圖案形成裝置及圖案形成方法

圖案形成裝置及圖案形成方法
【專利摘要】本發明提供圖案形成裝置及圖案形成方法。通過框緣狀下載物臺（61）吸附保持橡皮布，并且通過能夠分別單獨地升降的多個手部（625）支撐橡皮布的中央部的局部。使轉印輥單元（64）沿著橡皮布的下表面移動來托起橡皮布的局部，從而使橡皮布抵接于橡皮布的上方所配置的版或者基板上。隨著轉印輥單元（64）移動，使手部（625）依次下降來向下方退避，從而避免該手部（625）與轉印輥單元（64）發生干涉。
【專利說明】圖案形成裝置及圖案形成方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及通過版對擔載于橡皮布上的圖案形成材料進行圖案成形，或者將所形成的圖案轉印至基板來形成圖案的圖案形成裝置以及圖案形成方法。
【背景技術】
[0002]存在如下在玻璃基板、半導體基板等基板上形成圖案的技術，S卩，使擔載有圖案的橡皮布緊貼于基板上來將圖案轉印至基板。另外，存在如下使圖案擔載于橡皮布上的技術，SP，使版(負片版(negative plate))壓力接觸由圖案形成材料形成在橡皮布表面上的均勻的膜上，使該膜中的不需要的部分附著于版上來除去，從而僅將成為圖案的部分留在橡皮布上來進行圖案形成(圖案成形)。
[0003]作為這樣的一個技術，例如將日本特開平07-125179號公報所記載的印刷技術應用于圖案轉印中。例如在日本特開2002-036499號公報所記載的技術中，將向一個方向賦予張力來架設在機架上的版以相對于基板傾斜的狀態配置在基板的上方，通過沖壓輥將版從一端部依次按壓于基板上，然后剝離版，從而將版上的圖案轉印至基板。
[0004]在上述現有技術中，版和基板的對位精度有改進的余地。即，在上述技術中，為了使輥抵接，需要以使版的上表面開放的狀態保持版，為了防止版因自重而彎曲從而與基板發生接觸的情況，必須使版和基板之間的初始空隙大到某種程度。因此，在從該狀態下使兩者接近來按壓的過程中容易產生位置偏移。另外，在基板和版接近的一端側能夠進行對位，但是在另一端側不能進行對位，另外，從一端依次按壓的過程中，可能使位置偏移逐漸變大。

【發明內容】

[0005]本發明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供如下技術，即，在使版或者基板與橡皮布抵接來進行圖案形成的圖案形成裝置以及圖案形成方法中，能夠使版或者基板與橡皮布以高的位置精度抵接。
[0006]本發明的圖案形成裝置，為了達到上述目的，具有:第一保持單元，具有多個分別與橡皮布的下表面的局部抵接的局部支撐部，多個所述局部支撐部以一面上擔載有圖案形成材料的所述橡皮布的所述圖案形成材料的擔載面朝上的方式在下表面側與所述橡皮布相抵接，從而將所述橡皮布支撐為水平姿勢；第二保持單元，將用于對所述圖案形成材料進行圖案成形的版或者要被轉印圖案的基板作為處理對象物，以使該處理對象物與被所述第一保持單元保持的所述橡皮布的上表面接近且相向的方式，保持該處理對象物；托起構件，從所述橡皮布的下表面側局部地托起所述橡皮布中央部的有效區域，來使所述有效區域與被所述第二保持單元保持的所述處理對象物相抵接，而且沿著所述橡皮布的下表面移動來使所述橡皮布的托起位置發生變化；升降單元，能夠使多個所述局部支撐部分別單獨地升降。
[0007]在這樣構成的發明中，從以相向的方式配置在處理對象物(版或者基板)的下方的橡皮布的下表面側局部托起橡皮布，從而使橡皮布抵接于處理對象物。在這樣的結構中，在保持上側所配置的處理對象物時，不受到特別的限制，因此能夠在抑制彎曲的狀態下保持。另一方面，配置于下側的橡皮布在中央部開放的狀態下，可能因自重而向下方彎曲。因此，在本發明中，使局部支撐部從橡皮布的下表面抵接于橡皮布的中央部的局部。由此，能夠防止橡皮布彎曲并維持水平姿勢。
[0008]因此，與現有技術相比，能夠使處理對象物和橡皮布更加接近，將兩者之間的間隙設定為極其小的值。另外，能夠使處理對象物和橡皮布以彼此平行的方式配置。因此，能夠在這樣使兩者接近的狀態下進行對位，并且在接近的狀態下托起橡皮布來使其抵接于處理對象物的相對移動量小，因此還能夠將它們之間的位置偏移抑制得小。
[0009]多個局部支撐部能夠分別單獨地升降，因此能夠彼此獨立地與橡皮布分離或抵接。因此，能夠使隨著托起構件移動而可能成為該托起構件移動的障礙的局部支撐部與橡皮布分離并退避，不會使局部支撐部干涉托起構件的移動。
