Mo源合成裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及有機化合物加工技術領域，特別涉及一種MO源合成裝置。
【背景技術】
[0002]“MO源”即高純金屬有機化合物或化合物半導體微結構材料，是先進的金屬有機化學氣相沉積(簡稱MOCVD)、金屬有機分子束外延(簡稱MOMBE)等技術生長半導體微結構材料的支撐材料，其優異的電學、光學和磁學等性能，可將半導體和集成電路推向更高的頻率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。其中:主要MO源品種有三甲基鎵(CH3)3Ga TMGa、三乙基鎵(C2H5)3Ga TEGa、三甲基銦(CH3)3In TMIn等。
[0003]對于三甲基鎵源合成時，傳統使用液體鹵代烷生產MO源，為了降低MO源的生產成本，企業使用氣體鹵代烷代替液體鹵代烷進行MO源生產，雖然氣體鹵代烷相對于液體鹵代烷價格便宜，但是直接將液化齒代烷單純氣化輸送至反應釜，齒代烷濃度較高，且反應釜氣壓不穩定，導致MO源合成裝置反應難以控制，使得MO源合成過程的安全性較低。
[0004]因此，如何提高MO源合成過程的安全性，是本領域技術人員亟待解決的技術問題。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型的目的是提供一種MO源合成裝置，以提高MO源合成過程的安全性。
[0006]為實現上述目的，本實用新型提供一種MO源合成裝置，包括反應釜、液化鹵代烷儲存裝置、惰性氣體氣源、水分處理裝置、氣體緩沖裝置和尾氣處理裝置，所述液化齒代烷儲存裝置與水分處理裝置通過第一管路連通，所述惰性氣體氣源與所述第一管路連通，所述水分處理裝置與所述氣體緩沖裝置通過第二管路連通，所述氣體緩沖裝置與所述反應釜通過第三管路連通，所述尾氣處理裝置與所述反應釜的排氣端連通。
[0007]優選地，所述水分處理裝置包括分子篩。
[0008]優選地，所述水分處理裝置還包括用于加熱所述分子篩的分子篩加熱裝置。
[0009]優選地，還包括設置在所述第三管路上的氣體流量計。
[0010]優選地，還包括連通在所述反應釜與所述尾氣處理裝置之間的冷凝器。
[0011]優選地，所述冷凝器與所述第一管路連通。
[0012]優選地，還包括連通在所述冷凝器與所述尾氣處理裝置之間的尾氣收集裝置，所述尾氣收集裝置設有液化齒代烷加熱裝置，所述尾氣收集裝置通過第四管路與所述反應釜連通。
[0013]在上述技術方案中，本實用新型提供的MO源合成裝置包括反應釜、液化鹵代烷儲存裝置、惰性氣體氣源、水分處理裝置、氣體緩沖裝置和尾氣處理裝置，其中，液化齒代烷儲存裝置與水分處理裝置通過第一管路連通，惰性氣體氣源與第一管路連通，水分處理裝置與氣體緩沖裝置通過第二管路連通，氣體緩沖裝置與反應釜通過第三管路連通，尾氣處理裝置與反應釜的排氣端連通。當需要進行MO源合成時，液化鹵代烷輸出氣化，與惰性氣體混合，通過水分處理裝置除去水分，進過氣體緩沖裝置，保證氣化齒代烷輸入平穩，在反應釜內發生反應后，反應后剩余氣體經尾氣處理裝置凈化處理。
[0014]通過上述描述可知，在本實用新型提供的MO源合成裝置中，通過設置惰性氣體，便于安全運輸氣態齒代烷，同時通過水分處理裝置，避免水分影響反應，通過氣體緩沖裝置將氣態鹵代烷按預設量穩定向反應釜輸送，保證反應釜內氣壓穩定，因此，本申請提供的MO源合成裝置能夠提高MO源合成過程的安全性。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實用新型實施例所提供的MO源合成裝置的結構示意圖。
[0016]其中圖1中:1-水分處理裝置、2-氣體緩沖裝置、3-反應釜、4-尾氣收集裝置、5-尾氣處理裝置、6-冷凝器、7-氣體流量計、8-惰性氣體氣源、9-液化鹵代烷儲存裝置。
【具體實施方式】
[0017]本實用新型的核心是提供一種MO源合成裝置，以提高MO源合成過程的安全性。
[0018]為了使本領域的技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖和實施方式對本實用新型作進一步的詳細說明。
[0019]請參考圖1，在一種【具體實施方式】中，本實用新型提供的MO源合成裝置包括反應釜
3、液化齒代烷儲存裝置9、惰性氣體氣源8、水分處理裝置1、氣體緩沖裝置2和尾氣處理裝置5，其中，液化鹵代烷儲存裝置9與水分處理裝置I通過第一管路連通，惰性氣體氣源8與第一管路連通，水分處理裝置I與氣體緩沖裝置2通過第二管路連通，其中水分處理裝置I可以為傳統性性能穩定干燥劑。氣體緩沖裝置2與反應釜3通過第三管路連通，尾氣處理裝置5與反應釜3的排氣端連通，尾氣處理裝置5將尾氣中的鹵代烷處理，減少對環境污染。
