刀片保持具的制作方法
【專利摘要】本申請的發明涉及一種刀片保持具。提供一種具備適于利用機械手進行自動更換的功能的刀片保持具。一種刀片保持具(12)，其包含安裝在基板加工裝置(A)的刻劃頭(10)上的主體部(12a)、平行于主體部(12a)的軸心而形成在主體部(12a)的一端的一對平坦面(12b)、與各平坦面(12b)平行地形成在這些平坦面(12b、12b)之間的切槽(12c)、及安裝在該切槽(12c)的輪片(12e)，且在一對平坦面(12b)中的至少一個面的下端設置從平坦面(12b)突出的至少一根銷(12j)。
【專利說明】刀片保持具
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種刀片保持具，所述刀片保持具是使用于如下的基板加工裝置中，該基板加工裝置是通過一面將圓周脊線上形成著V字型刀尖的輪片(也稱為刀輪或刻劃輪)按壓于載置在平臺(tabel)上的基板的表面一面進行刻劃，而對所述基板加工出切斷用劃線或進行切斷(斷裂)。
【背景技術】
[0002]以往，已知有利用輪片在由玻璃、硅、陶瓷、半導體等脆性材料構成的基板或貼合基板(以下簡稱為“基板”)的表面形成沿著預刻劃線的劃線(切斷用的槽)或從預切斷線完全切斷的基板加工裝置(參照例如專利文獻1、專利文獻2)。
[0003]圖16是表示所述專利文獻等中揭示的以往的基板加工裝置的一例的概略立體圖。該基板加工裝置B包含載置并保持成為加工對象的基板W的水平的平臺31。平臺31構成為可通過內置馬達的旋轉驅動部32而在水平面內轉動且可沿著水平的軌道33在Y方向上移動。該Y方向上的移動是通過利用馬達34進行旋轉的螺桿軸35而進行。
[0004]基板加工裝置B中，以橫跨平臺31的方式設置著包含一對支柱36、36及以將這些支柱36、36連接的方式沿X方向水平延伸的導桿37的橋部38。在導桿37設置著沿X方向水平延伸的導件39，刻劃頭40配置成可沿著導件39在X方向上移動。刻劃頭40在X方向上的移動是通過馬達41的驅動而進行。包含輪片42e的刀片保持具42經由保持具接頭43可裝卸地安裝在刻劃頭40上。在刻劃頭40的內部組裝著可實現保持具接頭43的升降的升降機構。
[0005]在如上文所述的構成下，一面將輪片42e按壓于載置在平臺31上的基板W—面使輪片42e與平臺31中的一者或兩者移動，由此，可在X-Y方向上對基板W進行刻劃而形成刻劃槽或進行切斷。
[0006]圖17及圖18是表示以往的刀片保持具42及保持具接頭43的構成的圖。刀片保持具42包含大致圓柱狀的主體部42a、及相對于主體部42a的軸心平行且相互對稱地形成在主體部42a的一端(下端)的一對平坦面42b、42b，此外，與該平坦面42b平行地形成的切槽42c沿著主體部42a的軸心形成在這一對平坦面42b、42b之間。在該切槽42c內，經由相對于主體部42a的軸心正交的輪軸42d而旋轉自如地安裝著輪片42e。在一對平坦面42b中的一個面上標印著代碼42i，該代碼42i記錄著安裝在該刀片保持具42上的輪片42e的直徑或種類、安裝輪片時的設定信息等管理上有用的固有數據。
[0007]而且，在主體部42a的另一端(上端)設置著安裝在保持具接頭43時用于定位的安裝部42f。安裝部42f包含切削主體部42a而形成的平面部42g與傾斜面42h。平面部42g與主體部42a的軸心平行,且與位于下方的一對平坦面42b正交。而且，主體部42a是由鐵等磁性金屬構成。
