專利名稱:一種大型石英芯棒母材制造裝置的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及光纖制造領域的石英芯棒母材制造裝置,具體涉及一種大型石英芯棒母材制造裝置。
背景技術:
目前制造石英光纖芯棒母材主要采用軸向氣相沉積法即VAD法,是在一個封閉的石英反應容器內進行的。制造大型石英芯棒母材就必須具備大尺寸的石英反應容器,而這種大尺寸的石英反應容器的加工難度較大;而且制造大型石英芯棒母材在生產過程中沉積溫度高,大尺寸石英反應容器在高的噴槍溫度沖擊下容易開裂。另外,由于芯棒母材沉積過程中噴槍火焰氣流向上流動,反應容器內氣流紊亂,帶動部分未沉積到母材上的石英粒子上升,沉積到反應容器側壁上,落下后使母材產生缺陷。
發明內容本實用新型的目的是提供一種堅固耐用、生產過程中容器內未沉積到母材上的石英粒子能夠及時排出反應容器從而保證芯棒母材質量的大型石英芯棒母材制造裝置。為實現上述技術目的,達到上述技術效果,本實用新型通過以下技術方案實現一種大型石英芯棒母材制造裝置,包括一反應容器,所述反應容器下方設有芯層噴燈和包層噴燈,所述反應容器一側面設有連接排風機的排氣口,所述反應容器頂部設有一具有氣體導入孔的上部氣體導入裝置,在與所述排氣口相對的側面設置水平氣體導入裝置,其氣體出口處于所述芯層噴燈和所述包層噴燈的上方且對準所述排氣口,所述水平氣體導入裝置內設置由多層平板構成的平板整流器。進一步的,所述反應容器上方設有一帶懸掛靶棒的提升裝置。進一步的,在所述水平氣體導入裝置內設置有垂直于所述平板整流器的平板的楔形氣體導向裝置。進一步的,所述水平氣體導入裝置內設置一氣體過濾器,所述氣體過濾器上開設有鼓風機送風口。進一步的,所述反應容器與所述水平氣體導入裝置連接處開設有第一導入氣體出口,第二導入氣體出口。 石英光纖芯棒母材主要采用軸向氣相沉積法即棒的本實用新型的原理是本實用新型的反應容器采用耐腐蝕的金屬材料加工成長方體形狀,排氣口的管道也采用耐腐蝕金屬材料制成,水平氣體導入裝置連接鼓風機送風口, 水平氣體導入裝置內設置氣體過濾器、平板整流器、氣體導向裝置、導入氣體出口。氣體整流器由多層平板構成,平板間距相等。氣體導向裝置垂直于平板整流器的平板,制成楔形, 按導入氣體流動方向由窄到寬。上部氣體導入裝置設于反應容器的頂部,其側面設有氣體導入孔。為使經過水平氣體導入裝置內的平板整流器的導入氣體的氣流避開噴燈,使氣流從母材前后側流過反應容器后經排氣口排出,在水平氣體導入裝置內設置垂直于平板整流
3器的平板的楔形氣體導向裝置。本實用新型的有益效果是采用金屬反應容器,不僅容器制作簡單,而且可防止由于生產大型芯棒母材時沉積溫度高、火焰對容器的溫度沖擊大導致容器開裂的現象;采用設有平板整流器的水平氣體導入裝置,可使進入反應容器的氣流呈水平層流狀態,消除反應容器的氣流紊亂現象,使沉積穩定,同時將未沉積到母材上的石英粒子在最短的時間內帶到排氣口排出反應容器;從反應容器的上部氣體導入裝置導入的氣流,可防止噴槍火焰氣流向上流動,從而減少石英粒子落到反應容器的側壁上,進而防止側壁上的石英粒子再落下使母材產生缺陷,提高母材質量。。
圖1是本實用新型的結構示意圖;圖2是圖1中X-X向放大示意圖;圖3是圖1中Y-Y向放大示意圖。圖中標號說明1、靶棒,2、上部氣體導入裝置,3、反應容器,4、芯棒母材,5、水平氣體導入裝置,6、包層噴燈,7、芯層噴燈,8、排氣口,9、上部氣體導入裝置的氣體導入孔,10、 提升裝置,51、第一導入氣體出口,55、第二導入氣體出口,52、氣體導向裝置,53、氣體過濾器,54.鼓風機送風口,56、平板整流器。