[0020]當需要進行MO源合成時，液化鹵代烷輸出氣化，與惰性氣體混合，通過水分處理裝置I除去水分，進過氣體緩沖裝置2，保證氣化鹵代烷輸入平穩，在反應釜3內發生反應后，反應后剩余氣體經尾氣處理裝置5凈化處理。
[0021]通過上述描述可知，在本實用新型具體實施例所提供的MO源合成裝置中，通過設置惰性氣體，便于安全運輸氣態齒代烷，同時通過水分處理裝置I，避免水分影響反應，通過氣體緩沖裝置2將氣態齒代烷按預設量穩定向反應釜3輸送，使得反應釜3內氣壓穩定，因此，本申請提供的MO源合成裝置能夠提高MO源合成過程的安全性。
[0022]為了提高水分處理裝置I的吸附性能，優選，水分處理裝置I包括分子篩。為了延長分子篩的使用壽命，優選，該水分處理裝置I還包括用于加熱分子篩的分子篩加熱裝置。通過將分子篩加熱，可以使分子篩吸附上水分子連續地失去，而分子篩晶體骨架結構不變，便于重復使用。
[0023]進一步，該MO源合成裝置還包括設置在第三管路上的氣體流量計7。通過設置氣體流量計7，便于工作人員及時得知進入反應釜3內氣體的流量，進一步提高了 MO源合成過程的安全性。
[0024]更進一步，該MO源合成裝置還包括連通在反應釜3與尾氣處理裝置5之間的冷凝器
6。通過設置冷凝器6，便于將未反應的氣體鹵代烷液化成液態儲存，便于再次使用，降低的MO源合成的成本。
[0025]優選的，冷凝器6與第一管路連通。由于冷凝器6與第一管路連通，冷凝后的鹵代烷可以再次參加反應，避免單獨儲存的情況，優化了 MO源合成裝置的整體結構。
[0026]進一步，該MO源合成裝置還包括連通在冷凝器6與尾氣處理裝置5之間的尾氣收集裝置4，具體的，該尾氣收集裝置4可以為夾套式收集裝置，其中尾氣收集裝置4可以貫穿由冷卻液輸送管，便于對未反應的氣態齒代烷進一步液化收集，尾氣收集裝置4設有液化鹵代烷加熱裝置，尾氣收集裝置4通過第四管路與反應釜3連接，尾氣收集裝置4可以為兩個，在工作時，可以一備一用。液化鹵代烷加熱裝置將液化的鹵代烷氣化，通過第四管路輸送至反應釜3進行反應，避免原料浪費。
[0027]本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。
[0028]對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
【主權項】
1.一種MO源合成裝置，其特征在于，包括反應釜(3)、液化鹵代烷儲存裝置(9)、惰性氣體氣源(8)、水分處理裝置(1)、氣體緩沖裝置(2)和尾氣處理裝置(5)，所述液化鹵代烷儲存裝置(9)與水分處理裝置(I)通過第一管路連通，所述惰性氣體氣源(8)與所述第一管路連通，所述水分處理裝置(I)與所述氣體緩沖裝置(2)通過第二管路連通，所述氣體緩沖裝置(2)與所述反應釜(3)通過第三管路連通，所述尾氣處理裝置(5)與所述反應釜(3)的排氣端連通。2.根據權利要求1所述的MO源合成裝置，其特征在于，所述水分處理裝置(I)包括分子篩。3.根據權利要求2所述的MO源合成裝置，其特征在于，所述水分處理裝置(I)還包括用于加熱所述分子篩的分子篩加熱裝置。4.根據權利要求1所述的MO源合成裝置，其特征在于，還包括設置在所述第三管路上的氣體流量計(7)。5.根據權利要求4所述的MO源合成裝置，其特征在于，還包括連通在所述反應釜(3)與所述尾氣處理裝置(5)之間的冷凝器(6)。6.根據權利要求5所述的MO源合成裝置，其特征在于，所述冷凝器(6)與所述第一管路連通。7.根據權利要求5所述的MO源合成裝置，其特征在于，還包括連通在所述冷凝器(6)與所述尾氣處理裝置(5)之間的尾氣收集裝置(4)，所述尾氣收集裝置(4)設有液化鹵代烷加熱裝置，所述尾氣收集裝置(4)通過第四管路與所述反應釜(3)連通。
【專利摘要】本實用新型公開了一種MO源合成裝置，包括反應釜、液化鹵代烷儲存裝置、惰性氣體氣源、水分處理裝置、氣體緩沖裝置和尾氣處理裝置，其中，液化鹵代烷儲存裝置與水分處理裝置通過第一管路連通，惰性氣體氣源與第一管路連通，水分處理裝置與氣體緩沖裝置通過第二管路連通，氣體緩沖裝置與反應釜通過第三管路連通，尾氣處理裝置與反應釜的排氣端連通。通過設置惰性氣體，便于安全運輸氣態鹵代烷，同時通過水分處理裝置，避免水分影響反應，通過氣體緩沖裝置將氣態鹵代烷按預設量，穩定向反應釜輸送，保證反應釜內氣壓穩定，本申請提供的MO源合成裝置能夠提高MO源合成過程的安全性。
【IPC分類】C07F5/00
【公開號】CN205295198
【申請號】
【發明人】肖輝, 朱劉, 于金鳳, 劉留
【申請人】清遠先導材料有限公司
【公開日】2016年6月8日
【申請日】2015年12月15日