清潔氣體送風單元的制作方法

專利名稱：清潔氣體送風單元的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種相對于將基板以在上下方向上隔開間隔地排列的狀態收納的長方體狀的基板收納器能夠裝卸地安裝的清潔氣體送風單元。
背景技術：
上述這種清潔氣體送風單元例如安裝在由保管裝置保管的基板收納器上，抑制塵埃附著在基板收納器中收納的基板上。S卩，基板收納器以收納了在液晶顯示器或等離子顯示器中使用的玻璃基板等基板的狀態收納在保管裝置的收納部中。并且在相對于收納在基板收納器中的基板進行蝕刻及 清洗等諸多處理時，由保管裝置所具備的運送裝置將基板收納器從收納部向基板運出運入部運送，相對于從基板收納器中取出的基板進行諸多處理。而且，將實施了處理后的基板再次收納在基板收納器中，由運送裝置將收納了基板的基板收納器從基板運入運出部向收納部運送。這樣，在由保管裝置保管著基板收納器的狀態下進行相對于收納在基板收納器中的基板的處理。此時，由于塵埃有可能附著在由基板收納器保持的基板上，所以在基板收納器上安裝清潔氣體送風單元。作為清潔氣體送風單元的以往例子，清潔氣體送風單元作為具備送入清潔氣體的風扇過濾器單元的板狀的框體構成，并相對于基板收納器能夠裝卸地安裝(例如參照專利文獻I)。在該專利文獻I中，基板收納器構成為橫躺姿勢的方筒狀。清潔氣體送風單元將基板收納器的處于開口狀態的一對側面中一方的側面作為清潔氣體送風面，并且將另一方的側面作為排氣用面，沿著水平方向從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體。該清潔氣體送風單元以位于成為清潔氣體送風面的側面的狀態安裝在基板收納器上。作為清潔氣體送風單元其它的以往例子，清潔氣體送風單元構成為將具備送入清潔氣體的風扇過濾器單元的板狀的送風部以直立姿勢設置在載置基板收納器的板狀的載置部的一端部的形態(例如參照專利文獻2)。在該專利文獻2中，基板收納器構成為橫躺姿勢的方筒狀。清潔氣體送風單元的送風部將基板收納器的處于開口狀態的一對側面中一方的側面作為清潔氣體送風面，并且將另一方的側面作為排氣用面，沿著水平方向從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體。也就是說，基板收納器以使成為清潔氣體送風面的側面與清潔氣體送風單元的送風部對向的狀態載置在清潔氣體送風單元的載置部上。專利文獻I日本國特開2010-89835號公報，
專利文獻2日本國特開2011-91270號公報。基板收納器每當經過適當期間等要進行清洗等適時清洗，此時，清潔氣體送風單元與基板收納器分離。
S卩，在對基板收納器進行清洗的情況下，一般是使用水溶液等清洗用的液體進行清洗。由于在清潔氣體送風單元上設有具備電裝零部件的風扇過濾器單元，所以為了抑制清潔氣體送風單元被清洗用的液體打濕，要使清潔氣體送風單元與基板收納器分離。這樣，基板收納器在分離了清潔氣體送風單元后的狀態下進行適時清洗。此時，上述專利文獻I以及專利文獻2所記載的基板收納器由于四個側面中除了與清潔氣體送風面和排氣用面相對應的側面之外的兩個側面成為被遮蔽的狀態，所以有可能難以適當進行基板收納器的清洗。也就是說，橫躺姿勢的方筒狀基板收納器由于四個側面中除了與清潔氣體送風面和排氣用面相對應的側面之外的兩個側面成為被遮蔽的狀態，所以能夠使來自清潔氣體送風單元的清潔氣體以抑制了向外部泄漏的狀態從清潔氣體送風面適當地朝向排氣用面流動。但是，在對基板收納器進行清洗之際，有可能因被遮蔽的 側面妨礙了清洗用的液體向基板收納器的內部流動等而難以適當地進行基板收納器的清洗。

發明內容
本發明是鑒于上述實際狀況而提出的，其目的在于提供一種清潔氣體送風單元，能夠使清潔氣體從清潔氣體送風面恰當地朝向排氣用面流動，并且能夠良好地進行基板收納器的清洗。本發明的清潔氣體送風單元相對于將基板以在上下方向上隔開間隔地排列的狀態收納的長方體狀的基板收納器能夠裝卸地安裝，其中，上述基板收納器是由保管裝置保管的收納器，該保管裝置具備收 納上述基板收納器的多個收納部，相對于上述基板收納器進行上述基板的取出和收納的基板運入運出部，以及在上述收納部與上述基板運入運出部之間運送上述基板收納器的運送裝置，上述清潔氣體送風單元具備風扇過濾器單元和一對遮蔽板，該風扇過濾器單元將上述基板收納器的四個側面中的一個側面作為清潔氣體送風面，并且將與該清潔氣體送風面對向的側面作為排氣用面，從上述清潔氣體送風面朝向上述排氣用面送入清潔氣體，該一對遮蔽板覆蓋上述基板收納器的四個側面中除了上述清潔氣體送風面以及上述排氣用面之外的兩個側面。