專利名稱：晶圓清洗設備的滾輪裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種晶圓清洗設備，特別涉及一種晶圓清洗設備的滾輪裝置。
背景技術：
參閱圖1與圖2，一種以往晶圓清洗設備的滾輪裝置1，包括一個長向延伸且可被 帶動而旋轉的軸桿11、多個彼此間隔地安裝在該軸桿11外圍的滾輪單元12及多支分別將 滾輪單元12固定在軸桿11上的插銷13。每一滾輪單元12包括一個套置在該軸桿11外圍 的輪體121及二個分別嵌置在輪體121外圍的0型環122。每一支插銷13都緊配合地穿 插伸入輪體121與軸桿ll，借以將輪體121與軸桿11固定在一起。使用時，將上述滾輪裝 置架設在容裝有清洗液的晶圓清洗設備中，讓多片晶圓(圖未示)由滾輪單元12上輸送通 過，同時能一并清洗所述晶圓。 為了避免上述滾輪裝置與清洗液發生化學變化，所以軸桿11及輪體121都采用塑 膠材料制成，但是由于該軸桿11的長度較長，所以其剛性較差，使用時，軸桿11除了需要承 受滾輪單元12的重量以外，還須承受晶圓的重量，所以容易發生中央逐漸往下彎撓的變形 情況，無法平穩地輸送晶圓，因而造成輸送制程時的準確性及精密度不佳。上述固定用的插 銷13為一支細長圓桿，緊配合地插入輪體121及軸桿ll，于插伸時容易發生斷裂或阻塞卡 死的情況，組裝上相當麻煩不便。因此上述滾輪裝置1的設計仍有待改善。
實用新型內容本實用新型的目的是提供一種強度佳且不易彎撓變形，而能提升準確性及精密度 的晶圓清洗設備的滾輪裝置。 本實用新型所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，安裝在一晶圓清洗設備中，并包括 一轉軸單元及多個彼此間隔地安裝在該轉軸單元外圍的滾輪單元。該轉軸單元包括一呈長 桿狀的芯棒及一包覆結合在該芯棒外圍的軸套。每一滾輪單元包括一套置在該軸套外圍的 輪體。 本實用新型所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，該滾輪裝置還包括多個分別將所述 滾輪單元固定在該轉軸單元上的鎖接單元。 本實用新型所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，每一個鎖接單元包括至少一支將該 輪體與該軸套螺接固定在一起的鎖接件。 本實用新型所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，該轉軸單元的軸套具有多個對應于 該輪體且彼此間隔設置的螺接部，每一螺接部具有二個相對設置的螺孔，每一滾輪單元的 輪體具有二個分別連通所述螺孔的穿孔，每一鎖接單元包括二支分別將該輪體與該軸套鎖 接在一起的鎖接件，每一鎖接件都是一支螺入所述穿孔與分別對應所述穿孔的螺孔內的螺 絲。 本實用新型所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，該轉軸單元的軸套具有二個相對位 于該芯棒的兩相反端的端壁及一個軸向套置在該芯棒周圍且連接所述端壁的管壁。[0010] 本實用新型所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，該轉軸單元的軸套具有二個相對位
于該芯棒的兩相反端的端壁及多個彼此相鄰串接地軸向套置在該芯棒周圍且連接所述端壁的管壁。 本實用新型所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，該轉軸單元的軸套具有二個相對位
于該芯棒的兩相反端的端壁及二個分別由所述端壁的周緣同體往另一端壁軸向延伸且軸向套置在該芯棒周圍的圍繞壁，所述圍繞壁彼此相鄰連接。 本實用新型所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，該轉軸單元的軸套具有二個相對位于該芯棒的兩相反端的端壁、二個分別由所述端壁的周緣同體往另一端壁軸向延伸且軸向套置在該芯棒周圍的圍繞壁及至少一個連接所述圍繞壁且軸向套置在該芯棒周圍的管壁。[0013] 本實用新型所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，每一個滾輪單元的輪體具有二個左右間隔且分別形成在該輪體的外周面上的環槽，每一個滾輪單元還包括二個分別嵌置在該輪體的環槽內的0型環。 本實用新型的有益效果在于通過在上述軸套內埋藏一支芯棒，借其內外雙層設計，可強化轉軸單元的剛性及筆直度，避免發生彎撓的情況，所以能提升輸送制程的準確性及精密度。