[0010]從這一點來說，根據本發明，能夠使作為處理對象物的版或者基板與橡皮布以高的位置精度相抵接。此外，這里所說的處理對象物和橡皮布之間的抵接是指如下概念，即，包含隔著擔載于橡皮布的擔載面的圖案材料使兩者相抵接的情況。
[0011]例如能夠在局部支撐部分別與橡皮布的下表面抵接的狀態下，隨著托起構件移動而使局部支撐部分別依次下降。更具體地說，例如多個局部支撐部能夠沿著托起構件的移動方向排列，升降單元以沿著托起構件的移動方向的順序使局部支撐部下降。這樣能夠在托起構件未到達的位置上通過局部支撐部支撐橡皮布，另一方面，隨著托起構件接近，使局部支撐部下降，從而能夠避免托起構件和局部支撐部發生干涉。
[0012]另外，例如也可以使托起構件將橡皮布的下表面的在一個軸方向上比有效區域的長度長的區域一同托起；使局部支撐部分別在將軸方向作為長度方向延伸設置的抵接面與橡皮布相抵接。通過將比有效區域的長度長的區域一同托起，能夠在軸方向上以均勻的按壓力將橡皮布按壓于處理對象物上。此時，在將與托起構件的軸方向一致的方向作為長度方向的抵接面，局部支撐部與橡皮布相抵接，有效地防止在沿著軸方向的方向上橡皮布彎曲的情況，從而能夠抑制橡皮布彎曲。
[0013]在該情況下，例如還可以具有:支撐構件，具有支撐部和腳部，所述支撐部在軸方向上沿著托起構件延伸設置，該支撐部用兩端部支撐托起構件且托起構件能夠自由旋轉，腳部從支撐部的軸方向上的中央部向下方延伸，移動機構，使支撐構件沿著與軸方向相垂直的方向移動；一對局部支撐部以沿著軸方向排列且彼此分離的方式配置，并且成對的所述局部支撐部沿著與軸方向相垂直的方向排列配置有多對；支撐構件的腳部在成對的局部支撐部之間的空隙經過。在這樣的結構中，能夠一邊通過支撐構件支撐托起構件并托起構件能夠自由旋轉，一邊使上述腳部在不與下降的局部支撐部發生干涉的情況下移動。
[0014]另外，例如也可以使第一保持單元具有保持框，該保持框以使橡皮布的有效區域的下方開放的狀態，保持橡皮布的有效區域的外側的周緣部；在橡皮布的被保持框保持的周緣部的內側，多個所述局部支撐部抵接于橡皮布的下表面。通過保持橡皮布周緣部，能夠使橡皮布更接近水平姿勢。另外，通過保持框保持周緣部，從而即使在局部支撐部分離時也能夠抑制橡皮布在水平方向上的變位。
[0015]另外，本發明的圖案形成方法，為了達到上述目的，包括:第一工序，以使一面上擔載有圖案形成材料的橡皮布的所述圖案形成材料的擔載面朝上的方式，使能夠彼此獨立地升降的多個局部支撐部分別與所述橡皮布的下表面的局部相抵接，從而將所述橡皮布支撐為水平姿勢，第二工序，將用于對所述圖案形成材料進行圖案成形的版或者要被轉印圖案的基板作為處理對象物，以使該處理對象物的下表面和所述橡皮布的所述擔載面隔開規定的間隙接近的方式，相向配置所述處理對象物和所述橡皮布，第三工序，使托起構件與所述橡皮布的下表面抵接，通過該托起構件托起所述橡皮布的局部，從而使該橡皮布與所述處理對象物相抵接，使所述托起構件沿著所述橡皮布的下表面移動；在所述第三工序中，隨著所述托起構件移動，使所述局部支撐部依次下降來與所述橡皮布分離。
[0016]在這樣構成的發明中，與上述圖案形成裝置同樣地，在使橡皮布和處理對象物平行且隔開微小間隙相向的狀態下，使橡皮布和處理對象物進行少量相對移動就能夠使它們相抵接，因此能夠使橡皮布和處理對象物以高的位置精度相抵接。
[0017]在本發明中，例如也可以在第一工序中，多個局部支撐部沿著托起構件的移動方向排列，在第三工序中，以沿著托起構件的移動方向的順序使局部支撐部下降。另外，例如也可以在第一工序中，以沿著與托起構件的移動方向相垂直的方向排列的方式配置一對局部支撐部，并且以沿著移動方向排列且彼此分離的方式配置多對局部支撐部；在第三工序中，隨著托起構件移動，使彼此成對的局部支撐部一體下降。通過上述結構發揮的作用效果與上述圖案形成裝置同樣。
[0018]另外，例如也可以在第三工序中，在托起構件與橡皮布相抵接的抵接位置和一個局部支撐部與橡皮布相抵接的抵接位置之間的距離小于規定值時，使該局部支撐部下降。在與托起構件抵接的抵接位置分離的位置上，橡皮布可能因自重而彎曲，因此通過局部支撐部支撐對維持姿勢是有效的。另一方面，在與托起構件抵接的抵接位置相接近的位置，由于托起構件本身發揮從下方支撐橡皮布的作用，因此通過局部支撐部支撐的必要性低。因此，能夠根據該局部支撐部與橡皮布相抵接的抵接位置和托起構件與橡皮布相抵接的抵接位置之間的距離，來決定使各局部支撐部下降的時機。這樣，能夠一邊可靠地防止局部支撐部和托起構件發生接觸，一邊還抑制橡皮布彎曲。