S卩，裝備在清潔氣體送風單元上的風扇過濾器單元將基板收納器的四個側面中的一個側面作為清潔氣體送風面，并且將與該側面對向的側面作為排氣用面，從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體。并且由于裝備在清潔氣體送風單元上的一對遮蔽板覆蓋基板收納器的四個側面中除了清潔氣體送風面和排氣用面之外的兩個側面，所以即使基板收納器的四個側面中除了清潔氣體送風面和排氣用面之外的兩個側面形成為開口狀態，也能夠以抑制了清潔氣體向外部泄漏的狀態使清潔氣體從清潔氣體送風面恰當地朝向排氣用面流動。這樣，能夠使清潔氣體從清潔氣體送風面恰當地朝向排氣用面流動，并且能夠使基板收納器的四個側面中除了清潔氣體送風面和排氣用面之外的兩個側面為開口狀態。因此，在分離了清潔氣體送風單元的狀態(取下的狀態)下對基板收納器進行清洗之際，能夠良好地進行使清洗用的液體通過該成為開口狀態的側面恰當地向基板收納器的內部流動等基板收納器的清洗。總而言之，根據上述的結構，能夠提供一種能夠使清潔氣體從清潔氣體送風面恰當地朝向排氣用面流動，并且能夠良好地進行基板收納器的清洗的清潔氣體送風單元。在本發明的清潔氣體送風單元的實施方式中，優選上述風扇過濾器單元裝配在與上述清潔氣體送風面相對應處。S卩，由于裝配在與清潔氣體送風面相對應處的風扇過濾器單元從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體，所以能夠謀求結構的簡單化，恰當地送入清潔氣體。也就是說，在從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體之際，例如可考慮將風扇過濾器單元裝配在清潔氣體送風單元中與基板收納器的上表面相對應處等與清潔氣體送風面不同之處，設置將來自該風扇過濾器單元的清潔氣體向清潔氣體送風面引導的送風通道的結構。但是，在這種結構的情況下，由于設置送風通道，整體結構復雜化，并且來自風扇過濾器單元的清潔氣體在送風通道內流動之際有可能因失速等而難以恰當地送入清潔氣體。相對于此，在將風扇過濾器單元裝配在與清潔氣體送風面相對應處的情況下，由于風扇 過濾器單元相對于清潔氣體送風面直接送入清潔氣體，所以能夠謀求結構的簡單化，適當地送入清潔氣體。總而言之，根據上述的結構，能夠提供一種能夠謀求結構的簡單化，并且能夠恰當地送入清潔氣體的清潔氣體送風單元。在本發明的清潔氣體送風單元的實施方式中，優選還具備覆蓋上述排氣用面的排氣用板狀體，在上述排氣用板狀體上分散成平面狀地形成有多個排氣用的透氣孔。即，由于從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入的清潔氣體以通過形成在覆蓋排氣用面的排氣用板狀體上的透氣孔向外部排出的狀態流動，所以能夠謀求運行成本的降低。也就是說，在基板收納器的排氣用面為開口狀態時，為了抑制塵埃從該開口狀態的側面(排氣用面)向基板收納器的內部侵入，需要增加清潔氣體的風力。其結果，由于風扇過濾器單元的驅動能量的增加，運行成本增加。相對于此，若用形成有透氣孔的排氣用板狀體覆蓋基板收納器的排氣用面，則即使降低清潔氣體的風力，清潔氣體也從透氣孔噴出，能夠抑制塵埃從透氣孔向基板收納器的內部侵入。因此，由于清潔氣體的風力的降低，能夠謀求運行成本的降低。而且，由于透氣孔分散成平面狀地形成在排氣用板狀體上，所以能夠使清潔氣體遍及基板收納器的內部空間整體地流動。這樣一來,能夠使清潔氣體相對于收納在基板收納器中的多個基板的每一個沿著其整個面流動，能夠恰當地抑制塵埃相對于基板收納器的附著。總而言之，根據上述的結構，能夠提供一種能夠謀求運行成本的降低，并且能夠恰當抑制塵埃相對于基板的附著的清潔氣體送風單元。在本發明的清潔氣體送風單元的實施方式中，優選在與上述基板收納器的底面相對應處形成有用于插拔上述基板收納器的容器插拔用開口。S卩，由于清潔氣體送風單元在與基板收納器的底面相對應處具備用于插拔基板收納器的容器插拔用開口，所以在相對于基板收納器收納或者取出基板時，或對基板收納器進行清洗時，能夠將基板收納器以穿過容器插拔用開口插拔的形態而容易相對于清潔氣體送風單元裝卸。總而言之，根據上述的結構，能夠提供一種容易進行基板收納器的裝卸的清潔氣體送風單元。在本發明的清潔氣體送風單元的實施方式中，優選上述基板收納器構成為能夠從上述排氣用面插拔上述基板，在上述排氣用板狀體上與上述基板收納器中沿上下方向排列地收納的上述基板中最下段的基板對向的對向位置或者比該對向位置靠下方一側的位置形成有使上述基板穿過的穿入孔。