圖圖圖
分解圖；圖圖
圖；圖
圖；圖圖。
-第一較佳實施例的一部分立體
-第二較佳實施例的一剖視示意-第三較佳實施例的一剖視示意-第四較佳實施例的一剖視示意
具體實施方式
以下結合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明。 為了方便說明，以下的實施例，相同的元件以相同的標號表示。 參閱圖3與圖4，本實用新型滾輪裝置的第一較佳實施例，安裝在一個晶圓清洗設
備中，并包括一個可被帶動而繞著自身軸線旋轉的轉軸單元2、多個彼此間隔地安裝在該
轉軸單元2外圍的滾輪單元3及多個分別將滾輪單元3固定在轉軸單元2上的鎖接單元4。 該轉軸單元2包括一支呈長桿狀且由非金屬材料制成的芯棒21及一個包覆結合
在芯棒21外圍且由塑膠材料制成的軸套22。本實施例的芯棒21為石墨或碳纖維材料制成，
當然也可以選用其他堅硬的非金屬材料，不以本實施例為限。該軸套22具有二個相對位于
芯棒21的兩相反端的端壁221、一個軸向套置在該芯棒21周圍且連接所述端壁221的管壁222及多個對應于滾輪單元3且彼此間隔設置的螺接部223。本實施例的端壁221與管壁222間為熔接接合，當然也可以利用焊接接合、相對螺接接合、卡接接合或緊配接合，其接合方式不限于本實施例。而每一螺接部223具有二個相對位于同一直線上且分別由一外周面徑向往內凹陷的螺孔224，當然所述螺孔224也可以分別由外周面徑向往內直接連通至一內周面，而且螺孔224的數量也不受限于本實施例。本實施例的軸套22由聚氯乙烯一體制成，當然也可以選用聚四氟乙烯或聚偏二氟乙烯等塑膠材料，不以本實施例為限。[0026] 每一滾輪單元3包括一個套置在該軸套22外圍且對應于設有螺接部223處的輪體31及二個分別嵌置在輪體31外圍的0型環32。該輪體31具有二個左右間隔且分別形成在外周面上以供0型環32嵌置的環槽311及二個分別連通螺孔224的穿孔312。本實施例的輪體31由塑膠材料制成，0型環32由橡膠材料制成。 每一鎖接單元4包括二支分別將輪體31與軸套22鎖接在一起的鎖接件41，每一鎖接件41都是一支螺入穿孔312與螺孔224內的螺絲，而且本實施例的穿孔312為長槽孔，于使用時可提供輪體31相對移動裕度。鎖接件41的數量與螺孔224、穿孔312的數量相對應，當然設計上也可設置一組、三組或三組以上，所以其數量不以本實施例為限，此外，本實施例的鎖接件41由塑膠材料制成，當然也可以由其他材料制成。 使用時，將上述滾輪裝置架設在容裝有清洗液的晶圓清洗設備中，讓多片晶圓(圖未示)分別由滾輪單元3外凸的0型環32上被輸送通過，用以清洗所述晶圓。由于轉軸單元2在中央軸心處埋藏有軸向延伸的芯棒21，通過該芯棒21堅硬且呈長桿狀的設計，可增加轉軸單元2的強度及筆直度，避免發生中央往下彎撓變形的情況，所以能平穩地輸送晶圓，借以提升輸送制程的準確性及精密度。此外，鎖接單元4通過二支鎖接件41來螺鎖固定輪體31與軸套22，不但長度較短且其采用螺接的方式來結合，所以不會發生斷裂或阻塞的情況，組裝上較為簡單容易。 參閱圖5，本實用新型晶圓清洗設備的滾輪裝置的第二較佳實施例，本實施例的構造與第一實施例大致相同，該轉軸單元2的軸套22具有二個相對位于芯棒21的兩相反端的端壁221，不同的部分在于該轉軸單元2的軸套22具有二個彼此相鄰串接地軸向套置在該芯棒21周圍且連接所述端壁221的管壁222。也就是將第一實施例的管壁222分段設置，而后再連接在一起，所以可利于管壁222的制造，設計上也可以再增加管壁222的數量，當然管壁222間的結合可以采用各種可行的組接手段，在此不再舉例說明。[0030] 參閱圖6，本實用新型晶圓清洗設備的滾輪裝置的第三較佳實施例，本實施例的構造與第一實施例大致相同，該轉軸單元2的軸套22具有二個相對位于芯棒21的兩相反端的端壁221，不同的部分在于該轉軸單元2的軸套22具有二個分別由所述端壁221的周緣同體往另一端壁221軸向延伸的圍繞壁225，所述圍繞壁225彼此相鄰連接且軸向套置在該芯棒21周圍，同樣地端壁221與圍繞壁225間以及所述圍繞壁225間的結合，也可以采
