專利名稱：懸臂石英槳的制作方法及產品的制作方法
技術領域：
本發明涉及半導體生產元件的制作方法及產品，尤其是一種懸臂石英槳的制作方法及產品。
背景技術：
從硅片到芯片的加工過程中，片子進出爐管的傳統方式是推拉式，但是隨著芯片直徑加 大，自重增加，推拉式因為與爐管直接接觸，容易對爐管造成損傷，因此這個加工過程就由 傳統的推拉式變為懸臂式的硅槳，懸臂式硅槳可以保證芯片與爐管的同心度，進而使擴散、 氧化更均勻，并且保證了芯片的承載器不與爐管直接接觸，延長了爐管的使用壽命，但是硅 槳不易清洗、質地較脆、易斷裂，并且斷裂后不能修補，其所能承載的石英舟少，使用成本 高。
發明內容
本發明的目的在于，提供一種懸臂石英槳的制作方法及產品，它可以保證芯片與爐管的 同心度，不與爐管直接接觸，并且容易清洗、不易斷裂，即使斷裂也可以進行修補，承載量 大，節約了成本。
本發明的技術方案是懸臂石英槳的制作方法，將溶凝石英管進行二次成型，堆厚處理 ，并進行兩種退火處理，制成懸臂部分l;將溶凝石英管和溶凝石英板懸進行切割、燒結， 燒結后采用兩種退火處理，退火后進行打磨、拋光，制成承載部分2;將懸臂部分l與承載部 分2進行連接，并進行常規的退火處理。
所述的懸臂石英槳的制作方法，所述的進行堆厚處理，是將溶凝石英管二次成型后的厚
度增加到10 12mm。
上述的懸臂石英槳的制作方法，所述兩種退火處理，是先進行火焰退火處理，再進行電 阻爐退火處理。
前述的懸臂石英槳的制作方法，燒結次數為三次，每次都相應的進行兩種退火處理。 前述的懸臂石英槳的制作方法，懸臂部分1與承載部分2采用石英棒進行焊接。 懸臂石英槳，它包括懸臂部分1與承載部分2，懸臂部分1與承載部分2通過結合部分4連
接，懸臂部分l厚度為10 12mm，承載部分2厚度為4. 5 5. 5mm，結合部分4的中點位置處為
支點3。
與現有技術相比，本發明增加了懸臂石英槳的懸臂部分的厚度，退火采用兩種退火方式 ，消除了常規退火無法解決的應力問題，保證芯片與爐管的同心度，使其能承載較多的石英 舟，懸臂石英槳不與爐管直接接觸，延長了爐管的使用壽命，因為采用熔凝石英，懸臂石英 槳容易清洗，并且不易斷裂，即使斷裂也可以進行修補，節約了成本。
說明書附圖
圖l為懸臂石英槳的結構示意圖； 圖2為
圖1的俯視圖； 圖3為圖1的左視圖。
具體實施例方式
實施例l:懸臂石英槳的制作方法，選定的材料為符合美國GE標準的熔凝石英，將溶凝 石英管進行二次成型，堆厚處理，將溶凝石英管的厚度由常規的厚度增加到10 12mm，并進 行兩種退火處理，制成懸臂部分l;將溶凝石英管和溶凝石英板懸進行切割、燒結，燒結次 數為三次，燒結后采用兩種退火處理，退火后進行打磨、拋光，制成承載部分2;懸臂部分l 與承載部分2采用石英棒進行焊接，并用常規的退火方式進行處理；整個過程中采用的兩種 退火處理，均是先進行火焰退火處理，再進行電阻爐退火處理。
懸臂石英槳的結構如圖l、圖2和圖3所示，它包括懸臂部分1與承載部分2，懸臂部分l與 承載部分2通過結合部分4連接，懸臂部分l厚度為10 12mm，承載部分2厚度為4. 5 5. 5mm， 結合部分4的中點位置處為支點3 。
本發明將懸臂石英槳的懸臂部分l增加厚度，由常規的厚度增加到10 12m;采用兩步退 火是為了消除懸臂部分1與承載部分2的應力，同時也避免了氣泡與虛焊，保證芯片與爐管的 同心度，使其能承載較多的石英舟，懸臂石英槳不與爐管直接接觸，避免了因反復進出而對 爐管造成磨損，延長了爐管的使用壽命，由于了采用熔凝石英，懸臂石英槳容易清洗，并且 不易斷裂，即使斷裂也可以進行修補，節約了成本；支點3在結合部分4的中點位置處，因為 石英槳的槳部(即承載部分2)要承載石英舟，因此選擇一個合適的支點3可以很好的保持整 個槳的平衡，使其受力平衡均勻；熔凝石英的分子為非結晶排布，這樣可以在其斷裂時能進 行修補，以增加懸臂石英槳的使用壽命。
權利要求
1.懸臂石英槳的制作方法，其特征在于將溶凝石英管進行二次成型，堆厚處理，并進行兩種退火處理，制成懸臂部分(1)；將溶凝石英管和溶凝石英板懸進行切割、燒結，燒結后采用兩種退火處理，退火后進行打磨、拋光，制成承載部分(2)；將懸臂部分(1)與承載部分(2)進行連接，并進行常規的退火處理。
全文摘要
本發明公開了一種懸臂石英槳的制作方法，將溶凝石英管進行二次成型，堆厚處理，并進行兩種退火處理，制成懸臂部分(1)；將溶凝石英管和溶凝石英板懸進行切割、燒結，燒結完成后進行打磨、拋光，最后采用兩種退火處理，制成承載部分(2)；將懸臂部分(1)與承載部分(2)進行連接，并進行常規的退火處理。本發明增加了懸臂石英槳的懸臂部分的厚度，退火采用兩種退火方式，消除了常規退火無法解決的應力問題，保證芯片與爐管的同心度，使其能承載較多的石英舟，懸臂石英槳不與爐管直接接觸，延長了爐管的使用壽命，因為采用熔凝石英，懸臂石英槳容易清洗，并且不易斷裂，即使斷裂也可以進行修補，節約了成本。
文檔編號C03B20/00GK101353222SQ20071020117
公開日2009年1月28日 申請日期2007年7月26日 優先權日2007年7月26日
發明者張彩根 申請人:張彩根