將花籃以及花架用人工返還給清洗工段。
【發明內容】
[0003]本實用新型目的在于針對現有技術的缺陷提供一種能夠自動回送花籃和花架的娃片清洗機。
[0004]本實用新型為實現上述目的，采用如下技術方案:
[0005 ] —種娃片清洗機，包括上料臺、下料臺、位于上料臺和下料臺之間的多個清洗槽，其特征在于:位于所述上料臺和下料臺之間上方設置有花籃傳輸裝置。
[0006]其進一步特征在于:所述花籃傳輸裝置傳送方向為下料臺至上料臺方向。
[0007]優選的:所述花籃傳輸裝置為鏈條驅動的傳送皮帶。
[0008]所述下料臺上設置有傳送皮帶。
[0009]所述花籃傳輸裝置離地高度為140-150cmo
[0010]本實用新型在現有的硅片清洗機的基礎上進行改造，在硅片清洗機的上方設置花籃傳輸裝置，將花籃從下料臺自動傳輸至上料臺方向，實現自動回籃，提升生產效率，節約人力成本。同時，花籃傳輸裝置的設置也不會影響到硅片清洗機的原有清洗功能。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型示意圖。
【具體實施方式】
[0012]現有的硅片清洗機，包括上料臺1、下料臺2、位于上料臺I和下料臺2之間的多個清洗槽3，所述下料臺2上設置有傳送皮帶。
[0013]如圖1所示，對現有的硅片清洗機進行改造，在位于所述上料臺I和下料臺2之間上方，離地高度為140-150cm設置花籃傳輸裝置4。所述花籃傳輸裝置4傳送方向為下料臺至上料臺方向，將花籃5從下料臺2傳送至上料臺I。所述花籃傳輸裝置4為鏈條驅動的傳送皮帶。
[0014]本實用新型通過設置在硅片清洗機上部的花籃傳輸裝置將花籃從下料臺自動傳輸至上料臺方向，實現自動回籃，提升生產效率，節約人力成本。同時，花籃傳輸裝置的設置也不會影響到娃片清洗機的原有清洗功能。
【主權項】
1.一種娃片清洗機，包括上料臺、下料臺、位于上料臺和下料臺之間的多個清洗槽，其特征在于:位于所述上料臺和下料臺之間上方設置有花籃傳輸裝置； 所述花籃傳輸裝置傳送方向為下料臺至上料臺方向。2.根據權利要求1所述的硅片清洗機，其特征在于:所述花籃傳輸裝置為鏈條驅動的傳送皮帶。3.根據權利要求1所述的硅片清洗機，其特征在于:所述下料臺上設置有傳送皮帶。4.根據權利要求1所述的硅片清洗機，其特征在于:所述花籃傳輸裝置離地高度為140-150cmo
【專利摘要】本實用新型公布了一種硅片清洗機，包括上料臺、下料臺、位于上料臺和下料臺之間的多個清洗槽，其特征在于：位于所述上料臺和下料臺之間上方設置有花籃傳輸裝置。所述花籃傳輸裝置傳送方向為下料臺至上料臺方向。所述花籃傳輸裝置為鏈條驅動的傳送皮帶。本實用新型在現有的硅片清洗機的基礎上進行改造，在硅片清洗機的上方設置花籃傳輸裝置，將花籃從下料臺自動傳輸至上料臺方向，實現自動回籃，提升生產效率，節約人力成本。同時，花籃傳輸裝置的設置也不會影響到硅片清洗機的原有清洗功能。
【IPC分類】B08B11/00
【公開號】CN205289176
【申請號】
【發明人】劉鋒, 劉愛軍, 蔣月華, 陳新軍, 鄧加云
【申請人】無錫隆基硅材料有限公司
【公開日】2016年6月8日
【申請日】2015年10月30日