即，在基板運入運出部，相對于基板收納器取出或收納基板時，在將清潔氣體送風單元保持在上下方向的一定位置的狀態下，一邊穿過容器插拔用開口插拔基板收納器一邊使其在上下方向上移動。并且能夠以在使插拔對象的基板的位置與形成在排氣用板狀體上的穿入孔位置相配合的狀態下，一邊使該基板穿過穿入孔沿著基板插拔方向(例如水平方向)移動一邊相對于基板收納器插拔的形態進行。若加以說明，則在基板運入運出部設置將清潔氣體送風單元保持在上下方向的一定位置的保持部件，使基板收納器在上下方向上移動的升降裝置，以及使基板相對于基板收納器插拔地沿著基板插拔方向移動的基板移動裝置。并且在從基板收納器中取出基板的情況下，由于一般是從沿上下方向排列的基板的下方一側依次取出，所以首先使沿上下方向排列的基板中最下段的基板的位置成為與形成在排氣用板狀體上的穿入孔對向的位置。另外，在穿入孔形成在與沿上下方向排列地收納的基板中最下段的基板對向的對向位置的情況下，由于最下段的基板位于與穿入孔對向的位置，所以無需使基板收納器相對于保持在上下方向的一定位置的清潔氣體送風單元下降。另一方面，在穿入孔形成在比上述對向位置靠下方一側的位置的情況下，為了使最下段的基板位于與穿入孔對向的位置，使基板收納器相對于保持在上下方向的一定位置的清潔氣體送風單元下降。在沿上下方向排列的基板中最下段的基板位于與形成在排氣用板狀體上的穿入孔對向的位置的狀態下，使基板移動裝置動作，使基板穿過形成在排氣用板狀體上的穿入孔沿著基板插拔方向移動而從基板收納器中取出。在通過基板移動裝置的動作進行的基板取出結束后，通過升降裝置使基板收納器下降到在取出的基板的上方鄰接的基板的位置成為與形成在排氣用板狀體上的穿入孔對向的位置，之后使基板移動裝置動作，從基板收納器中取出基板。在最上段的基板的取出結束前，重復進行通過升降裝置使基板收納器下降，和通過基板移動裝置取出基板。在將基板向基板收納器中收納的情況下，由于一般是從沿上下方向排列的基板的最上段依次收納，所以使升降裝置動作到收納沿上下方向排列的基板中最上段的基板的位置成為與形成在排氣用板狀體上的穿入孔對向的位置。在收納沿上下方向排列的基板中最上段的基板的位置與形成在排氣用板狀體上的穿入孔對向的位置相一致的狀態下，使基板移動裝置動作，使基板穿過形成在排氣用板狀體上的穿入孔在基板插拔方向上移動而向基板收納器中收納。在通過基板移動裝置的動作進行的基板的收納結束后，通過升降裝置使基板收納器上升到在收納的基板的下方鄰接的基板的收納位置成為與形成在排氣用板狀體上的穿入孔對向的位置，之后使基板移動裝置動作，將基板向基板收納器中收納。在最下段的基板的收納結束前，重復進行通過升降裝置使基板收納器上升，和通過基板移動裝置收納基板。這樣，在將基板從基板收納器中取出時或將基板向基板收納器中收納時，由于能夠使基板穿過形成在排氣用板狀體上的穿入孔沿著基板插拔方向移動，所以由升降裝置使基板收納器升降的升降量減少，能夠謀求升降裝置的簡單化。也就是說，在裝備了排氣用板狀體但未形成穿入孔的情況下，需要使基板穿過排氣用板狀體的下方一側沿著基板插拔方向移動。在這種情況下，與使基板穿過形成在排氣用板狀體上的穿入孔沿著基板插拔方向移動的情況相比，將基板收納器向清潔氣體送風單元的下方一側抽出的量(下降量)增大，由升降裝置使基板收納器升降的升降量增加，升降裝置有可能復雜化。相對于此，在排氣用板狀體上形成穿入孔的情況下，由于能夠使基板穿過該穿入孔移動，所以由升降裝置使基板收納器升降的升降量減少，能夠謀求升降裝置的簡單化。總而言之，根據上述的結構，能夠提供一種在將基板從基板收納器中取出時或將基板向基板收納器中收納時，減少使基板收納器升降的升降量，謀求使基板收納器升降的升降裝置的簡單化的清潔氣體送風單元。


圖1是基板處理設備的側視 圖2是保管裝置的主要部分俯視 圖3是基板收納器與清潔氣體送風單元的立體 圖4是基板運入運出部的主視 圖5是表示基板運出狀態的剖切立體 圖6是表示基板收納器的下降狀態的剖切側視 圖7是表示基板運出狀態的剖切側視 圖8是表示基板運出狀態的剖切側視圖。 附圖標記說明1:基板，10 :遮蔽板，13 :排氣用板狀體，A :保管裝置，D :塔式起重機(運送裝置)，F :風扇過濾器單元，J :清潔氣體送風單元，K :基板收納器，Q :穿入孔，S :收納部，SA :基板運入運出部，T :透氣孔，U :容器插拔用開口。