具體實施方式
下面將參考附圖并結合實施例,來詳細說明本實用新型。參照圖1、圖2所示,一種大型石英芯棒母材制造裝置,包括一反應容器3,所述反應容器3下方設有芯層噴燈7和包層噴燈6,所述反應容器3 —側面設有連接排風機的排氣口 8,所述反應容器3頂部設有一具有氣體導入孔9的上部氣體導入裝置2,所述反應容器 3另一側還設置水平氣體導入裝置5,所述水平氣體導入裝置5的氣體出口 55位于所述芯層噴燈7和所述包層噴燈6的上方且對準所述排氣口 8,所述水平氣體導入裝置5內設置由多層平板構成的平板整流器56。進一步的,所述反應容器3上方設有一帶懸掛靶棒1的提升裝置10。進一步的,在所述水平氣體導入裝置5內設置有垂直于所述平板整流器56的平板的楔形氣體導向裝置52。進一步的,所述水平氣體導入裝置5內設置一氣體過濾器53,所述氣體過濾器53 上開設有鼓風機送風口 M。進一步的,所述反應容器3與所述水平氣體導入裝置5連接處開設有第一導入氣體出口 55和第二導入氣體出口 51。
權利要求1.一種大型石英芯棒母材制造裝置,包括一反應容器(3),所述反應容器(3)下方設有芯層噴燈(7)和包層噴燈(6),所述反應容器(3)—側面設有連接排風機的排氣口(8),其特征在于所述反應容器(3)頂部設有一具有氣體導入孔(9)的上部氣體導入裝置(2),所述反應容器(3)另一側還設置水平氣體導入裝置(5),所述水平氣體導入裝置(5)的氣體出口 (55)位于所述芯層噴燈(7)和所述包層噴燈(6)的上方且對準所述排氣口(8),所述水平氣體導入裝置(5 )內設置由多層平板構成的平板整流器(56 )。
2.根據權利要求1所述的大型石英芯棒母材制造裝置,其特征在于所述反應容器(3) 上方設有一帶懸掛靶棒(1)的提升裝置(10)。
3.根據權利要求1所述的大型石英芯棒母材制造裝置,其特征在于在所述水平氣體導入裝置(5)內設置有垂直于所述平板整流器(56)的平板的楔形氣體導向裝置(52)。
4.根據權利要求1所述的大型石英芯棒母材制造裝置,其特征在于所述水平氣體導入裝置(5 )內設置一氣體過濾器(53 ),所述氣體過濾器(53 )上開設有鼓風機送風口( 54 )。
5.根據權利要求1所述的大型石英芯棒母材制造裝置,其特征在于所述反應容器(3) 與所述水平氣體導入裝置(5)連接處開設有第一導入氣體出口(55)和第二導入氣體出口 (51)。
專利摘要本實用新型公開了一種大型石英芯棒母材制造裝置,包括一反應容器,反應容器下方設有芯層噴燈和包層噴燈,反應容器一側設有連接排風機的排氣口,反應容器頂部設有一具有氣體導入孔的上部氣體導入裝置,反應容器另一側還設置水平氣體導入裝置,水平氣體導入裝置的氣體出口位于芯層噴燈和包層噴燈的上方且對準排氣口,水平氣體導入裝置內設置由多層平板構成的平板整流器。該裝置制作簡單、堅固耐用、不易開裂,消除了反應容器內的氣流紊亂現象,使芯棒母材沉積穩定,可以將未沉積到母材上的石英粒子迅速從排氣口排出反應容器,減少石英粒子落到反應容器的側壁上,進而防止側壁上的石英粒子再落下使母材產生缺陷,提高母材質量。
文檔編號C03B37/018GK202116443SQ201120222790
公開日2012年1月18日 申請日期2011年6月28日 優先權日2011年6月28日
發明者肖華, 陳進, 顧志華, 高安敏 申請人:江蘇亨通光電股份有限公司