[0008]保持具接頭43在上部包含軸承43a，下部成為保持刀片保持具42的保持部43b。在保持部43b設置著朝向下方開口的剖面大致圓形的開口部43c，在其內部深處部安裝著磁鐵43j。此外，在開口部43c的內部設置著在開口部的與軸心相離的部位沿與該軸心垂直的方向延伸的用于定位的平行銷43d。該平行銷43d是當刀片保持具42插入于開口部43c時，與刀片保持具42的傾斜面42h接觸而以使得刀片保持具42的方向或姿勢固定的方式進行定位。
[0009]將刀片保持具42安裝在保持具接頭43時，如圖18所示，使刀片保持具42從其安裝部42f插入保持具接頭43的開口部43c而進行。當將安裝部42f插入于保持具接頭43的開口部43c時，平行銷43d與刀片保持具42的傾斜面42h接觸而定位，并且刀片保持具42的上端部被磁鐵43j磁性吸附而保持。由此，可在刀片保持具42的姿勢朝向固定方向的狀態下簡單地安裝在保持具接頭43上。更換輪片42e時，抵抗磁鐵的磁力從保持具接頭43的開口部43c拉拔刀片保持具42，與刀片保持具一并更換。新安裝的刀片保持具42是通過利用另外設置的讀取器(reader)讀取標印在平坦面42b上的記錄著刀片固有數據的代碼42 i而選擇。
[0010][【背景技術】文獻]
[0011][專利文獻]
[0012][專利文獻I]國際公開編號W02007/063979公報
[0013][專利文獻2]日本專利特開2011-218815號公報
【發明內容】
[0014][發明所要解決的問題]
[0015]當輪片移行規定的移行距離而達到更換時期時、或需要其他規格的輪片時，是在使基板加工裝置B停止之后，進行刀片保持具的更換。具體而言，從刻劃頭的保持具接頭卸除刀片保持具之后，通過利用讀取器讀取代碼而從保管的刀片保持具中選擇所期望的刀片保持具，將該選擇的刀片保持具安裝在保持具接頭上。若如上文所述的更換操作由操作人員通過手工操作而進行，則比較費事，因此，利用機械手自動地進行較為方便。
[0016]在利用機械手進行更換操作的情況下，為了從多個刀片保持具中選擇所希望的刀片保持具，必需以容易利用讀取器讀取具備代碼的刀片保持具的平坦面、且容易利用機械手拉出的方式配置。在此情況下，由于刀片保持具包含直徑約2_?3_的較小的輪片，故要求穩定地載置在例如載置臺等上，以使在代碼面露出的狀態下輪片不會受損。而且，為了利用機械手選擇并抓住刀片保持具且直接搬運至刻劃頭的保持具接頭而進行安裝，必需考慮載置臺與機械手的相關的組裝。
[0017]然而，以往，未揭示適于利用如上文所述的機械手進行刀片保持具的自動更換的系統構成，而一直未解決。
[0018]因此，鑒于所述課題，本發明的目的在于提供一種具備適于利用機械手進行自動更換的功能的刀片保持具。
[0019][解決問題的技術手段]
[0020]為了解決所述課題，在本發明中采取如下的技術手段。即，本發明的刀片保持具設為如下構成:包含安裝在基板加工裝置的刻劃頭上的主體部、平行于該主體部的軸心而形成在該主體部的一端的一對平坦面、與該一對平坦面平行地形成在該一對平坦面之間的切槽、及安裝在該切槽的輪片，且在所述一對平坦面中的至少一個面的下端設置著從平坦面突出的至少一根銷。
[0021][發明的效果]
[0022]根據本發明的刀片保持具，利用機械手的夾持爪夾著平坦面而拉出時，設置在平坦面的銷成為相對于拉拔方向的對夾持爪的卡扣件。由此，能夠以較輕的力順利且容易地拉出刀片保持具。
[0023]在本發明中，優選的是設為所述銷分別設置在所述一對平坦面上的構成。