具體實施例方式基于附圖對本發明的實施方式進行說明。另外，以下的說明中針對基板收納器K及清潔氣體送風單元J的各方向是安裝了清潔氣體送風單元J的基板收納器K收納在保管架14的收納部S中的狀態下的方向。如圖1所示，在下流式的潔凈室R內，保管長方體狀的基板收納器K (參照圖3)的保管裝置A以及基板處理裝置W并列設置，構成由基板處理裝置W對由基板收納器K保持的矩形的基板I (參照圖5)進行處理的基板處理設備。在基板收納器K上能夠取下地安裝有清潔氣體送風單元J(參照圖5)。S卩，清潔氣體送風單元J構成為能夠相對于基板收納器K自由裝卸(即、既能夠安裝又能夠取下)。基板收納器K以安裝了清潔氣體送風單元J的狀態由保管裝置A保管。在本實施方式中，基板I是矩形的玻璃基板，基板處理裝置W相對于基板I進行蝕刻及清洗等處理。
潔凈室R在地面部具備格柵2，在頂棚部具備HEPA過濾器3。格柵2下方的吸氣室4與HEPA過濾器3上方的腔室5由具備通風風扇6以及預過濾器7的循環通路8連接而連通，通過通風風扇8的通風動作，凈化后的空氣從頂棚部朝向地面部流動。在循環通路8上通風風扇6的空氣流動方向上游側處連接有外氣取入通路8A，在循環通路8上通風風扇6的空氣流動方向下游側處連接有排氣通路8B，循環的空氣的一部分與外氣置換。如圖3所示，基板收納器K構成為將矩形的基板I以在上下方向上隔開間隔地排列的狀態收納的長方體狀。在本說明書中“上下方向”并不僅限于豎直方向，也作為包含相對于豎直方向交叉的方向的概念使用。即，上下方向能夠成為相對于豎直方向傾斜的方向。在本實施方式中，上下方向在設計上與豎直方向相一致。具體地說，基板收納器K具備上框體9a，下框體9b，連結體9c，以及支撐部9d。上框體9a以及下框體9b形成為格子狀。連結體9c配置在上框體9a以及下框體9b的兩橫側緣部以及后側緣部上。連結體9c具備多個，多個連結體9c各自形成為連結上框體9a與下框體9b的帶板狀。支撐部9d沿橫向架設在對向的連結體9c之間。支撐部9d以沿上下方向排列的狀態具備多個，多個支撐部9d各自形成為纜索狀。具體地說，多個纜索狀的支撐部9d以在上下方向以及前后方向上隔開間隔的狀態配置，以一片基板I由在前后方向上排列的多個支撐部9d支撐的狀態，對多片基板I以沿上下方向排列的狀態進行支撐。而且，基板收納器K在四個側面中前方一側的側面未設置連結體9c，能夠從該前方一側的側面插拔基板I。即，針對基板收納器K的“前后方向”是相對于上下方向正交的方向，與基板I相對于基板收納器K的插拔方向(基板插拔方向)相一致。而且，針對基板收納器K的“左右方向”或者“橫向”是相對于上下方向以及前后方向雙方正交的方向。在本實施方式中，由于上下方向在設計上與豎直方向相一致，所以前后方向在設計上與水平方向相一致，左右方向在設計上與相對于前后方向正交的方向相一致。進而，由于上框體9a以及下框體9b形成為格子狀，而且，多個連結體9c位于隔開間隔的位置，并且在前方一側的側面不存在連結體9c，所以基板收納器K構成為在進行清洗之際清洗用的液體能夠通過其上表面、下表面、以及四個側面(上表面以及下表面以外的面)流入流出。即，在本實施方式中，基板收納器K分別在上表面、下表面、以及四個側面這合計六個面上分別形成有將基板收納器K的內部(基板I的收納空間)與外部連通的開口部。即，該六個面各自形成為開口狀態，通過包含開口部和形成該開口部的框部的假想面形成該六個面的各面。如圖3以及圖5所示，清潔氣體送風單元J具備風扇過濾器單元F和一對遮蔽板10。風扇過濾器單元F在清潔氣體送風單元J安裝在基板收納器K上的狀態(以下稱為“安裝狀態”)下，將基板收納器K的四個側面中作為一個側面的背面(后面)作為清潔氣體送風面，并且將作為與該清潔氣體送風面對向的側面的前面作為排氣用面，從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體。即，在本實施方式中，風扇過濾器單元F沿著基板插拔方向、即前后方向(在本實施方式中為水平方向)送入清潔氣體。一對遮蔽板10配置成在安裝狀態下覆蓋基板收納器K的四個側面中除了清潔氣體送風面以及上述排氣用面之外的兩個側面。風扇過濾器單元F是一體組裝了送風裝置(送風風扇)和除塵過濾器的送風單元。在本實施方式中，一對遮蔽板10相互平行地配置。S卩，清潔氣體送風單元J具備組裝了風扇過濾器單元F的縱向姿勢的矩形送風用框體11，在該送風用框體11的兩橫側部連結支撐有一對遮蔽板10。在此，“縱向姿勢”是沿著上下方向的姿勢。而且，本實施方式的清潔氣體送風單元J中，在安裝狀態下覆蓋基板收納器K的上表面的上板12連結支撐在送風用框體11上，并且與一對遮蔽板10相連。在本實施方式中，上板12配置成法線方向與上下方向平行。