空氣離子清洗裝置制造方法
【專利摘要】本發明用于提供一種空氣離子清洗裝置，該空氣離子清洗裝置用于對圖像傳感器表面的離子進行清洗，該空氣離子清洗裝置包括有氣體輸入裝置、平板電極，置于平板電極間的電磁閥、高壓射頻電壓源、多個支撐部，及兩個抽真空裝置，該支撐部用于放置待清洗的圖像傳感器，該氣體輸入裝置用于向平板電極之間輸入混合氣體，該高壓射頻電壓源用于游離平板電極之間的氣體，產生帶電的氣體組合，該帶電的氣體組合流向至圖像傳感器表面以使該圖像傳感器的表面帶電，及使得該圖像傳感器表面的離子被離子化為帶電離子，該抽真空裝置用于將圖像傳感器表面帶電的離子抽離到外部吸集器。本發明的空氣離子清洗裝置，可避免在清洗的同時對圖像傳感器再次污染。
【專利說明】空氣離子清洗裝置
【技術領域】
[0001 ] 本發明涉及一種空氣離子清洗裝置。
【背景技術】
[0002]現有技術下，對于準備封裝的圖像傳感器通常還需要人為來操作機臺，由此將會導致圖像傳感器被污染。因此，客戶在要求封裝圖像傳感器時，都需要嚴格的限制可容許在圖像傳感器上的離子的數量。鑒于此，有必要提供一種可對圖像傳感器表面上的離子進行處理的清洗裝置。
【發明內容】
[0003]本發明的主要目的在于提供一種空氣離子清洗裝置，旨在解決上述的問題。
[0004]本發明用于提供一種空氣離子清洗裝置，該空氣離子清洗裝置用于對圖像傳感器表面的離子進行清洗，該空氣離子清洗裝置包括有氣體輸入裝置、與氣體輸入裝置連接的平板電極，置于平板電極間的電磁閥、置于平板電極兩側的高壓射頻電壓源、置于平板電極下方的多個支撐部，及置于支撐部兩側的兩個抽真空裝置，該支撐部用于放置待清洗的圖像傳感器，該氣體輸入裝置用于向平板電極之間輸入混合氣體，該高壓射頻電壓源用于游離平板電極之間的氣體，產生帶電的氣體組合，該電磁閥用于控制氣體輸入裝置向平板電極間輸入混合氣體的流量，該帶電的氣體組合流向至圖像傳感器表面以使該圖像傳感器的表面帶電，及使得該圖像傳感器表面的離子被離子化為帶電離子，該抽真空裝置用于將圖像傳感器表面帶電的離子抽離到外部吸集器。
[0005]本發明的空氣離子清洗裝置，其通過空氣離子對圖像傳感器表面的離子進行清洗，以此避免在清洗的同時對圖像傳感器再次污染。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0006]圖1為本發明空氣離子清洗裝置的硬件結構圖。
[0007]主要元件符號說明
【權利要求】
1.一種空氣離子清洗裝置，該空氣離子清洗裝置用于對圖像傳感器表面的離子進行清洗，其特征在于:該空氣離子清洗裝置包括有氣體輸入裝置、與氣體輸入裝置連接的平板電極，置于平板電極間的電磁閥、置于平板電極兩側的高壓射頻電壓源、置于平板電極下方的多個支撐部，及置于支撐部兩側的兩個抽真空裝置，該支撐部用于放置待清洗的圖像傳感器，該氣體輸入裝置用于向平板電極之間輸入混合氣體，該高壓射頻電壓源用于游離平板電極之間的氣體，產生帶電的氣體組合，該電磁閥用于控制氣體輸入裝置向平板電極間輸入混合氣體的流量，該帶電的氣體組合流向至圖像傳感器表面以使該圖像傳感器的表面帶電，及使得該圖像傳感器表面的離子被離子化為帶電離子，該抽真空裝置用于將圖像傳感器表面帶電的離子抽離到外部吸集器。
2.如權利要求1所述的空氣離子清洗裝置，其特征在于:該空氣離子清洗裝置還包括有分別設置于抽真空裝置外的高壓游離電極，該高壓游離電極用于將抽真空裝置在抽離圖像傳感器表面帶電的離子時所吸入的空氣游離為帶電離子。
3.如權利要求1所述的空氣離子清洗裝置，其特征在于:該氣體輸入裝置輸入至平板電極間的混合氣體包括有氧氣及氬氣。
4.如權利要求1所述的空氣離子清洗裝置，其特征在于:該空氣離子清洗裝置還包括有固定于支撐部下方的傳送裝置，該傳送裝置用于傳送該支撐部。
【文檔編號】B08B7/00GK104070042SQ201310098906
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2013年3月26日 優先權日:2013年3月26日
【發明者】張仁淙 申請人:鴻富錦精密工業（深圳）有限公司, 鴻海精密工業股份有限公司