[0019]另外，例如也可以在第一工序中，通過保持框保持橡皮布的周緣部，并且在橡皮布的被保持框保持的周緣部的內側，使多個局部支撐部抵接于橡皮布的下表面；在第三工序中，一邊維持通過保持框保持橡皮布周緣部的狀態，一邊使局部支撐部下降。通過保持橡皮布周緣部，能夠使橡皮布更接近水平姿勢。另外，通過保持框保持周緣部，即使在局部支撐部分離時也能夠抑制橡皮布在水平方向上的變位。
[0020]根據本發明，通過多個局部支撐部支撐橡皮布的中央部的局部，從而能夠將橡皮布維持為水平姿勢，因此能夠使作為處理對象物的版或者基板與橡皮布以平行且接近的方式相向配置。因此，使抵接時的位置偏移小，能夠使作為處理對象物的版或者基板與橡皮布以高的位置精度抵接。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1是示出本發明的圖案形成裝置的第一實施方式的立體圖。
[0022]圖2是示出該圖案形成裝置的控制系統的框圖。
[0023]圖3是示出下載物臺部的結構的立體圖。[0024]圖4是示出升降手單元的結構的圖。
[0025]圖5是示出轉印輥單元的結構的圖。
[0026]圖6是示出上載物臺組件的結構的圖。
[0027]圖7是示出圖案形成處理的流程圖。
[0028]圖8A至SC是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關系的圖。
[0029]圖9A至9C是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關系的圖。
[0030]圖1OA以及IOB是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關系的圖。
[0031]圖1lA至IlC是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關系的圖。
[0032]圖12A至12C是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關系的圖。
[0033]圖13A至13C是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關系的圖。
[0034]圖14是示出版或者基板與橡皮布之間的位置關系的圖。
[0035]圖15A至15C是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部的位置關系的圖。
[0036]圖16A以及16B是示出橡皮布和轉印輥以及手部之間的位置關系的圖。
[0037]圖17是示出橡皮布和轉印輥以及手部之間的位置關系的圖。
[0038]圖18是示出本發明的圖案形成裝置的第二實施方式的主要部分的圖。
[0039]圖19A以及19B是示出支撐手機構的詳細結構及其動作的圖。
[0040]圖20A以及20B是示出橡皮布支承構件的更詳細結構的圖。
[0041]圖2IA以及2IB是示出橡皮布支承構件和基板以及橡皮布之間的位置關系的圖。
[0042]圖22A至22C是示意性地示出第二實施方式的圖案形成處理的各階段中的裝置各部的位置關系的第一圖。
[0043]圖23A至23D是示意性地示出第二實施方式的圖案形成處理的各階段中的裝置各部的位置關系的第二圖。
[0044]其中，附圖標記說明如下:
[0045]1:圖案形成裝置
[0046]41:上載物臺(第二保持單元)
[0047]61:下載物臺(保持框、第一保持單元)
[0048]623:滑動基座(升降單元)
[0049]624、628:升降機構(升降單元)
[0050]625:手部(局部支撐部、第一保持單元)
[0051]625a:(手部625的)上表面(抵接面)
[0052]641:轉印輥(托起構件)
[0053]642:支撐機架(支撐部)
[0054]644a:基座部(移動機構)
[0055]644b:支撐腳(腳部、支撐構件)
[0056]647:移動機構(移動機構)
[0057]PP:版(處理對象物)
[0058]SB:基板(處理對象物)
[0059]S101、S103、S104:第二工序