[0024]由此，可相對于拉出方向而平衡性良好地卡住機械手的夾持爪，從而可更順利地拉出刀片保持具。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0025]圖1是表示包含本發明的刀片保持具的基板加工裝置的一例的立體圖。
[0026]圖2(a)_(c)是表示本發明的刀片保持具的一例的圖。
[0027]圖3是表示本發明的刀片保持具及安裝刀片保持具的保持具接頭的立體圖。
[0028]圖4是表示本發明的刀片保持具與保持具接頭的局部剖面前視圖。
[0029]圖5是表示刀片保持具收納體的一例的分解立體圖。
[0030]圖6是在刀片保持具收納體中收納著刀片保持具的狀態的剖視圖。
[0031]圖7(a)_(d)是表示圖5所示的刀片保持具收納體中的彈性止動部的動作的說明圖。
[0032]圖8(a)、(b)是表示刀片保持具收納體的其他實施例的剖視圖。
[0033]圖9是表示刀片保持具收納體的又一其他實施例的剖視圖。
[0034]圖10是表示圖1所示的基板加工裝置中的機械手與載置架的立體圖。
[0035]圖11是表示載置架的其他實施例的立體圖。
[0036]圖12是表示載置架的又一其他實施例的立體圖。
[0037]圖13是表示在圖1所示的基板加工裝置中利用CCD相機拍攝到的對準標記的狀態的說明圖。
[0038]圖14是表示圖1所示的基板加工裝置的控制系統的構成的方塊圖。
[0039]圖15(a)、(b)是外切、內切的刻劃方法的說明圖。
[0040]圖16是表示以往的基板加工裝置的一例的立體圖。
[0041]圖17是表示以往的刀片保持具的立體圖。
[0042]圖18是表示以往的刀片保持具與保持具接頭的局部剖面前視圖。
[0043][符號的說明]
[0044]A 基板加工裝置
[0045]W 基板
[0046]I 平臺
[0047]10 刻劃頭
[0048]12 刀片保持具
[0049]12a主體部
[0050]12b平坦部
[0051]12c 切槽[0052]12d輪軸[0053]12e輪片[0054]13保持具接頭[0055]15刀片保持具收納體[0056]16載置架[0057]17機械手[0058]17b夾持爪
【具體實施方式】
[0059]以下，基于表示本發明的實施形態的圖式對本發明的詳細情況進行說明。
[0060]圖1是表示具備本發明的刀片保持具的基板加工裝置的一例的概略性立體圖。該基板加工裝置A包含載置并保持成為加工對象的基板W的水平的平臺I。平臺I構成為可通過內置有馬達的旋轉驅動部2而在水平面內轉動，且可沿著水平軌道3在Y方向上移動。該Y方向的移動是通過利用馬達4進行旋轉的螺桿軸5實現。
[0061]在基板加工裝置A中，以橫跨平臺I的方式設置有包含一對支柱6、6、及以將這些支柱6、6連結的方式在X方向上水平延伸的導桿7的橋部8。在導桿7上設置有在X方向上水平延伸的導件9，刻劃頭10以可沿著導件9在X方向上移動的方式配置。刻劃頭10在X方向上的移動是通過馬達11的驅動而實現。在刻劃頭10上，以可經由保持具接頭13裝卸的方式安裝有包含輪片12e的刀片保持具12。在刻劃頭10的內部組裝有可實現刀片保持具12的升降的升降機構。而且，在橋部8的上部設置有對基板W的對準標記進行拍攝的2 臺 CCD (Charge Couple d Device,電荷I禹合器件)相機 18、18。
[0062]在如上文所述的構成下，一面將輪片12e按壓于載置在平臺I上的基板W—面使輪片12e與平臺I中的一者或兩者移動，由此，可在X-Y方向上對基板W進行刻劃而形成刻劃槽或進行切斷。
