一種機械手臂葉板的制作方法

一種機械手臂葉板的制作方法
【專利摘要】本申請公開了一種機械手臂葉板，包括葉板和承載座，所述葉板為至少設有一個以上之定位孔薄板片，其各定位孔內徑中設有內凸環；所述承載座為可供嵌入定位孔的彈性橡膠材質本體，該本體上端設有向上開口的吸附盤，該吸附盤中央設有透氣孔，所述本體下端外環中設有內凹環，可供嵌入各定位孔的內凸環，形成內嵌式公母扣固設計；由此，能確保提升晶圓片可快速穩定精準傳遞運輸性。
【專利說明】一種機械手臂葉板
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及機械手臂葉板，尤其涉及一種具有內嵌式晶片承載座的機械手臂葉板。
【背景技術】
[0002]晶圓片的生產與制作屬極為精密的加工技術，故其通常需借助各種特殊功能的機械手臂來進行運輸傳遞等作業，然一般晶圓片制造過程也須由真空腔體中進行制程堆疊制造，其真空腔體中需由非真空吸附機械手臂運送轉移制程，其傳輸過程中僅由晶圓片本身重力及金屬表面的摩擦力使之固定，為保持原有統晶圓片定位精度及預防統晶圓片掉落的可能，非真空吸附機械手臂運送轉移速度必須十分緩慢來維持精準度，而導致機臺生產效率不高。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的是在于提供一種機械手臂葉板，能確保提升晶圓片可快速穩定精準傳遞運輸性。
[0004]根據本實用新型的一個方面，提供一種機械手臂葉板，包括葉板和承載座，所述葉板為至少設有一個以上之定位孔薄板片，其各定位孔內徑中設有內凸環；所述承載座為可供嵌入定位孔的彈性橡膠材質本體，該本體上端設有向上開口的吸附盤，該吸附盤中央設有透氣孔，所述本體下端外環中設有內凹環，可供嵌入各定位孔的內凸環，形成內嵌式公母扣固設計。
[0005]本實用新型結構簡單、使用方便，能確保提升晶圓片可快速穩定精準傳遞運輸性。【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1是本實用新型一種機械手臂葉板的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0007]下面結合【專利附圖】

【附圖說明】，對本實用新型作進一步詳細說明。
[0008]如圖1所示，一種機械手臂葉板，包括葉板I及承載座2所組成；葉板I為薄板片，且至少設有四個定位孔12A、12B、12C、12D，各定位孔內徑中設有內凸環13。承載座2為可供嵌入定位孔的彈性橡膠材質本體，該本體上端設有向上開口的吸附盤21，其吸附盤中央鑿設有透氣孔211，此外本體下端外環中設有內凹環23，可供嵌入各定位孔的內凸環13。
[0009]綜上所述，本實用新型結構簡單、使用方便，能確保提升晶圓片可快速穩定精準傳遞運輸性。
[0010]以上所述僅是本實用新型的一種實施方式，應當指出，對于本領域普通技術人員來說，在不脫離本實用新型創造構思的前提下，還可以做出若干相似的變形和改進，這些也應視為本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種機械手臂葉板，其特征在于:包括葉板和承載座，所述葉板為至少設有一個以上之定位孔薄板片，其各定位孔內徑中設有內凸環；所述承載座為可供嵌入定位孔的彈性橡膠材質本體，該本體上端設有向上開口的吸附盤，該吸附盤中央設有透氣孔，所述本體下端外環中設有內凹環，可供嵌入各定位孔的內凸環，形成內嵌式公母扣固設計。
【文檔編號】B25J15/06GK203650533SQ201320895963
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2013年12月28日 優先權日:2013年12月28日
【發明者】吳新平 申請人:吳新平