用各種可行的組接手段，本實施例為另一種實施態樣，可供廠商選擇使用。[0031] 參閱圖7，本實用新型晶圓清洗設備的滾輪裝置的第四較佳實施例，本實施例的構造與第三實施例大致相同，該轉軸單元2的軸套22具有二個相對位于芯棒21的兩相反端的端壁221，二個分別由所述端壁221的周緣同體往另一端壁221軸向延伸的圍繞壁225，不同的部分在于該轉軸單元2的軸套22具有一個連接所述圍繞壁225的管壁222。所述圍繞壁225及管壁222軸向套置在該芯棒21周圍。在設計上管壁222的數量也可以增加，
5而且圍繞壁225的長度也可以縮短，以便于制造。 綜上所述，本實用新型滾輪裝置在上述軸套22內埋藏一支堅硬的芯棒21，以成為一支具有內外雙層的長桿設計，還通過芯棒21強化轉軸單元2的剛性及筆直度，以避免發生彎撓變形的情況，并能提升準確性及精密度，再加上鎖接單元4利用多支鎖接件41來螺接輪體31與軸套22，不但能縮短長度、降低斷裂的機會，組裝上也更為簡便，所以確實能達成本實用新型的目的。
權利要求一種晶圓清洗設備的滾輪裝置，包括一個轉軸單元及多個彼此間隔地安裝在該轉軸單元外圍的滾輪單元；其特征在于，該轉軸單元包括一支呈長桿狀的芯棒及一個包覆結合在該芯棒外圍的軸套，每一個滾輪單元包括一個套置在該軸套外圍的輪體。
2. 根據權利要求1所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，該滾輪裝置還包括多個分別將所述滾輪單元固定在該轉軸單元上的鎖接單元。
3. 根據權利要求2所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，每一個鎖接單元包括至少一支將該輪體與該軸套螺接固定在一起的鎖接件。
4. 根據權利要求3所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，該轉軸單元的軸套具有多個對應于該輪體且彼此間隔設置的螺接部，每一螺接部具有二個相對設置的螺孔，每一滾輪單元的輪體具有二個分別連通所述螺孔的穿孔，每一鎖接單元包括二支分別將該輪體與該軸套鎖接在一起的鎖接件，每一鎖接件都是一支螺入所述穿孔與分別對應所述穿孔的螺孔內的螺絲。
5. 根據權利要求1所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，該轉軸單元的軸套具有二個相對位于該芯棒的兩相反端的端壁及一個軸向套置在該芯棒周圍且連接所述端壁的管壁。
6. 根據權利要求1所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，該轉軸單元的軸套具有二個相對位于該芯棒的兩相反端的端壁及多個彼此相鄰串接地軸向套置在該芯棒周圍且連接所述端壁的管壁。
7. 根據權利要求1所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，該轉軸單元的軸套具有二個相對位于該芯棒的兩相反端的端壁及二個分別由所述端壁的周緣同體往另一端壁軸向延伸且軸向套置在該芯棒周圍的圍繞壁，所述圍繞壁彼此相鄰連接。
8. 根據權利要求1所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，該轉軸單元的軸套具有二個相對位于該芯棒的兩相反端的端壁、二個分別由所述端壁的周緣同體往另一端壁軸向延伸且軸向套置在該芯棒周圍的圍繞壁及至少一個連接所述圍繞壁且軸向套置在該芯棒周圍的管壁。
9. 根據權利要求1所述的晶圓清洗設備的滾輪裝置，其特征在于，每一個滾輪單元的輪體具有二個左右間隔且分別形成在該輪體的外周面上的環槽，每一個滾輪單元還包括二個分別嵌置在該輪體的環槽內的0型環。
專利摘要本實用新型提供一種晶圓清洗設備的滾輪裝置，包括一個轉軸單元及多個彼此間隔地安裝在該轉軸單元外圍的滾輪單元。該轉軸單元包括一支呈長桿狀的芯棒及一個包覆結合在芯棒外圍的軸套。每一滾輪單元包括一個套置在該軸套外圍的輪體。通過在上述軸套內埋藏有芯棒，可強化轉軸單元的剛性及筆直度，避免發生彎撓的情況，所以能提升輸送制程的準確性及精密度。
文檔編號B08B13/00GK201482776SQ200920161218
公開日2010年5月26日 申請日期2009年7月3日 優先權日2009年7月3日
發明者林志菁 申請人:林志菁