[0060]S102、S108:第一工序[0061]S105、S112:第三工序
[0062]S107、S109、SllO:第二工序
【具體實施方式】
[0063]<第一實施方式>
[0064]圖1是示出本發明的圖案形成裝置的第一實施方式的立體圖。另外，圖2是示出該圖案形成裝置的控制系統的框圖。此外，在圖1中，為了示出裝置的內部結構而示出除去外部蓋的狀態。為了使各圖中的方向統一，如圖1右下方所示那樣設定XYZ正交坐標軸。在此,XY平面表示水平面,Z軸表示鉛垂軸。更詳細地,+Z方向表示鉛垂朝上方向。在從裝置觀察時的前表面方向為-Y方向，包括搬入搬出物品等從外部訪問裝置的動作是沿著Y軸方向進行的。
[0065]該圖案形成裝置I的結構為，在主機架2上安裝有上載物臺部4以及下載物臺部
6。在圖1中，為了明確地區分各部，對上載物臺部4標注間距大的點，另外對下載物臺部6標注間距更小的點。除了上述結構之外，圖案形成裝置I還具有控制單元7 (圖2)，該控制單元7根據預先存儲的處理程序控制裝置各部來執行規定的動作。對于上載物臺部4以及下載物臺部6的詳細結構，在后面進行說明，首先，對裝置I的整體結構進行說明。
[0066]圖案形成裝置I是通過使被下載物臺部6保持的橡皮布BL和被上載物臺部4保持的版PP或者基板SB相互抵接來形成圖案的裝置。更具體地說，通過該裝置I進行的圖案形成工序，如下所述。首先，使與要形成的圖案相對應地制作的版PP，與均勻地涂敷有圖案形成材料的橡皮布BL抵接，由此對橡皮布BL所擔載的涂敷層進行圖案成形(圖案成形處理)。然后，通過使這樣進行了圖案成形的橡皮布BL和基板SB抵接，將橡皮布BL所擔載的圖案轉印至基板SB (轉印處理)。由此，在基板SB上形成所希望的圖案。
[0067]這樣，該圖案形成裝置I能夠應用于在基板SB上形成規定的圖案的圖案形成工序中的圖案成形處理以及轉印處理中，但是也可以以僅負責這些處理中的一種處理的方式來使用。
[0068]圖案形成裝置I的下載物臺部6被主機架2的基座機架21支撐。另一方面，上載物臺部4安裝在一對上載物臺支撐機架22、23上，一對上載物臺支撐機架22、23以在X方向夾持下載物臺部6的方式從基座機架21立起設置，并且沿著Y方向延伸。
[0069]另外，主機架2上安裝有用于檢測要搬入裝置內的基板SB和橡皮布BL的位置的預定位攝像頭。具體地說，用于在不同的3處檢測沿著Y軸方向搬入裝置內的基板SB的邊緣的3臺基板用預定位攝像頭241、242、243，分別安裝在從上載物臺支撐機架22、23立起設置的懸臂上。同樣地，用于在不同的3處檢測沿著Y軸方向搬入裝置內的橡皮布BL的邊緣的3臺橡皮布用預定位攝像頭244、245、246，分別安裝在從上載物臺支撐機架22、23立起設置的懸臂上。此外，在圖1中，未表示位于上載物臺部4的背后的一臺橡皮布用預定位攝像頭246。另外，在圖2中，將基板用預定位攝像頭簡稱為“基板用PA攝像頭”，將橡皮布用預定位攝像頭間稱為“橡皮布用PA攝像頭”。
[0070]圖3是示出下載物臺部的結構的立體圖。在下載物臺部6中，在中央部開口的板狀定位載物臺601的四角，沿著鉛垂方向(Z方向)分別立起設置有支柱602，通過這些支柱602來支撐載物臺支撐板603。雖然省略圖示，但是在定位載物臺601的下部6設置有例如交叉棍支撐導軌(Cross roller bearing)等定位載物臺支撐機構605 (圖2),該定位載物臺支撐機構605具有將沿著鉛垂方向Z延伸的旋轉軸作為旋轉中心的旋轉方向(下面，稱為“Θ方向”)、X方向以及Y方向這3個自由度。定位載物臺601通過該定位載物臺支撐機構605安裝在基座機架21上。因此，通過定位載物臺支撐機構605的動作，能夠使定位載物臺601相對于基座機架21在規定的范圍內在X方向、Y方向以及Θ方向上移動。
[0071]在載物臺支撐板603的上部配置有環狀矩形下載物臺61，該下載物臺61的上表面為大致與水平面一致的平面，在中央部形成有開口窗611。在下載物臺61的上表面上載置有橡皮布BL，下載物臺61保持該橡皮布BL。
[0072]開口窗611的開口尺寸需要大于橡皮布BL的表面區域中的、有效發揮圖案形成區域的功能的中央部的有效區域(未圖示)的平面尺寸。即，在將橡皮布BL載置于下載物臺61時，需要使橡皮布BL下表面的、與有效區域相對應的整個區域與開口窗611相面對，使有效區域的下方處于完全開放的狀態。另外，由圖案形成材料形成的涂敷層形成為至少覆蓋整個有效區域。