進而，在本實施方式中，以與一對遮蔽板10以及上板12相連的狀態設有在安裝狀態下覆蓋基板收納器K的前面(排氣用面)的排氣用板狀體13。即，排氣用板狀體13配置在與排氣用面相對應處，具體地說，配置成沿著與排氣用面 正交的方向觀察，在基板收納器K的外側與該排氣用面的整體重合。在本實施方式中，排氣用板狀體13與送風用框體11平行地配置。在排氣用板狀體13上，分散成平面狀地形成有多個排氣用的透氣孔T。具體地說，在本實施方式中，多個透氣孔T配置成正方格子狀，并在上下方向以及左右方向上分散地配置。而且，在本實施方式中，多個透氣孔T各自的截面形狀為圓形，具有相互同樣的孔徑。多個透氣孔T也可以是配置成六方格子狀(三角格子狀)的結構或不規則地配置的結構。而且，清潔氣體送風單元J上與基板收納器K的底面(下表面)相對應處(即作為下側端部的底部)是開口的，清潔氣體送風單元J在底部具備用于插拔基板收納器K的容器插拔用開口 U。即，在清潔氣體送風單元J上形成有朝下開口的容器插拔用開口 U。容器插拔用開口 U在本實施方式中由一對遮蔽板10各自的下端部，通風用框體11的下端部，以及排氣用板狀體13的下端部區分形成。如圖4所示，在本實施方式中，安裝狀態下容器插拔用開口 U配置在與基板收納器K的底面在上下方向上相同的位置。在本實施方式中，一對遮蔽板10各自的法線方向與左右方向平行，送風用框體11以及排氣用板狀體13各自的法線方向與前后方向平行。并且這一對遮蔽板10、送風用框體11、以及排氣用板狀體13各自配置在上下方向觀察時位于基板收納器K的外側。因此，在本實施方式中，容器插拔用開口 U為矩形的開口，并且形成為在上下方向觀察時比基板收納器K的外形大。S卩，清潔氣體送風單元J為比基板收納器K大的長方體狀，并形成為朝下開口的長方體狀。在本實施方式中，如圖6所示，送風用框體11與排氣用板狀體13之間的間隔形成為能夠將基板收納器K定位在其間地進行保持的間隔，而且，如圖4所示，一對遮蔽板10的間隔形成為能夠將基板收納器K定位在其間地進行保持的間隔。另外，在圖4、圖6中，表示了送風用框體11、排氣用板狀體13、以及一對遮蔽板10各自相對于基板收納器K接觸地保持的狀態，但實際上在送風用框體11、排氣用板狀體13、以及一對遮蔽板10各自與基板收納器K之間形成有用于使基板收納器K和清潔氣體送風單元J能夠在上下方向上相對移動的間隙。因此，清潔氣體送風單元J構成為通過安裝成在使送風用框體11與基板收納器K的背面相對應的狀態下從上方覆蓋基板收納器K，使風扇過濾器單元F所送入的清潔氣體沿著基板I的表面流動。在本實施方式中，由于清潔氣體送風單元J以使送風用框體11與基板收納器K的背面相對應的狀態安裝在基板收納器K上，所以風扇過濾器單元F裝配在與清潔氣體送風面相對應處。即，風扇過濾器單元F配置成沿著與清潔氣體送風面正交的方向觀察，在基板收納器K的外側與該清潔氣體送風面的至少一部分(在本例中為全體)重合。在本實施方式中，風扇過濾器單元F配置成與清潔氣體送風面對向，清潔氣體送風面被具備風扇過濾器單元F的送風用框體11覆蓋。而且，在排氣用板狀體13上與沿上下方向排列地收納在收納器K中的基板I中最下段的基板I對向的對向位置(與該基板I在上下方向上為相同的位置)形成有使基板I穿過其中的穿入孔Q。如后所述，通過使基板I穿過該穿入孔Q移動，能夠相對于基板收納器K進行基板I的收納以及取出。雖然未圖示，但清潔氣體送風單元J具備驅動風扇過濾器單元F的蓄電池，和在由保管裝置A保管時被供給電力而對蓄電池進行充電的受電端子。保管裝置A如圖1以及圖2所示，具備收納基板收納器K的多個收納部S，相對于基板收納器K進行基板I的取出以及收納的基板運入運出部SA，以及作為在收納部S與基板運入運出部SA之間運送基板收納器K的運送裝置的塔式起重機D。在本實施方式中設有一對保管架14，沿架上下方向以及架橫寬方向并列設有多個收納部S。一對保管架14以使物品出入方向相互對向的狀態隔開間隔地設置，在該一對保管架14之間裝備有塔式起重機D。在本實施方式中，在基板收納器K收納在收納部S中的狀態下，架上下方向與基板收納器K的上下方向相一致，架橫寬方向與基板收納器K的左右方向相一致，架前后方向與基板收納器K的前后方向相一致。保管架14通過沿架橫寬方向并列設置由沿架前后方向排列的一對支柱14A構成的支柱組，在該支柱組上分別沿架上下方向排列地設置載置支撐基板收納器K以及安裝在該基板收納器K上的清潔氣體送風單元J雙方的撐架15而構成。在架橫寬方向上鄰接的支柱組之間，以沿架上下方向排列的狀態形成有多個收納部S。