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一種安裝密封圈的治具的制作方法

文檔序號:41198565發布日期:2025-03-11 13:25閱讀:62來源:國知局

本技術涉及機械設備,特別涉及一種安裝密封圈的治具。


背景技術:

1、在半導體制造過程中需要多種設備,有些設備在維護保養或發生故障時,需要更換設備內部的o型密封圈(oring,o型密封圈)。例如,如圖1和圖2所示,對晶圓進行低溫氮化處理的爐管設備,該設備中設置有多個噴嘴3(inject,噴嘴),在設備維護保養或發生故障時,每個噴嘴3上的o型密封圈1均需要更換,由于設備內部的空間很小,需要借助治具2才能更換o型密封圈1。

2、如圖1和圖2所示,治具2的一端設置有用于放置o型密封圈1的凹槽。在安裝o型密封圈1時,需要將o型密封圈1放在治具2的凹槽內,然后作業人員手持治具2,將o型密封圈1推到噴嘴3上。

3、然而,如圖2所示,在安裝o型密封圈1時,o型密封圈1容易在治具2的凹槽內移動或傾斜,此時如果繼續推動治具2,容易造成o型密封圈1因受不規則力擠壓而損壞;如果o型密封圈1從治具2的凹槽內脫落,需重新放置o型密封圈1再安裝,安裝效率較低。


技術實現思路

1、本實用新型提供了一種安裝密封圈的治具,以解決密封圈在安裝密時容易損壞和密封圈安裝效率較低的技術問題。

2、為解決上述技術問題,本實用新型提供了一種安裝密封圈的治具,包括主體、脫離機構和固定機構;

3、所述主體包括筒體和活動桿;所述筒體的一端向內凹陷形成一具有開口的柱形的空腔,所述筒體的另一端開設有與所述空腔連通的第一通孔;所述活動桿貫穿所述第一通孔并且沿所述空腔的軸向方向設置;所述活動桿的一端設置在所述空腔外,另一端設置在所述空腔內;

4、所述脫離機構的一端與所述活動桿的另一端連接,所述脫離機構的另一端設置有多個間隔分布的推桿;

5、所述固定機構的一端與所述筒體的一端連接,所述固定機構的另一端設置有環形的凸臺;所述凸臺和所述固定機構的一端之間設置有第二通孔;所述推桿貫穿對應的所述第二通孔,所述推桿沿平行于所述筒體的軸向方向的長度大于所述第二通孔沿平行于所述筒體的軸向方向的長度。

6、可選的,所述脫離機構的一端與所述活動桿的另一端之間可拆卸式連接。

7、可選的,所述脫離機構的一端與所述活動桿的另一端之間通過螺栓可拆卸式連接。

8、可選的,所述固定機構的一端與所述筒體的一端連接之間可拆卸式連接。

9、可選的,所述固定機構的一端與所述筒體的一端連接之間通過螺紋可拆卸式連接。

10、可選的,所述治具還包括復位彈簧,所述復位彈簧套在所述活動桿上并且設置在所述第一通孔和所述脫離機構之間。

11、可選的,所述推桿的數量為四個。

12、可選的,四個所述推桿沿圓周方向均勻分布在所述脫離機構的另一端上,所述凸臺的形狀為圓筒形。

13、可選的,所述活動桿的一端設置有把手。

14、可選的,所述把手的形狀為圓盤形。

15、本實用新型提供了一種安裝密封圈的治具,包括主體、脫離機構和固定機構,主體包括筒體和活動桿,活動桿可以驅動脫離機構沿筒體的軸向方向往復移動。固定機構上設置有用于固定密封圈的凸臺,可以防止密封圈移動或傾斜。活動桿驅動脫離機構向固定機構的一側移動時,推桿可以將密封圈從凸臺推到要安裝的部件上。意想不到的效果是在安裝密封圈時,有效防止密封圈損壞或掉落,并且明顯提高密封圈的安裝效率,進而提高設備維護和解決故障的效率。



技術特征:

1.一種安裝密封圈的治具,其特征在于,包括主體、脫離機構和固定機構;

2.如權利要求1所述的一種安裝密封圈的治具,其特征在于,所述脫離機構的一端與所述活動桿的另一端之間可拆卸式連接。

3.如權利要求2所述的一種安裝密封圈的治具,其特征在于,所述脫離機構的一端與所述活動桿的另一端之間通過螺栓可拆卸式連接。

4.如權利要求2所述的一種安裝密封圈的治具,其特征在于,所述固定機構的一端與所述筒體的一端連接之間可拆卸式連接。

5.如權利要求4所述的一種安裝密封圈的治具,其特征在于,所述固定機構的一端與所述筒體的一端連接之間通過螺紋可拆卸式連接。

6.如權利要求1所述的一種安裝密封圈的治具,其特征在于,所述治具還包括復位彈簧,所述復位彈簧套在所述活動桿上并且設置在所述第一通孔和所述脫離機構之間。

7.如權利要求1所述的一種安裝密封圈的治具,其特征在于,所述推桿的數量為四個。

8.如權利要求7所述的一種安裝密封圈的治具,其特征在于,四個所述推桿沿圓周方向均勻分布在所述脫離機構的另一端上,所述凸臺的形狀為圓筒形。

9.如權利要求1所述的一種安裝密封圈的治具,其特征在于,所述活動桿的一端設置有把手。

10.如權利要求9所述的一種安裝密封圈的治具,其特征在于,所述把手的形狀為圓盤形。


技術總結
本技術提供了一種安裝密封圈的治具,包括主體、脫離機構和固定機構;主體包括筒體和活動桿;筒體的一端向內凹陷形成一具有開口的柱形的空腔,筒體的另一端開設有與空腔連通的第一通孔;活動桿貫穿第一通孔并且沿空腔的軸向方向設置;活動桿的一端設置在空腔外,另一端設置在空腔內;脫離機構的一端與活動桿的另一端連接,脫離機構的另一端設置有多個間隔分布的推桿;固定機構的一端與筒體的一端連接,固定機構的另一端設置有環形的凸臺;凸臺和固定機構的一端之間設置有第二通孔;推桿貫穿對應的第二通孔,推桿的長度大于第二通孔的長度。該治具可以有效防止密封圈損壞或掉落,并且明顯提高密封圈的安裝效率。

技術研發人員:關敬龍,王曉輝,王晨輝,張平,顧小強
受保護的技術使用者:合肥晶合集成電路股份有限公司
技術研發日:20240220
技術公布日:2025/3/10
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