自鎖式真空艙門啟閉裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種自鎖式真空艙門啟閉裝置，包含：一框架、一驅動缸、一橫桿、至少一第一桿件、至少一旋動桿件、至少一調整座、至少一第二桿件、至少一滑動塊以及至少一閥桿，上述該等組件相互樞接以形成連桿組機構，且該閥桿可供連接于一真空艙的閥門；藉此，該驅動缸可帶動上述組件產生連桿動作，以使閥桿帶動閥門于一開啟位置以及一閉鎖位置間切換，并于該閉鎖位置時自動產生一鎖固力量，以抵抗閥門的反向作用力，防止閥門因驅動缸動力不足等因素，而造成真空艙失去真空密閉的意外。
【專利說明】自鎖式真空艙門啟閉裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型與真空艙的閥門啟閉裝置有關，更詳而言之，乃特指一種除可帶動閥門于一開啟位置以及一閉鎖位置間切換外，更可于閉鎖位置時自動產生一鎖固力量的自鎖式真空艙門啟閉裝置。
【背景技術】
[0002]晶圓、TFT IXD玻璃基板于制程中常需于真空環境下處理，一般多于一可抽真空的真空艙內進行，真空艙通常包含有一可開啟/關閉的閥門，該閥門由一啟閉裝置驅動動作，當閥門開啟時加工物件可自閥門進出真空艙，加工物件送入真空艙后，則關閉閥門使真空艙呈現密封狀況后，再進行抽氣動作使真空艙內產生真空狀態。
[0003]習知的啟閉裝置大多由一氣壓缸或油壓缸直接或透過齒條、齒輪等傳動機構后，驅動閥門與真空艙密合。然而，當閥門與真空艙密合后，為保持真空艙的氣密效果，氣壓缸或油壓缸需持續以氣壓或油壓將閥門抵緊于真空艙，以防止閥門與真空艙失去密合。然而，機器經使用一段時間后，難免會出現磨損問題，尤其氣壓缸或油壓缸容易因為管路問題而出現氣壓/油壓不足，而導致閥門與真空艙失去密合、無法維護真空狀態。
[0004]與真空艙門啟閉裝置相關的前案如中國TW430012號專利，一種真空艙門的啟閉機構，其主要包含有一框架、一第一汽缸、一第二汽缸及一閥門，該第一汽缸固定于該框架上，該第二汽缸固定于該第一汽缸，該第二汽缸可相對該第一汽缸上下運動，該閥門與第二汽缸間設有一杠桿組。該第一汽缸推動第二汽缸及閥門向上，使閥門對正該真空艙門，再驅動第二汽缸縮回，使該杠桿組帶動該閥門水平推向該真空艙門，而確實將該真空艙門加以密合。但此一專利閥門需要產生垂直及水平兩段動作，會延長動作時間及增加結構體積、成本。
[0005]此外，CN101787834B號專利，一種臥式艙的艙門啟閉裝置，在艙體開口端外側壁的設置多組自動鎖緊機構動作，以達到將艙門與艙體鎖緊的目的。但此一專利需要分別驅動、控制艙門啟閉裝置以及自動鎖緊機構，亦非完美解決的方案。
實用新型內容
[0006]本實用新型的目的在于解決上述習用技術產生的缺失與不便之處，提供一種自鎖式真空艙門啟閉裝置，利用多個組件所組成的連桿機構來驅動閥門于一開啟位置以及一閉鎖位置間切換，并可于閉鎖位置時自動產生一鎖固力量以抵抗閥門的反向作用力，防止閥門因驅動缸動力不足等因素，而造成真空艙失去真空密閉的意外。
[0007]為實現上述目的，本實用新型公開了一種自鎖式真空艙門啟閉裝置，其特征在于包含:
[0008]一框架，其為以一座體、兩側框及一邊框所組成的中空框體；
[0009]一驅動缸，其設置于該座體處，且具有一可活動伸出縮入的驅動軸；
[0010]一橫桿，其設置于該驅動軸的一端處；[0011]至少一第一桿件,其一端樞接于該橫桿的一端處；
[0012]至少一旋動桿件，其上設有呈三角形分布的第一樞孔、第二樞孔及第三樞孔，其中，該第一樞孔供第一桿件相對于橫桿的另一端樞接；
[0013]至少一調整座，其連接于該邊框處，以樞接于該第二樞孔；