[0073]在下載物臺61的上表面61a上，以分別沿著開口窗611的周緣各邊的方式設置有多個槽612。各槽612經由未圖示的控制閥與控制單元7的負壓供給部704相連接。各槽612配置在平面尺寸小于橡皮布BL的平面尺寸的區域內。并且，如在圖中用單點劃線所示，橡皮布BL以將這些槽612全部覆蓋的方式載置于下載物臺61上。另外，為了能夠實現，在下載物臺上表面61a上恰當配置有用于限制橡皮布BL的位置的擋止構件613。
[0074]通過向各槽612供給負壓，使各槽612發揮真空吸附槽的功能，這樣將橡皮布BL的周緣部的四邊吸附保持在下載物臺61的上表面61a上。通過由相互獨立的多個槽612構成真空吸附槽，即使因某些原因而一部分槽中產生真空破壞,也能夠通過其它槽來維持對橡皮布BL進行吸附。因此，能夠可靠地保持橡皮布BL。另外，與設置單獨的槽的情況相t匕，能夠用強的吸附力吸附橡皮布BL。
[0075]在下載物臺61的開口窗611的下方設置有:升降手單元62、63，其用于使橡皮布BL沿著Z軸方向進行上下移動；轉印輥單元64，其從下方與橡皮布BL抵接來托起該橡皮布BL0
[0076]圖4是示出升降手單元的結構的圖。由于兩個升降手單元62、63的結構相同，因此在此僅對一個升降手單元62的結構進行說明。升降手單元62具有從基座機架21沿著Z方向立起設置的兩個支柱621、622。板狀滑動基座623以能夠進行上下移動的方式安裝在支柱621、622上。更具體地說，在兩個支柱621、622上分別安裝有沿著鉛垂方向(Z方向)延伸的導軌6211、6221。安裝在滑動基座623的背面即+Y側主面上的未圖示的滑塊以能夠自由滑動的方式安裝在導軌6211、6221上。并且，例如具有馬達以及滾珠螺桿機構等恰當的驅動機構的升降機構624，根據來自控制單元7的控制指令使滑動基座623進行上下移動。
[0077]在滑動基座623上以能夠自由進行上下移動的方式安裝有多個(在該例子中為4個)手部625。就各手部625的結構而言，除了根據配設位置不同而基座部分的形狀不同之夕卜，基本相同。各手部625固定在以能夠自由滑動的方式與導軌626相卡合的滑塊627上，該導軌626沿著鉛垂方向(Z方向)安裝在滑動基座623的前表面即-Y側主面上。滑塊627與升降機構628相連接，該升降機構628安裝在滑動基座623的背面上，例如具有無桿缸體等恰當的驅動機構。通過該升降機構628的動作，使滑塊627相對于滑動基座623沿著上下方向移動。在各手部625上分別設置有獨立的升降機構628，從而能夠使各手部625分別單獨地進行上下移動。
[0078]g卩，在升降手單元62中，升降機構624使滑動基座623進行上下移動，從而能夠使各手部625 —體地進行升降，并且通過使各升降機構628獨立地進行動作，能夠使各手部分別單獨地進行升降。
[0079]手部625的上表面625a被加工成將Y方向作為長度方向的細長平面狀,該上表面625a能夠與橡皮布BL的下表面抵接來支撐橡皮布BL。另外，在上表面625a上設置有吸附孔625b，該吸附孔625b經由未圖示的配管以及控制閥與設置在控制單元7上的負壓供給部704相連通。由此，根據需要向附孔625b供給來自負壓供給部704的負壓，從而能夠在手部625的上表面625a上吸附保持橡皮布BL。因此，能夠防止用手部625支撐橡皮布BL時的滑動。
[0080]另外，根據需要，經由未圖示的配管以及控制閥向吸附孔625b供給來自控制單元7的氣體供給部706的恰當的氣體，例如干燥空氣、非活性氣體等。即，通過由控制單元7控制各控制閥的開閉，選擇性地向吸附孔625b供給來自負壓供給部704的負壓以及來自氣體供給部706的氣體。
[0081]在向吸附孔625b供給來自氣體供給部706的氣體時，從吸附孔625b噴出少量的氣體。由此，在橡皮布BL的下表面和手部上表面625a之間形成微小的間隙,手部625處于從下方支撐橡皮布BL且與橡皮布BL下表面分離的狀態。因此，能夠一邊通過各手部625支撐橡皮布BL，一邊使橡皮布BL在不與各手部625滑動接觸的情況下沿著水平方向移動。此外，也能夠在手部上表面625a上設置與吸附孔625b不同的另外的氣體噴出孔。