撐架15上裝備有用于向清潔氣體送風單元J供電的供電裝置E，當清潔氣體送風單元J載置支撐在撐架15上時，電力從供電裝置E相對于清潔氣體送風單元J的受電端子供給。在一對保管架14之間的地面部設有引導塔式起重機D的一對行駛軌道16。塔式起重機D具備沿著行駛軌道16行駛的行駛臺車17，沿著立設在該行駛臺車17上的立柱18 (在本例中為一對立柱18)升降的升降臺19，以及安裝在該升降臺19上的物品移載裝置B。物品移載裝置B如圖2所示，具備相對于升降臺19繞上下軸心(沿著架上下方向的軸心)P轉向的轉向臺20，載置支撐基板收納器K和清潔氣體送風單元J雙方的板狀的物品載置體21，以及支撐該物品載置體21能夠相對于轉向臺20進退的一對屈伸聯桿22。通過屈伸聯桿22的屈伸動作，將物品載置體21進退操作到向升降臺19 一側后退的后退位置或者向外側突出的突出位置，并且通過升降臺19的升降動作操作物品載置體21升降，將基板收納器K以及安裝在該基板收納器K上的清潔氣體送風單元J相對于收納部S以及基板運入運出部SA移載。在基板運入運出部SA上，如圖1以及圖4所示，裝備有作為將清潔氣體送風單元J保持在上下方向的一定位置的保持部件的托框23，承接支撐基板收納器K并使其在上下方向上移動的升降裝置24，以及作為使基板I沿著基板插拔方向、即前后方向(在本實施方式中為水平方向)移動、將基板I相對于基板收納器K插拔的基板移動裝置而載置運送基板I的運送輸送機25。而且，如圖1所示，在運送輸送機25與基板處理裝置W之間裝備有載置運送基板I的中繼運送輸送機26。因此，能夠通過運送輸送機25以及中繼運送輸送機26將從基板收納器K中取出的基板I向基板處理裝置W運送，也能夠與此相反，通過中繼運送輸送機26以及運送輸送機25運送從基板處理裝置W中運出的基板I并收納在基板收納器K中。中繼運送輸送機26裝備在上部以及兩側部被遮蔽壁27包圍、并且由裝備在頂棚部上的凈化用風扇過濾器單元28送入清潔氣體的運送空間H中，避免了在基板收納器K與基板處理裝置W之間的運送中塵埃附著在基板I上。托框23在本實施方式中如圖4以及圖5所示，為了承接支撐清潔氣體送風單元J底部上的四個角部而與該四個角部相對應地設有四個。托框23各自形成為俯視形狀為L字型，雖然未圖示，但連結支撐在保管架14的支柱14A上。并且托框23如圖7以及圖8所示，作為保持清潔氣體送風單元J的上下方向的一定位置，將清潔氣體送風單元J保持在由運送輸送機25載置運送的基板I穿過穿入孔Q的位置。升降裝置24如圖4以及圖5所示，通過升降驅動裝置24B (參照圖1)操作沿著基板收納器K的前后方向形成為長條狀的左右一對的升降框24A升降。升降框24A的前后方向的長度為能夠穿過沿前后方向排列的托框23之間的長度，并且升降框24A的橫寬設定成除了基板收納器K之外也能夠載置清潔氣體送風單元J的橫寬。并且如圖4以及圖6所示，在塔式起重機D進行相對于基板運入運出部SA降低安裝著清潔氣體送風單元J的基板收納器K (以下簡稱為帶清潔氣體送風單元J的基板收納器K)的下降處理時，或者在塔式起重機D進行從基板運入運出部SA上托起帶清潔氣體送風單元J的基板收納器K的托起處理時，升降框24A升降到用于將帶清潔氣體送風單元J的基板收納器K保持在移載用高度的移載用升降位置。即，在塔式起重機D進行相對于基板運入運出部SA降低帶清潔氣體送風單元J的基板收納器K的下降處理時，相對于移載用升降位置的升降框24A下降帶清潔氣體送風單元J的基板收納器K。而且，在塔式起重機D進行從基板運入運出部SA上托起帶清潔氣體送風單元J的基板收納器K的托起處理時，托起由移載用升降位置的升降框24A支撐的帶清潔氣體送風單元J的基板收納器K。在運送輸送機25與通過由移載用升降位置的升降框24A支撐而保持在移載用的高度的帶清潔氣體送風單元J的基板收納器K之間，形成有用于插拔裝備在塔式起重機D上的物品移載裝置B的物品載置體21的空間。而且，當塔式起重機D進行的帶清潔氣體送風單元J的基板收納器K相對于基板運入運出部SA降低的下降處理結束后，如圖7所示，升降框24A下降到清潔氣體送風單元J由托框23承接支撐的初期位置。之后，每次基板I通過運送輸送機25的動作被取出時，升降框24A以相當于沿上下方向排列的基板I的上下間隔的升降量依次下降。最終如圖8所示，升降框24A下降到成為沿上下方向排列的基板I的最上段的基板I與穿入孔Q對向的位置(在上下方向上與穿入孔Q相同的位置)的最下降位置。