[0014]至少一第二桿件，其一端樞接于第三樞孔；
[0015]至少一滑動塊，其可滑動地設置于該側框處，并與該第二桿件相對于第三樞孔的另一端樞接；以及
[0016]至少一閥桿，該閥桿一端連接于該滑動塊，另一端連接于一真空艙的一閥門以使閥桿帶動該閥門于一開啟位置以及一閉鎖位置間切換。
[0017]其中，該兩側框分別設于座體的兩端處，而該邊框設于側框相對于座體的另一端處。
[0018]其中，該驅動缸的驅動軸往邊框方向產生伸出動作，而往座體方向產生縮入動作。
[0019]其中，該旋動桿件與第二桿件于閉鎖位置時該第二樞孔及第三樞孔所呈的直線與第二桿件軸心于第一桿件側的夾角為170度?190度。
[0020]其中，該旋動桿件與第二桿件于閉鎖位置時該第二樞孔及第三樞孔所呈的直線與第二桿件軸心呈一直線排列且平行于驅動缸軸心。
[0021]其中，該調整座與邊框間設有一調整調整座與邊框的距離的調整螺件。
[0022]其中，該調整螺件的軸心平行于驅動軸軸心。
[0023]其中，該滑動塊以一滑動件設置于側框處，且該滑動件的軸心平行于驅動軸軸心。
[0024]其中，該滑動件為一線性滑軌。
[0025]其中，該閥門具有一門框架及一門板，該門框架連接于座體相對于驅動缸的另一偵牝該門框架內設有一平行于驅動軸軸心方向的滑動槽，以及一穿設過該滑動槽的開口，該閥桿連接于該門板且該門板受閥桿的帶動于滑動槽內移動以使門板于閉鎖位置時密封于該開口而于開啟位置時使該開口開啟。
[0026]通過上述結構可知，本實用新型的自鎖式真空艙門啟閉裝置實現了如下技術效果:
[0027]1、當驅動缸驅動閥門至閉鎖位置時，該第二樞孔及第三樞孔所呈的直線于第一樞孔側的夾角為170度?190度。較佳者，該第二樞孔及第三樞孔所呈的直線與第二桿件軸心呈一直線排列，且平行于驅動缸軸心。使得閥門欲產生反向開啟動作時，反作用力由閥桿、滑動塊、第二桿件、旋動桿件以及調整座直線傳導至框架處承受，而防止各組件及閥門產生動作，以達到自動鎖固閥門的目的，免除驅動缸于閉鎖位置時需額外動力鎖固的問題。
[0028]2、滑動塊位移時可確保沿平行于驅動軸軸心順暢滑動，而增進各組件間的位移順暢效果，以及位移的精密度。
[0029]3、調整座與邊框間設有一調整螺件，可活動改變調整座與邊框的距離，以因應不同的閥門尺寸，調整動作行程。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0030]圖1:為本實用新型啟閉裝置的立體外觀組合圖。
[0031]圖2:為本實用新型啟閉裝置的立體外觀分解圖。[0032]圖3:為本實用新型啟閉裝置的局部立體外觀分解圖。
[0033]圖4:為本實用新型的開啟位置實施狀態平面示意圖。
[0034]圖5:為圖4的局部放大示意圖。
[0035]圖6:為本實用新型的閉鎖位置實施狀態平面示意圖。
[0036]圖7:為圖6的局部放大示意圖。
【具體實施方式】
[0037]為便于說明本實用新型于上述
【發明內容】
一欄中所表示的中心思想，茲以具體實施例表達。實施例中各種不同物件按適于說明的比例、尺寸、變形量或位移量而描繪，而非按實際元件的比例予以繪制，合先敘明。且以下的說明中，類似的元件是以相同的編號來表
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[0038]如圖1?圖4所示，本實用新型一種自鎖式真空艙門啟閉裝置，包含:
[0039]一框架10，其為以一座體11、兩側框12及一邊框13所組成的中空框體；其中，該兩側框12分別設于座體11的兩端處，而該邊框13設于側框12相對于座體11的另一端處。