[0082]返回圖3，在下載物臺部6中，具有上述那樣的結構的升降手單元62、63以手部625朝內并在Y方向上相面對的方式相向配置。在各手部625下降至最低位置的狀態下，手部上表面625a位于下載物臺上表面61a的下方，即向-Z方向大幅度后退的位置。另一方面，在各手部625上升至最高位置的狀態下，各手部625的前端處于從下載物臺61的開口窗611向上方突出的狀態。此時，手部上表面625a到達至下載物臺上表面61a的上方，SP向+Z方向突出的位置。
[0083]另外，在從上方觀察時，在兩個升降手單元62、63的相互面對的手部625的前端彼此之間設置有一定的間隔，它們不會接觸。另外，如下面所述那樣，利用該間隙來使轉印輥單元64沿著X方向移動。
[0084]圖5是示出轉印輥單元的結構的圖。轉印輥單元64具有轉印輥641、支撐機架642、升降機構644。轉印輥641是沿著Y方向延伸的圓筒狀輥構件。支撐機架642沿著轉印棍641的下方在Y方向上延伸，用支撐機架642的兩端部支撐以轉印棍641能夠自由旋轉的方式支撐轉印輥641。升降機構644具有恰當的驅動機構，使支撐機架642沿著Z方向上下移動。轉印輥641不與旋轉驅動機構連接，而進行自由旋轉。另外，在支撐機架642上設置有支撐輥643，該支撐輥643從下方與轉印輥641的表面抵接來防止轉印輥641彎曲。
[0085]轉印輥641的Y方向上的長度小于下載物臺61的開口窗611的四邊中的、沿著Y方向的邊的長度，即小于開口窗611的Y方向上的開口尺寸。且，轉印輥641的Y方向上的長度大于被后述上載物臺保持的版PP或者基板SB沿著Y方向上的長度。橡皮布BL中的、作為圖案形成區域而有效的有效區域的長度，當然小于等于版PP或者基板SB的長度，因此在Y方向上，轉印輥641比有效區域長。
[0086]升降機構644具有:基座部644a ;支撐腳644b，其從該基座部644a向上方延伸，且與支撐機架642的Y方向上的中央附近相連接。通過馬達或者缸體等恰當的驅動機構，能夠使支撐腳644b相對于基座部644a進行上下移動。基座部644a以能夠自由滑動的方式安裝在沿著X方向延伸設置的導軌646上，而且與例如具有馬達以及滾珠螺桿機構等恰當的驅動機構的移動機構647相連接。導軌646沿著X方向延伸設置，安裝于固定在基座機架21上的下部機架645的上表面上。通過移動機構647動作，轉印輥641、支撐機架642以及升降機構644 —體地沿著X方向移動。
[0087]在后面詳細敘述，但是在該圖案形成裝置I中，使轉印輥641與被下載物臺61保持的橡皮布BL抵接，來局部托起橡皮布BL。由此，使橡皮布BL與被上載物臺保持且接近橡皮布BL來與橡皮布BL相向配置的版PP或者基板SB相抵接。
[0088]升降機構644經過升降手單元62、63的相互面對的手部625所產生的間隙來移動。另外，各手部625的上表面625a能夠向-Z方向后退至轉印輥單元64的支撐機架642的下表面的下方。因此，通過在該狀態下使升降機構644移動，使轉印輥單元64的支撐機架642通過各手部625的上表面625a的上方。由此，能夠避免轉印輥單元64和手部625碰撞的情況。
[0089]接著，對于上載物臺部4的結構進行說明。如圖1所示，上載物臺部4具有:上載物臺組件40，其為沿著X方向延伸的結構體；一對支撐柱45、46，其用于支撐上載物臺組件40 ;升降機構47，其使整個上載物臺組件40沿著Z方向進行升降移動。支撐柱45、46分別從上載物臺支撐機架22、23立起設置，分別支撐上載物臺組件40的X方向上的兩端部。另夕卜，升降機構47例如具有馬達以及滾珠螺桿機構等恰當的驅動機構。
[0090]圖6是示出上載物臺組件的結構的圖。上載物臺組件40具有:上載物臺41 ;加固機架42，其設置在上載物臺41的上部；梁狀結構體43 ;上部吸附單元44，其安裝在上載物臺41上。上載物臺41能夠在下表面保持版PP或者基板SB。梁狀結構體43與加固機架42相結合，且沿著X方向水平延伸。如圖6所示，上載物臺組件40的形狀為關于包括上載物臺組件40的外形上的中心的XZ平面以及YZ平面分別大概對稱。
[0091]上載物臺41為平面尺寸稍小于要保持的版PP或者基板SB的平面尺寸的平板狀構件，保持為水平姿勢的上載物臺41的下表面41a成為保持平面，該保持平面用于使版PP或者基板SB抵接來保持該版PP或者基板SB。對保持平面要求高的平面度，因此保持平面的材料優選為石英玻璃或者不銹鋼板。另外，在保持平面上設置有用于安裝后述上部吸附單元44的吸附墊的貫通孔。