[0063]此外，在基板加工裝置A的平臺I的附近設置有:載置架16，載置收納刀片保持具12的多個刀片保持具收納體15 ;及機械手17，從刀片保持具收納體15中拔出刀片保持具12并安裝在刻劃頭10的保持具接頭13上，或從保持具接頭13卸除刀片保持具12。
[0064]圖2是表示刀片保持具12的一例的圖，圖2 (a)是前視圖，圖2 (b)是側視縱剖視圖，圖2(c)是立體圖。刀片保持具12包含:大致圓柱狀的主體部12a ;及一對平坦面12b、12b，相對于主體部12a的軸心平行且相互對稱地形成在主體部12a的一端(下端);此外，在這一對平坦面12b、12b之間，沿著主體部12a的軸心形成有與該平坦面12b平行地形成的切槽12c。在該切槽12c內，經由相對于主體部12a的軸心正交的輪軸12d，以使輪片12e的一部分從主體部12a的下端面露出的狀態旋轉自如地安裝有輪片12e。在平坦面12b中的一個面上，如下所述標印有記錄著安裝在該刀片保持具12上的輪片12e的直徑或種類等管理上有用的刀片固有的數據的代碼12i。
[0065]而且，在主體部12a的另一端(上端)，設置有安裝在保持具接頭13時用于定位的安裝部12f。安裝部12f包含切削主體部12a而形成的平面部12g與傾斜面12h。平面部12g是與主體部12a的軸心平行，且與位于下方的一對平坦面12b正交。而且，安裝部12f是由鐵等磁性金屬所構成。[0066]此外，在一對平坦面12b、12b的下端部分，分別設置有從平坦面12b突出的一根銷12J0該銷12j優選的是配置在平坦面12b、12b的旋轉對稱位置或左右對稱位置。如下所述，銷12j作為利用機械手17從刀片保持具收納體15中拔出刀片保持具12時的卡扣件發揮作用。另外，銷12j在各平坦面上各設置有一根，但也可以設置多根。而且，也可以省略任一個平坦面12b的銷12j。
[0067]在主體部12a的外周面且為安裝部12f的相反側，設置有在主體部12a的軸心方向上延伸的滑槽12k。該滑槽12k是與形成于下述的刀片保持具收納體15的收納孔內面上的凸條15s相嵌合。該滑槽12k的一端與切槽12c相連。
[0068]如圖3及圖4所示，安裝在刻劃頭10的保持具接頭13在上部設有軸承13a，且下部成為保持刀片保持具12的保持部13b。在保持部13b上設置有朝向下方開口的剖面大致圓形的開口部13c，在其內部深處部安裝有磁鐵13e。此外，在開口部13c的內部，設置有在開口部13c的與軸心相離的部位沿著與該軸心垂直的方向延伸的定位用平行銷13d。該平行銷13d是在刀片保持具12已插入于開口部13c時，與刀片保持具12的傾斜面12h (參照圖2)接觸而將刀片保持具12的姿勢定位在固定方向上。在本發明的情況下，以輪片12e的旋轉移行方向與刻劃方向一致的方式進行定位。
[0069]在將刀片保持具12安裝在保持具接頭13上時，如圖3所示，將刀片保持具12從其安裝部12f插入于保持具接頭13的開口部13c而進行安裝。如果安裝部12f插入于保持具接頭13的開口部13c，那么與刀片保持具12的傾斜面12h接觸而定位，并且刀片保持具12的上端部被磁鐵13e磁性吸附而得到保持。由此，可以刀片保持具12的姿勢朝向固定方向的狀態簡單地安裝在保持具接頭13上。在更換輪片12e時，抵抗磁鐵13e的磁力而拉拔刀片保持具12，與刀片保持具一并進行更換。