進而，在將從基板處理裝置W運出的基板I向基板收納器K中收納時，升降框24A如圖8所示位于最下降位置。當在該狀態下，最初的基板I通過運送輸送機25的動作而向基板收納器K中收納時，升降框24A以相當于沿上下方向排列的基板I的上下間隔的升降量上升。以下，每次基板I通過運送輸送機25的動作而被收納時，升降框24A以相當于沿上下方向排列的基板I的上下間隔的升降量依次上升。最終如圖7所示，升降框24A上升到成為沿上下方向排列的基板I的最下段的基板I與穿入孔Q對向的位置的初期位置。并且升降框24A在基板I相對于基板收納器K的收納結束后上升到移載用升降位置。在該狀態下，塔式起重機D進行托起由移載用升降位置的升降框24A保持的帶清潔氣體送風單元J的基板收納器K的托起處理。 S卩，在本實施方式中，在基板運入運出部SA，在相對于基板收納器K取出或收納基板I時，以將清潔氣體送風單元J保持在上下方向的一定位置的狀態，使基板收納器K穿過容器插拔用開口 U插拔而在上下方向上移動。并且以使插拔對象的基板I的位置與形成在排氣用板狀體13上的穿入孔Q的位置相配合的狀態，使該基板I穿過穿入孔Q移動而相對于基板收納器K插拔的形態進行。也就是說，在從基板收納器K中取出基板I的情況下，由于一般是從沿上下方向排列的基板I的下方一側依次取出，所以使升降裝置24動作到沿上下方向排列的基板I中最下段的基板I的位置成為與形成在排氣用板狀體13上的穿入孔Q對向的位置。在本實施方式中，由于穿入孔Q形成在安裝狀態下與沿上下方向排列收納的基板I中最下段的基板I對向的位置，所以如上所述，使升降框24A下降到清潔氣體送風單元J由托框23承接的初期位置。并且在沿上下方向排列的基板I中最下段的基板I位于與形成在排氣用板狀體13上的穿入孔Q對向的位置的狀態下使運送輸送機25動作，使基板I穿過形成在排氣用板狀體13上的穿入孔Q移動而從基板收納器K中取出。在通過運送輸送機25的動作進行的基板I的取出結束后，通過升降裝置24使基板收納器K下降到在取出的基板I的上方鄰接的基板I的位置成為與形成在排氣用板狀體13上的穿入孔Q對向的位置，之后使運送輸送機25動作，從基板收納器K中取出基板I。在最上段的基板I的取出結束前，重復進行通過升降裝置24使基板收納器K下降，和通過運送輸送機25取出基板I。在將基板I向基板收納器K中收納的情況下，由于一般是從沿上下方向排列的基板I的最上段依次收納，所以使升降裝置24動作到收納沿上下方向排列的基板I中最上段的基板I的位置成為與形成在排氣用板狀體13上的穿入孔Q對向的位置。在本實施方式中，如上所述使升降框24位于最下降位置。并且收納沿上下方向排列的基板I中最上段的基板I的位置與形成在排氣用板狀體13上的穿入孔Q對向的位置相一致的狀態下使運送輸送機25動作，使基板I穿過形成在排氣用板狀體13上的穿入孔Q移動而向基板收納器K中收納。在通過運送輸送機25的動作進行的基板I的收納結束后，通過升降裝置24使基板收納器K上升到在收納的基板I的下方鄰接的基板I的收納位置成為與形成在排氣用板狀體13上的穿入孔Q對向的位置，之后使運送輸送機25動作，將基板I向基板收納器K中收納。在最下段的基板I的收納結束前，重復進行通過升降裝置24使基板收納器K上升，和通過運送輸送機25收納基板I。作為升降裝置24中的升降驅動裝置24B，能夠適用構成為由電動式壓力缸等促動器操作支撐升降框24A能夠升降的滑動式的支撐機構或鏈節式的支撐機構升降等各種結構的升降驅動裝置。運送輸送機25在支撐框體25A的上部具備有能夠切換成驅動狀態或停止狀態的多個運送輥25B。并且在支撐框體25A上形成有凹入部N (槽部)，隨著升降框24A從初期位置下降到最下降位置，基板收納器K的格子狀的下框體9b插入該凹入部N。如上所述，基板收納器K能夠穿過清潔氣體送風單元J底部的容器插拔用開口 U與清潔氣體送風單元J分離，換句話說，清潔氣體送風單元J能夠相對于基板收納器K安裝，并且能夠從基板收納器K上取下。因此，在使用清洗液等對基板收納器K進行清洗時，在將清潔氣體送風單元J與基板收納器K分離的狀態下能夠對基板收納器K進行清洗。基板收納器K的清洗裝置可以與基板處理裝置W同樣設在保管裝置A的旁側并從保管裝置A運送，但也可以將清洗對象的基板收納器K從保管裝置A出庫，由另外設置的清洗裝置對其進行清洗。裝備有管理基板處理設備的運行的管理裝置、基于來自該管理裝置的指令控制塔式起重機D、升降裝置24、以及運送輸送機25等機器類的動作的控制裝置，進行基板收納器K的運送、基板I相對于基板收納器K的取出及收納。由于該控制動作根據上述的說明是明了的，所以在本實施方式中省略其詳細說明。[其它實施方式]