[0092]加固機架42由在上載物臺41的上表面上沿著Z方向延伸設置的加強筋的組合形成。如圖所示，為了防止上載物臺41彎曲來維持上載物臺41的下表面(保持平面)41a的平面度，將與YZ平面平行的加強筋421、與XZ平面平行的加強筋422分別恰當組合有多個。加強筋421、422例如能夠由金屬板構成。
[0093]另外，梁狀結構體43是將多個金屬板組合而成的、將X方向作為長度方向的結構體，梁狀結構體43的兩端部被支撐柱45、46支撐，并且能夠進行上下移動。具體地說，在支撐柱45、46上分別設置有沿著Z方向延伸的導軌451、461，另一方面，在與該導軌451、461相向的梁狀結構體43的+Y側主面上安裝有未圖示的滑塊，它們以能夠自由滑動的方式相卡合。并且，如圖1所示，梁狀結構體43和支撐柱46通過升降機構47相連接，通過使升降機構47進行動作，使梁狀結構體43在維持水平姿勢的狀態下沿著鉛垂方向(Z方向)進行移動。上載物臺41通過加固機架42與梁狀結構體43結合為一體，因此通過升降機構47的動作，使上載物臺41在保持平面41a保持為水平的狀態下進行上下移動。
[0094]此外，加固機架42以及梁狀結構體43的結構并不限定于圖示的結構。在此，將與YZ平面平行的板狀構件和與XZ平面平行的板狀構件組合起來獲得所需的強度，但是也可以將其它形狀的金屬板或角鋼構件等恰當組合。采用這樣的結構是為了使上載物臺組件40變輕。為了減少各部彎曲的現象，也考慮使上載物臺41的厚度變大，或者將梁狀結構體43形成為實心體，但是那樣會導致整個上載物臺組件40的質量變大。
[0095]若配置于裝置的上部的結構物的重量變大，則需要使用于支撐該結構物或者使該結構物移動的機構的強度以及耐久性進一步提高，整個裝置也變得非常大且變重。因此，一邊通過組合板材等來獲取所需的強度，一邊使整個結構物變輕的方式更現實。
[0096]另外，在被加固機架42包圍的上載物臺41的上部安裝有一對上部吸附單元44。在圖6上部示出將一個上部吸附單元44向上方取出的狀態。在上部吸附單元44中，在從支撐機架441向下方延伸的多個管442的下端上分別安裝有例如橡膠制成的吸附墊443。各管442的上端側經由未圖示的配管以及控制閥與控制單元7的負壓供給部704相連接。支撐機架441呈不與構成加固機架42的加強筋421、422發生干涉的形狀。
[0097]支撐機架441通過一對滑塊444和與該一對滑塊444相卡合的一對導軌445支撐在基座板446上，并且該支撐機架441能夠沿著鉛垂方向自由移動。另外，基座板446和支撐機架441通過例如具有馬達以及滾珠螺桿機構等恰當的驅動機構的升降機構447相結合。通過升降機構447的動作，使支撐機架441相對于基座板446進行升降，從而使與支撐機架441形成一體的管442以及吸附墊443進行升降。
[0098]通過將基座板446固定在梁狀結構體43的側面上，將上部吸附單元44安裝在上載物臺41上。在該狀態下，各管442的下端以及吸附墊443插入于設置在上載物臺41上的未圖示的貫通孔內。并且，通過升降機構447的動作，使吸附墊443在吸附位置和退避位置之間進行升降移動，其中，所述吸附位置指，吸附墊443的下表面突出至上載物臺41的下表面(保持平面)41a的下方的位置，所述退避位置指，吸附墊443的下表面退避在上載物臺41的貫通孔的內部(上方)的位置。另外，在吸附墊443的下表面定位于與上載物臺41的保持平面41a大致相同的高度時，上載物臺41和吸附墊443能夠協同動作來將版PP或者基板SB保持在保持平面41a上。
[0099]返回圖1，如上述那樣構成的上載物臺組件40設置在基座板481上。更詳細地，支撐柱45、46分別立起設置在基座板481上，上載物臺組件40以能夠進行升降的方式安裝在該支撐柱45、46上。基座板481安裝在上載物臺支撐機架22、23上，被例如具有交叉輥支撐導軌等恰當的可動機構的上載物臺部支撐機構482支撐。
[0100]因此，整個上載物臺組件40能夠相對于主機架2進行水平移動。具體地說，基座板481借助上載物臺部支撐機構482的動作在水平面即XY平面內進行水平移動。與支撐柱45、46分別對應來設置的一對基座板481能夠相互獨立地進行移動。隨著基座板481移動，上載物臺組件40能夠相對于主機架2在規定的范圍內在X方向、Y方向以及Θ方向上移動。