[0070]圖5是表示收納刀片保持具12的刀片保持具收納體15的一例的分解立體圖，圖6是收納著刀片保持具12的狀態的剖視圖。刀片保持具收納體15包含貫通于前后的剖面大致圓形的收納孔15a，且包含具有平坦底面15y的弓形主體15b、將收納孔15a的前開口部閉合的前部罩蓋15c、及將后開口部閉合的后部罩蓋15d。收納孔15a形成為其軸心與底面15y平行。在弓形主體15b上，設置有與收納孔15a的前開口部的下緣相連且向前方延伸的平坦的下方前突部15e。
[0071]在將刀片保持具12收納在刀片保持具收納體15的收納孔15a中時，從收納孔15a的后開口部最先插入輪片12e。在進行該插入時，為了使刀片保持具12的設有代碼12i的平坦面12b成為與弓形主體15b的底面15y平行且始終朝上的姿勢，而在收納孔15a的內面形成有供刀片保持具12的滑槽12k嵌合的凸條15s。因為刀片保持具12的滑槽12k的一端是與切槽12c相連地形成，所以在將刀片保持具12插入于收納孔15a時，切槽12c可成為導件而嵌入于凸條15s，從而使插入操作變得容易。而且，在用手將刀片保持具12插入于收納孔15a的情況下，如果在使安裝部12f的平面部12g朝上的狀態下將大拇指放在平面部12g，并將食指放在180°相反側的滑槽12k的附近，以用兩手指夾持的方式捏住刀片保持具12并將其插入于收納孔15a，那么操作效率提高。
[0072]前部罩蓋15c是由具有彈性的合成樹脂材料一體成形，且包含與弓形主體15b的底面15y進行面接觸的平板狀部15f、及與弓形主體15b的頂部周面進行面接觸的圓弧狀上蓋15g，板狀部15f與圓弧狀上蓋15g由前壁15h連結。在板狀部15f的上表面，朝向上方突出地設置有具有傘狀頭部15k的彈性止動部15i，在弓形主體15b的前開口部的附近形成有用來供彈性止動部15i從底面15y插通的貫通孔15j。
[0073]在將彈性止動部15i插通于貫通孔15j時，首先，如圖7(a)所示，傘狀頭部15k受壓縮而進入，如果穿過貫通孔15j，那么如圖7(b)所示般傘狀頭部15k恢復成原形并擴大，從而無法從貫通孔15j拔出。彈性止動部15i的傘狀頭部15k的尺寸被預先設定為:在該姿勢下，從弓形主體15b的收納孔15a的內周面向內側略微突出。此外，為了在將彈性止動部15i插通于貫通孔15j之后，能夠將該彈性止動部15i保留而將前部罩蓋15c去除，而在彈性止動部15i附近的板狀部15f上設置有脆弱的切取線15η。而且，在圓弧狀上蓋15g的下表面形成有彈性卡合于設置在弓形主體15b的上周面上的卡合槽15p的突起部15q(參照圖6)，在突起部15q的相反側、也就是在圓弧狀上蓋15g的上表面設置有用來解除突起部15q的卡合的捏取片15r。
[0074]從切取線15η切取而保留在弓形主體15b上的彈性止動部15i是作為止動部發揮功能，該止動部是如圖6所示，在收納孔15a所收納的刀片保持具12的平坦面12b從收納孔15a的前開口部露出的位置，暫時制止刀片保持具12的前進。也就是說，刀片保持具12的與平坦面12b鄰接的肩部12m抵接于彈性止動部15i的傘狀頭部15k而在彈性止動部15i的彈性變形的范圍內被制止前進。而且，如圖7(d)所示，形成為如果抵抗彈性止動部15i的彈性力而將刀片保持具12從前開口部向拉出方向強有力地拉拽，那么彈性止動部15i會傾倒而允許刀片保持具12的行進。在此情況下，為了能夠使彈性止動部15i傾倒，而使貫通孔15j形成為具有充足的空間。另外，肩部12m優選的是如圖所示的傾斜面或圓弧，但只要可抵抗彈力而越過傘狀頭部15k，也可以為大致直角的邊緣。