[0040]一驅動缸20，其設置于該座體11處，且其具有一可活動伸出縮入的驅動軸21，該驅動缸20可為一般習知的氣壓缸或油壓缸；其中，該驅動缸20的驅動軸21往邊框13方向產生伸出動作，而往座體11方向產生縮入動作。
[0041]—橫桿30,其設置于該驅動軸21的一端處,而與該驅動軸21軸心呈垂直方向。
[0042]至少一第一桿件40，其一端樞接于該橫桿30的一端處。
[0043]至少一旋動桿件50，其上設有呈三角形分布的第一樞孔51、第二樞孔52及第三樞孔53,其中，該第一樞孔51供第一桿件40相對于橫桿30的另一端樞接。
[0044]至少一調整座60，其連接于該邊框13處，以供該第二樞孔52樞接；其中，該調整座60與邊框13間設有一調整螺件61，且該調整螺件61的軸心平行于驅動軸21軸心，可活動改變調整座60與邊框13的距離。
[0045]至少一第二桿件70，其一端樞接于該旋動桿件50的第三樞孔53處。
[0046]至少一滑動塊80，其可滑動地設置于該側框12處，并與該第二桿件70相對于第三樞孔53的另一端樞接；其中，該滑動塊80以一滑動件81設置于側框12處，該滑動件81可為一線性滑軌，而該滑動件81的軸心平行于驅動軸21軸心。以及
[0047]至少一閥桿90，該閥桿90 —端連接于該滑動塊80，另一端可供連接于一真空艙的閥門100，以使閥桿90可帶動該閥門100于一開啟位置以及一閉鎖位置間切換。
[0048]再者，該閥門100具有一門框架101及一門板102，該門框架101連接于座體11相對于驅動缸20的另一側，該門框架101內設有一平行于驅動軸21軸心方向的滑動槽103，以及一穿設過該滑動槽103的開口 104，且該閥桿90穿設過該座體11而連接于該門板102，使該門板102可受閥桿90的帶動于滑動槽103內移動，以使門板102于閉鎖位置時密封于該開口 104，而于開啟位置時使該開口 104開啟。
[0049]其中，該旋動桿件50與第二桿件70于閉鎖位置時，該第二樞孔52及第三樞孔53所呈的直線A與第二桿件70軸心B于第一樞孔51側的夾角Θ為170度?190度。較佳的實施例中，該旋動桿件50與第二桿件70于閉鎖位置時，該第二樞孔52及第三樞孔53所呈的直線A與第二桿件70軸心B呈一直線排列，且平行于驅動缸20軸心。[0050]且較佳的實施例中，該第一桿件40、旋動桿件50、調整座60、第二桿件70、滑動塊80及閥桿90為成對設置，且以該驅動缸20為對稱軸心對稱設置。
[0051]明了上述本實用新型詳細結構后，以下針對本實用新型的動作原理逐一詳細說明:
[0052]如圖4及圖5所示，于開啟位置時，該驅動缸20的驅動軸21往邊框13方向產生伸出動作，而該閥桿90透過橫桿30、第一桿件40、旋動桿件50、調整座60、第二桿件70及滑動塊80的連桿動作，帶動門板102于滑動槽103內往座體11的方向移動，進而使門板102與開口 104呈開啟狀態。
[0053]反之,如圖6及圖7所示,欲由開啟位置切換至閉鎖位置時,該驅動缸20的驅動軸21往座體11方向產生縮入動作，透過該旋動桿件50的第一樞孔51受橫桿30及第一桿件40的拉動，而以第二樞孔52與調整座60的樞接處為軸心轉動，使第二桿件70將滑動塊80往座體11方向壓動，而使滑動塊80沿滑動件81帶動閥桿90往門框架101位移，進而使門板102與開口 104呈密合狀態。