接著列舉其它實施方式。( I)在上述實施方式中，例示了清潔氣體送風單元J具備覆蓋基板收納器K的上表面的上板12的情況，但在基板收納器K的上部(上表面)以封閉的狀態形成的情況下等，清潔氣體送風單元J也可以不具備上板12。(2)在上述實施方式中，例示了將基板收納器K的四個側面中與基板I插拔的前面對向的背面作為清潔氣體送風面，將前面作為排氣用面的情況，但也能夠以將基板收納器K的四個側面中一對橫側面中的一方作為清潔氣體送風面，將其它的橫側面作為排氣用面的方式實施。在這種情況下，風扇過濾器單元F的清潔氣體通風方向成為相對于基板插拔方向、即前后方向正交的左右方向。(3)在上述實施方式中，例示了容器插拔用開口 U形成在與基板收納器K的底面相對應處的情況，但例如也可以將容器插拔用開口 U形成在與排氣用面相對應處，或者將容器插拔用開口 U形成在與基板收納器K的上表面相對應處。在這種情況下，可以封閉清潔氣體送風單元J上與基板收納器K的底面相對應處。(4)在上述實施方式中，例示了風扇過濾器單元F裝配在清潔氣體送風單元J上與清潔氣體送風面相對應處的情況，但也能夠以將風扇過濾器單元F裝配在清潔氣體送風單元J上和與清潔氣體送風面相對應處不同之處，并設置將來自風扇過濾器單元F的清潔氣體向清潔氣體送風面引導的送風通道的方式實施。
(5)在上述實施方式中，例示了將覆蓋排氣用面的排氣用板狀體13裝備在清潔氣體送風單元J上的情況，但也能夠以不裝備排氣用板狀體13的方式實施。(6)在上述實施方式中，例示了基板收納器K構成為能夠從排氣用面插拔基板1，在覆蓋排氣用面的排氣用板狀體13上與基板收納器K中沿上下方向排列收納的基板I中最下段的基板I對向的對向位置形成使基板I穿過其中的穿入孔Q的情況，但也能夠以將該穿入孔Q形成在比該對向位置靠下方一側的位置的方式實施。(7)在上述實施方式中，作為裝備在基板運入運出部SA上、使基板I沿著基板插拔方向(例如水平方向)移動、相對于基板收納器K插拔基板I的基板移動裝置，例示了載置運送基板I的運送輸送機25，但作為基板移動裝置，也能夠適用具備能夠切換成向基板收納器K內突出的狀態或后退的狀態、并且能夠升降的基板支撐體等各種方式的基板移動裝置。
權利要求
1.一種清潔氣體送風單元，相對于將基板以在上下方向上隔開間隔地排列的狀態收納的長方體狀的基板收納器能夠裝卸地安裝，其特征在于， 上述基板收納器是由保管裝置保管的收納器，該保管裝置具備收納上述基板收納器的多個收納部，相對于上述基板收納器進行上述基板的取出和收納的基板運入運出部，以及在上述收納部與上述基板運入運出部之間運送上述基板收納器的運送裝置， 上述清潔氣體送風單元具備風扇過濾器單元和一對遮蔽板，該風扇過濾器單元將上述基板收納器的四個側面中的一個側面作為清潔氣體送風面，并且將與該清潔氣體送風面對向的側面作為排氣用面，從上述清潔氣體送風面朝向上述排氣用面送入清潔氣體，該一對遮蔽板覆蓋上述基板收納器的四個側面中除了上述清潔氣體送風面以及上述排氣用面之外的兩個側面。
2.如權利要求1所述的清潔氣體送風單元，其特征在于， 上述風扇過濾器單元裝配在與上述清潔氣體送風面相對應處。
3.如權利要求1或2所述的清潔氣體送風單元，其特征在于， 還具備覆蓋上述排氣用面的排氣用板狀體， 在上述排氣用板狀體上分散成平面狀地形成有多個排氣用的透氣孔。
4.如權利要求3所述的清潔氣體送風單元，其特征在于， 在與上述基板收納器的底面相對應處形成有用于插拔上述基板收納器的容器插拔用開口。
5.如權利要求4所述的清潔氣體送風單元，其特征在于， 上述基板收納器構成為能夠從上述排氣用面插拔上述基板， 在上述排氣用板狀體上與上述基板收納器中沿上下方向排列地收納的上述基板中最下段的基板對向的對向位置或者比該對向位置靠下方一側的位置形成有使上述基板穿過的穿入孔。
全文摘要
提供一種清潔氣體送風單元，能夠使清潔氣體從清潔氣體送風面恰當地朝向排氣用面流動，并且能夠良好地進行基板收納器的清洗。在相對于基板收納器(K)能夠裝卸地安裝的清潔氣體送風單元(J)中，基板收納器(K)是由保管裝置保管的收納器，上述清潔氣體送風單元具備風扇過濾器單元(F)和一對遮蔽板(10)，該風扇過濾器單元(F)將基板收納器(K)的四個側面中的一個側面作為清潔氣體送風面，并且將與該清潔氣體送風面對向的側面作為排氣用面，從清潔氣體送風面朝向排氣用面送入清潔氣體，該一對遮蔽板(10)覆蓋基板收納器(K)的四個側面中除了清潔氣體送風面以及排氣用面之外的兩個側面。
文檔編號B08B17/02GK103008319SQ201210353718
公開日2013年4月3日 申請日期2012年9月21日 優先權日2011年9月22日
發明者中尾多通夫 申請人:株式會社大福