[0075]后部罩蓋15d是由具有彈性的合成樹脂材料一體成形，形成于罩蓋內面的上下的突起部15t彈性卡合于設置在弓形主體15b的外周面的上下的卡合槽15u而裝卸自如地安裝。
[0076]前部罩蓋15c是用來在刀片保持具12已收納在刀片保持具收納體15內時防止刀片保持具12從前開口部脫落、并且保護輪片12e的刀尖的罩蓋，在前壁15h的內面形成有供輪片12e的刀尖嵌入的凹部(參照圖6)。而且，后部罩蓋15d是用來防止刀片保持具12從收納孔15a的后開口部脫落的罩蓋。
[0077]圖8(a)是表示止動部的其他實施例。在該實施例中，代替所述彈性止動部15i,而形成有利用彈性卡止爪15v來限制刀片保持具12的前進的止動部。彈性卡止爪15v以受到彈簧15w的上推方向的彈力的狀態而安裝在刀片保持具收納體15的弓形主體15b上。彈性卡止爪15v的前端是以斜面朝向刀片保持具12的肩部12m的傾斜面形成，但也可以為圓弧。該實施例中的前部罩蓋15c'是從所述實施例中所例示的前部罩蓋15c去除彈性止動部15i所得的構造，且通過相互彈性嵌合的卡合槽15p'及突起部15q'而裝卸自如地安裝在收納孔15a的前開口部。而且，在前壁15h的內面，與前部罩蓋15c同樣地形成有供輪片12e的刀尖嵌入的凹部。而且，在收納孔15a的后開口部，與所述實施例同樣地裝卸自如地安裝有后部罩蓋15d。
[0078]而且，也可以代替所述后部罩蓋15d，而如圖8(b)所示般在收納孔15a的后開口部附近設置具有與彈性卡止爪15v相同的構成的彈性卡止爪15x，以避免刀片保持具12從收納孔15a的后開口部脫落。彈性卡止爪15x的前端也以斜面朝向后開口部的傾斜面形成，以容易供刀片保持具12插入且難以脫落，但也可以為圓弧。
[0079]在所述實施例中，例示了在各刀片保持具收納體15中收納I個刀片保持具12的示例，但也可以如圖9所示般收納多個、例如5?10個刀片保持具12。在此情況下，為了防止后續的刀片保持具12的輪片12e抵觸前方的刀片保持具12的尾部而使刀尖受損，優選的是在刀片保持具12的尾部(圖2中的上端面)設置供刀尖嵌入的凹部12p。
[0080]所述刀片保持具收納體15準備有多個，按照種類將包含種類不同的輪片12e的刀片保持具12加以區分，并收納在各刀片保持具收納體15中，在工廠內等處加以保管。而且，在使用時，以已卸除前部罩蓋15c的狀態整齊排列地配置在基板加工裝置A的載置架16上。
[0081]圖10是表示使多個、例如3個刀片保持具收納體15整齊排列地載置的載置架16、及設置在該載置架的附近的機械手17的立體圖。
[0082]在該實施例中，載置架16包含將刀片保持具收納體15的平坦底面15y作為載置面而載置的3塊架板16a。在各架板16a上，以將刀片保持具收納體15所收納的刀片保持具12的平坦面12b以從架板16a的前端緣16b突出的狀態保持的方式，在架板周緣部設置有周圍框16c。而且，自前端緣16b側觀察時各架板16a是呈階梯狀地組裝。
[0083]機械手17包含:機械臂17a，前端具有夾持爪17b ;及讀取器17c，安裝在該機械臂17a上且讀取設置在刀片保持具12的平坦面12b上的代碼12i。機械臂17a是以如下方式構成:其前端的夾持爪17b從側面夾著從刀片保持具收納體15露出的刀片保持具12的一對平坦面12b、12b而拉出。這時，因為各架板16a呈階梯狀地組裝，所以不會受其他刀片保持具12的妨礙而可抓住目標的刀片保持具12而將其拉出，并且，因為各刀片保持具12的代碼12i在平面上不重疊，所以可從上方由讀取器17c容易且正確地讀取各刀片保持具12的代碼12i。
