專利名稱：一種帶通濾光片的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及光學薄膜濾光片領域，特別涉及20nm帶寬以上的帶通干涉濾光 片的設計和制作。
背景技術：
眾所周知，干涉濾光片是種類多、結構復雜的一種光學薄膜，其主要功能是分割光 譜帶。最常見的干涉濾光片包括截止濾光片和帶通濾光片。截止濾光片可以把光譜區分成 兩部分，一部分不允許光通過的稱為截止區，另一部分要求光充分通過的稱為帶通區。其 中，按照通帶在光譜區的位置又可分為長波通和短波通二種。 帶通濾光片的傳統制作方法是采用直接監控模式，即監控片同時也是產品，這樣 才能獲得良好的光譜特性。 然而，目前國內外很多鍍膜設備并不配備直接監控的光學系統，在鍍制帶通濾光 片時存在一定的局限性，成品率較低。
實用新型內容鑒于現有技術中存在的上述問題，本實用新型的發明目的在于提供一種帶通濾光
片，其可以利用配備間接監控光學系統的鍍膜設備普遍適合于鍍制干涉截止濾光片的特
點，利用長波通和短波通干涉截止膜系進行疊加，可以獲得良好的光譜特性。 為了實現本實用新型的上述目的，本實用新型提供了一種帶通濾光片，所述帶通
濾光片的膜系結構為:(HL)—m H. 5L(HL)—n. 5H，其中，m， n為整數，H為高折射率材料，L為低
折射率材料。 根據本實用新型的技術構思，其中所述m為l，n為1。 根據本實用新型的技術構思，其中所述m為2，n為2。 根據本實用新型的技術構思，其中所述m為3，n為3。 根據本實用新型的技術構思，其中所述m為4， n為4。 根據本實用新型的技術構思，其中所述高折射率材料為1102，低折射率材料為 Si02。 與現有技術相比，本實用新型具有的優點和有益效果在于，本實用新型可以通過 設計軟件進行優化獲得合適的帶寬和峰值透過率等，并通過長波通和短波通截止膜系來構 造帶寬20nm以上的帶通濾光片，降低了帶通濾光片對光學監控系統的要求，能夠普遍的在 鍍膜設備上實現，并可以獲得好的光譜特性。
圖1為本實用新型帶通濾光片第 圖2為本實用新型帶通濾光片第 圖3為本實用新型帶通濾光片第
3
一優選實施例的橫截面示意圖 二優選實施例的橫截面示意圖 三優選實施例的橫截面示意圖[0016] 圖4為本實用新型帶通濾光片第四優選實施例的橫截面示意圖。
具體實施方式
下面將結合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步說明。 參見圖1至圖4，本實用新型提供了一種帶通濾光片，所述帶通濾光片的膜系結構 為(HL)—m H,5L(HL)—n.5H，其中，m，n為整數，H為高折射率材料，L為低折射率材料。其中， m和n的數值可以通過設計軟件進行優化以獲得合適的帶寬和峰值透過率。 圖1示出了本實用新型帶通濾光片第一優選實施例的橫截面示意圖。在第一優選 實施例中，膜系結構中的m為l，n為1。如圖l所示，根據本實用新型帶通濾光片第一優選 實施例的膜系結構包括按順序排列的1層高折射率材料、1層低折射率材料、1層高折射率 材料、5層低折射率材料、1層高折射率材料、1層低折射率材料和5層高折射率材料。 圖2示出了本實用新型帶通濾光片第二優選實施例的橫截面示意圖。在第二優選 實施例中，膜系結構中的m為2，n為2。如圖2所示，根據本實用新型帶通濾光片第二優選 實施例的膜系結構包括按順序排列的1層高折射率材料、1層低折射率材料、1層高折射率 材料、1層低折射率材料、1層高折射率材料、5層低折射率材料、1層高折射率材料、1層低折 射率材料、1層高折射率材料、1層低折射率材料和5層高折射率材料。 圖3示出了本實用新型帶通濾光片第三優選實施例的橫截面示意圖。在第三優選 實施例中，膜系結構中的m為3，n為3。如圖3所示，根據本實用新型帶通濾光片第三優選 實施例的膜系結構包括按順序排列的1層高折射率材料、1層低折射率材料、1層高折射率 材料、1層低折射率材料、1層高折射率材料、1層低折射率材料、1層高折射率材料、5層低 折射率材料、1層高折射率材料、1層低折射率材料、1層高折射率材料、1層低折射率材料、1 層高折射率材料、1層低折射率材料和5層高折射率材料。 圖4示出了本實用新型帶通濾光片第四優選實施例的橫截面示意圖。在第四優選 實施例中，膜系結構中的m為4，n為4。如圖4所示，根據本實用新型帶通濾光片第四優選 實施例的膜系結構包括按順序排列的1層高折射率材料、1層低折射率材料、1層高折射率 材料、1層低折射率材料、1層高折射率材料、1層低折射率材料、1層高折射率材料、1層低 折射率材料、1層高折射率材料、5層低折射率材料、1層高折射率材料、1層低折射率材料、 1層高折射率材料、1層低折射率材料、1層高折射率材料、1層低折射率材料、1層高折射率 材料、1層低折射率材料和5層高折射率材料。 根據本實用新型的優選方案，本實用新型的帶通濾光片中所使用的高折射率材料 可以為1102，低折射率材料可以為Si02。 要注意的是，雖然圖1至圖4中示出的是m和n可以分別為1、2、3或者4，但是本 實用新型并不以此為限，而是可以根據實際情況進行調整。 以上所述的僅為本實用新型的較佳可行實施例，所述實施例并非用以限制本實用 新型的專利保護范圍，因此凡是運用本實用新型的說明書及附圖內容所作的等同結構變 化，同理均應包含在本實用新型的保護范圍內。
權利要求一種帶通濾光片，其特征在于，所述帶通濾光片的膜系結構為(HL)^m H.5L(HL)^n.5H，其中，m，n為整數，H為高折射率材料，L為低折射率材料。
2. 根據權利要求l所述的帶通濾光片，其特征在于，所述m為l，n為1。
3. 根據權利要求1所述的帶通濾光片，其特征在于，所述m為2， n為2。
4. 根據權利要求1所述的帶通濾光片，其特征在于，所述m為3， n為3。
5. 根據權利要求1所述的帶通濾光片，其特征在于，所述m為4， n為4。
6. 根據權利要求1所述的帶通濾光片，其特征在于，所述高折射率材料為Ti(^，低折射 率材料為Si02。
專利摘要本實用新型公開了一種帶通濾光片，所述帶通濾光片的基本膜系結構為(HL)^mH.5L(HL)^n.5H，其中，m，n為整數，H為高折射率材料，L為低折射率材料。本實用新型利用配備間接監控光學系統的鍍膜設備普遍適合于鍍制干涉截止濾光片的特點，利用長波通和短波通干涉截止膜系進行疊加，可以獲得良好的光譜特性。
文檔編號B32B17/06GK201440173SQ200920109518
公開日2010年4月21日 申請日期2009年6月30日 優先權日2009年6月30日
發明者馬志亮 申請人:北京京儀博電光學技術有限責任公司