技術編號：8957521
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 納米TiO2半導體薄膜具有其它材料無法比擬的光電轉換、電荷傳輸等半導體特 性，已廣泛應用于太陽能電池、傳感器、光催化等領域。二氧化鈦（TiO2)有板鈦礦、金紅石 和銳鈦礦三種晶型，其中金紅石TiO2最穩定，銳鈦礦和板鈦礦在高溫燒結過程中均可轉變 為金紅石相，金紅石相TiO2具有較大的介電常數和較小的損耗，是制作微電機消噪用壓敏 電阻器的理想材料。目前，二氧化鈦納米薄膜的制備方法主要包括磁控濺射法、電子束蒸發、化學氣 相淀積法、金屬有機化學氣相淀積法（MO...
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