[0084]而且,在利用夾持爪17b從側面夾著一對平坦面12b、12b而拉出時,各平坦面12b的銷12j、12j成為相對于拉拔方向的對夾持爪17b的卡扣件，從而可確實且順利地拉出。這時，因為銷12j配置在各平坦面12b、12b上，所以可相對于拉出方向而平衡性良好地卡住夾持爪17b，從而可順利地拉出刀片保持具12。而且，從刻劃頭的保持具接頭13(參照圖3)拔出的情況也相同。
[0085]載置架16的多個架板16a也可以如圖11所示般形成為:在同一平面上越是位于靠近機械手17的側的架板16a，越以前端緣16b后退的方式各自向后方錯開。由此，與所述呈階梯狀地組裝的實施例同樣地，在利用機械臂17a的夾持爪17b拉出刀片保持具12時，不會受其他刀片保持具12的妨礙而可抓住目標的刀片保持具12而將其拉出，并且容易從上方由機械臂17a的讀取器17c讀取各刀片保持具12的代碼12i。
[0086]所述載置架16的架板16a優選的是，如圖12所示般以前端緣16b成為下方的方式傾斜地形成。由此，在利用機械臂17a從刀片保持具收納體15拉拔刀片保持具12時，可利用因自身重量所產生的滑動效果而輕松地拉出。特別是在將圖9中所示的收納多個刀片保持具12的刀片保持具收納體15載置在架板16a上的情況下，優選的是以刀片保持具12因自身重量而前進的程度而預先對架板16a設定傾斜角。由此，如果拉出前方的刀片保持具12，那么后續的刀片保持具12可因自身重量而前進并在止動部位置等待下次的拉出。
[0087]當利用圖1的基板加工裝置開始刻劃時，首先，將基板W載置并保持在平臺I上。繼而，利用設置在橋部8上的2臺C⑶相機18、18，如圖13所示般對基板上的左右2個部位的定位用對準標記M1、M2進行檢測。在使將這時的對準標記連結的直線S相對于將2臺CCD相機18、18連結的基準直線L傾斜的情況下，利用旋轉驅動部2使平臺I旋轉且以傾斜角成為O的方式進行修正。而且，對應于預先設定的刻劃開始位置的輪片12e均由C⑶相機18進行檢測。如果向Y方向偏移，那么使平臺I移動與其偏移量相當的量。而且，如果向X方向偏移，那么使刻劃頭10向X方向移動與其偏移量相當的量。該X-Y方向的偏移的校正或基板的傾斜角的修正是如圖14的方塊圖所示般，通過附帶的電腦19的控制部20而進行。
[0088]在圖14的方塊圖中，來自2臺CCD相機18的輸出被提供給電腦19的控制部20。控制部20基于校正值來使平臺旋轉驅動部2運行從而使平臺I旋轉，并以所述傾斜角成為O的方式進行修正。而且，X-Y方向的偏移的校正也是通過驅動各驅動部21、22而進行。在校正結束后，驅動刀片保持具升降驅動部23而使刀片保持具12下降，一面將輪片12e按壓于基板W—面使輪片12e與平臺I中的一者或兩者移動，由此，于X-Y方向上對基板W進行刻劃而形成刻劃槽。這時使用的輪片12e的移行距離記錄在數據保持部24中，如果達到輪片12e的更換時期，那么以告警(alarm)等顯示。
[0089]在刀片保持具12的代碼12i中記錄有以下數據。該代碼也可以使用一維碼、例如條形碼，但優選的是可在狹小的面積內輸入較多的信息的二維碼。二維碼是直接標印而形成的，但也可以黏附標簽。數據的輸入是利用附帶的電腦進行的，除個體識別用的編號、刀尖的形態或直徑等輪片固有的規格以外，也記錄有與以下所說明的“外切” “內切”等刻劃方式或刻劃的配方相符合的型式編號等。