[0054]當驅動缸20驅動閥門100至閉鎖位置時，該第二樞孔52及第三樞孔53所呈的直線A與第二桿件70軸心B于第一樞孔51側的夾角Θ為170度?190度。更甚者，該旋動桿件50與第二桿件70于閉鎖位置時，該第二樞孔52及第三樞孔53所呈的直線A與第二桿件70軸心B呈一直線排列，且平行于驅動缸20軸心。使得閥門100的門板102因反向作用力等因素欲往反向移動時，該反作用力由閥桿90、滑動塊80、第二桿件70、第二樞孔52以及調整座60直線傳導至框架10的邊框13處承受，而防止各組件及閥門100產生動作，以達到自動鎖固閥門100的目的，免除驅動缸20于閉鎖位置時需額外動力鎖固的問題。即使驅動缸20或管路發生泄漏或力量不足時，閥門100也不會松動、破壞真空艙的真空效果。
[0055]由以上詳細說明，可使熟知本項技藝者明了本實用新型確實與習用的技術截然不同，具有相當的新穎性。且本實用新型具有習用技術所無法預期的功效，實已符合專利核準的積極要件，爰依法提出專利申請。
[0056]雖本實用新型是以一較佳實施例作說明，但精于此技藝者能在不脫離本實用新型精神與范疇下作各種不同形式的改變。以上所舉實施例僅用以說明本實用新型而已，非用以限制本實用新型的范圍。舉凡不違本實用新型精神所從事的種種修改或變化，俱屬本實用新型意欲保護的范疇。
【權利要求】
1.一種自鎖式真空艙門啟閉裝置，其特征在于包含: 一框架,其為以一座體、兩側框及一邊框所組成的中空框體； 一驅動缸，其設置于該座體處，且具有一可活動伸出縮入的驅動軸； 一橫桿，其設置于該驅動軸的一端處； 至少一第一桿件，其一端樞接于該橫桿的一端處； 至少一旋動桿件，其上設有呈三角形分布的第一樞孔、第二樞孔及第三樞孔，其中，該第一樞孔供第一桿件相對于橫桿的另一端樞接； 至少一調整座，其連接于該邊框處，以樞接于該第二樞孔； 至少一第二桿件，其一端樞接于第三樞孔； 至少一滑動塊，其可滑動地設置于該側框處，并與該第二桿件相對于第三樞孔的另一端樞接；以及 至少一閥桿，該閥桿一端連接于該滑動塊，另一端連接于一真空艙的一閥門以使閥桿帶動該閥門于一開啟位置以及一閉鎖位置間切換。
2.如權利要求1所述的自鎖式真空艙門啟閉裝置，其特征在于，該兩側框分別設于座體的兩端處，而該邊框設于側框相對于座體的另一端處。
3.如權利要求2所述的自鎖式真空艙門啟閉裝置，其特征在于，該驅動缸的驅動軸往邊框方向產生伸出動作，而往座體方向產生縮入動作。
4.如權利要求1所述的自鎖式真空艙門啟閉裝置，其特征在于，該旋動桿件與第二桿件于閉鎖位置時該第二樞孔及第三樞孔所呈的直線與第二桿件軸心于第一桿件側的夾角為170度?190度。
5.如權利要求1所述的自鎖式真空艙門啟閉裝置，其特征在于，該旋動桿件與第二桿件于閉鎖位置時該第二樞孔及第三樞孔所呈的直線與第二桿件軸心呈一直線排列且平行于驅動缸軸心。
6.如權利要求1所述的自鎖式真空艙門啟閉裝置，其特征在于，該調整座與邊框間設有一調整調整座與邊框的距離的調整螺件。
7.如權利要求6所述的自鎖式真空艙門啟閉裝置，其特征在于，該調整螺件的軸心平行于驅動軸軸心。
8.如權利要求1所述的自鎖式真空艙門啟閉裝置，其特征在于，該滑動塊以一滑動件設置于側框處，且該滑動件的軸心平行于驅動軸軸心。
9.如權利要求8所述的自鎖式真空艙門啟閉裝置，其特征在于，該滑動件為一線性滑軌。
10.如權利要求1所述的自鎖式真空艙門啟閉裝置，其特征在于，該閥門具有一門框架及一門板，該門框架連接于座體相對于驅動缸的另一側，該門框架內設有一平行于驅動軸軸心方向的滑動槽，以及一穿設過該滑動槽的開口，該閥桿連接于該門板且該門板受閥桿的帶動于滑動槽內移動以使門板于閉鎖位置時密封于該開口而于開啟位置時使該開口開啟O
【文檔編號】E05B51/02GK203547286SQ201320692543
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年11月5日 優先權日:2013年11月5日
【發明者】蔡環宇 申請人:新萊應材科技有限公司