[0090]利用輪片刻劃基板W的方法有“外切”與“內切”，可根據基板的種類或用途而選擇性地區分使用。“外切”是如圖15(a)所示，在使輪片12e的最下端下降到比基板W的表面(上表面)略靠下方的狀態下，設定在基板W的端緣的外側位置(刻劃開始位置)。繼而，使輪片12e從所設定的位置起水平移動，碰撞到基板端部之后越過端部，并且，一面以指定的刻劃壓力按壓一面進行水平移動而進行刻劃。另一方面，“內切”是如圖15(b)所示，使輪片12e從基板的端緣起從上方下降到內側(刻劃開始位置)，并以指定的刻劃壓力抵接在基板上，一面按壓一面進行水平移動而進行刻劃。將該“外切”時的自基板端緣到刻劃開始位置為止的的距離設為“ + ”值，將“內切”時的自基板端緣到刻劃開始位置為止的距離設為值，將段階性地區分這些數值的“外切” “內切”的各種刻劃配方預先輸入設定在電腦19中，可利用配方選擇按鈕25選擇。例如可以如下方式自多個選項選擇配方:在“外切”時“ + ”值為2mm的情況下選擇(Al)的按鈕，在“內切”時值為2mm的情況下成為(A5)的按鈕。
[0091]在輪片12e移行指定的移行距離而達到更換時期時、或需要更換成其他規格的輪片12e時，在基板加工裝置A停止之后，通過機械手17進行輪片12e的更換。機械手17將具有應更換的輪片12e的刀片保持具12從保持具接頭13卸除并移到另外準備的收納箱中之后，通過安裝在機械臂17a上的讀取器17c讀取儲存在刀片保持具收納體15中的刀片保持具12的代碼12i，而選擇適當的刀片保持具12并拔出，且將其安裝在保持具接頭13上。
[0092]而且，因為在電腦19中記載有適合于所選擇的各個配方的輪片12e的型式編號，所以僅通過選擇預先輸入設定在電腦19中的配方的選擇按鈕25，便可更換成適合于配方的刀片保持具12。也就是說，如果利用選擇按鈕25選擇配方，那么可決定適合于所選擇的配方的刀片保持具12，且使機械臂17a移動到載置在載置架16上的刀片保持具收納體15，由讀取器17c讀取刀片保持具12的代碼12i而從刀片保持具收納體15中拔取較佳的刀片保持具12。所拔取的刀片保持具12安裝在刻劃頭10的保持具接頭13上，按照電腦中所預先設定的配方自動地刻劃。所以，可以消除每當設定配方時操作人員需要選擇適合于該配方的刀片保持具12這一繁雜程序。
[0093]以上，已對本發明的代表性實施例進行了說明，但本發明并非限定于所述實施形態，而可在達成其目的且不脫離權利要求的范圍內適當進行修正、變更。
[0094][工業上的可利用性]
[0095]本發明可利用于通過一面將輪片按壓于基板的表面一面進行刻劃而對基板加工出切斷用劃線或進行切斷的基板加工裝置。
【權利要求】
1.一種刀片保持具，其包含安裝在基板加工裝置的刻劃頭上的主體部、平行于該主體部的軸心而形成在該主體部的一端的一對平坦面、與該一對平坦面平行地形成在該一對平坦面之間的切槽、及安裝在該切槽的輪片，且在所述一對平坦面中的至少一個面的下端設置著從平坦面突出的至少一根銷。
2.根據權利要求1所述的刀片保持具，其中所述銷分別設置在所述一對平坦面上。
【文檔編號】B28D1/24GK103507172SQ201310199663
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年5月27日 優先權日:2012年6月29日
【發明者】高松生芳, 三浦善孝, 富永圭介 申請人:三星鉆石工業股份有限公司