[0101]如上述那樣構成的圖案形成裝置I的各部被控制單元7控制。如圖2所示，控制單元7具有CPU (中央處理器)701、馬達控制部702、閥控制部703、負壓供給部704。CPU701用于掌管整個裝置的動作。馬達控制部702用于控制設置在各部上的馬達。閥控制部703用于控制設置在各部上的控制閥類。負壓供給部704產生用于向各部供給的負壓。此外，在能夠利用外部所供給的負壓的情況下，控制單元7也可以不具有負壓供給部。
[0102]馬達控制部702通過控制設置在各功能部上的馬達組，掌管裝置各部的定位和移動。另外，閥控制部703通過控制設置在從負壓供給部704連接至各功能部的負壓配管路徑上以及從氣體供給部706連接至手部625的配管路徑上的閥組，掌管通過供給負壓來執行的真空吸附以及解除真空吸附，以及掌管從手部上表面625a噴出氣體。
[0103]另外，該控制單元7具有對攝像頭所拍攝的圖像進行圖像處理的圖像處理部705。圖像處理部705對安裝在主機架2上的基板用預定位攝像頭241?243以及橡皮布用預定位攝像頭244?246所拍攝的圖像進行規定的圖像處理，檢測基板SB以及橡皮布BL的概略位置。另外，通過對后述精密定位用的定位攝像頭27所拍攝的圖像進行規定的圖像處理，更精密地檢測基板SB和橡皮布BL之間的位置關系。CPU70基于這些位置檢測結果，控制上載物臺部支撐機構482以及定位支撐機構605，對被上載物臺41保持的版PP或者基板SB和被下載物臺61保持的橡皮布BL進行對位(預定位處理以及精密定位處理)。
[0104]接著，如上述那樣構成的圖案形成裝置I中的圖案形成處理進行說明。在該圖案形成處理中，被上載物臺41保持的版PP或者基板SB和被下載物臺61保持的橡皮布BL隔開微小的空隙接近并相向配置。而且，轉印輥641—邊與橡皮布BL的下表面抵接來將橡皮布BL局部向上方托起，一邊沿著橡皮布BL下表面移動。被托起的橡皮布BL首先與版PP或者基板SB局部抵接，隨著輥移動，該抵接部分逐漸變大，最終與整個版PP或者基板SB相抵接。由此，能夠將版PP上的圖案形成在橡皮布BL上，或者從橡皮布BL向基板SB轉印圖案。
[0105]圖7是示出圖案形成處理的流程圖。另外，圖8A至圖15C是示意性地示出處理的各階段中的裝置各部之間的位置關系的圖。下面，一邊參照圖8A至圖15C，一邊對于圖案形成處理中的各部的動作進行說明。此外，為了以容易理解的方式表示處理的各階段中的各部之間的關系，有時省略圖示與該階段的處理沒有直接關系的結構或者應該在該結構標注的附圖標記。另外，在被上載物臺41保持的處理對象物為版PP時和基板SB時，除了一部分動作之外，其它動作都相同，因此共用圖來恰當理解版PP和基板SB。
[0106]在該圖案形成處理中，首先，將與要形成的圖案相對應的版PP搬入于進行了初始化的圖案形成裝置I中，并安裝在上載物臺41上(步驟S101)，搬入由圖案形成材料形成有均勻的涂敷層的橡皮布BL并安裝在下載物臺61上(步驟S102)。版PP以使與圖案相對應的有效面朝下的方式被搬入，另外，橡皮布BL以使涂敷層朝上的方式被搬入。
[0107]圖8A至圖8C示出將版PP或者基板SB搬入于裝置中并安裝在上載物臺41上為止的過程。如圖8A所示，在初始狀態下，上載物臺41向上方退避來使與下載物臺61之間的間隔變大，從而在兩個載物臺之間形成大的處理空間SP。另外，各手部625退避至下載物臺61的上表面的下方。轉印輥641位于與下載物臺61的開口窗611相面對的位置中的、最靠近-X方向的位置，且在鉛垂方向(Z方向)上退避到下載物臺61的上表面的下方的位置。與負壓供給部704相連接的各控制閥關閉。
[0108]在該狀態下，將載置于外部的版用手部HP的版PP，在預先測量其厚度的基礎上，從裝置的前表面側即-Y方向朝向+Y方向搬入于處理空間SP內。版用手部HP可以是由操作者進行手動操作的操作夾具，另外也可以是外部的搬運機械手的手部。此時，通過使手部625以及轉印輥641退避至下方，能夠使搬入操作變得容易。當版PP定位于規定的位置上時，如箭頭所示那樣使上載物臺41下降。
[0109]當上載物臺41下降至與版PP接近的規定的位置時，如圖SB所示，設置在上載物臺41上的吸附墊443突出至上載物臺41的下表面即保持平面41a的下方，來與版PP的上表面相抵接。通過打開與吸附墊443相連接的控制閥，通過吸附墊443吸附版PP的上表面來保持版PP。然后，在繼續進行吸附的狀態下，使吸附墊443上升，從而從版用手部HP抬起版PP。在該時刻，版用手部HP向裝置外移動。
[0110]最終，如圖8C所示，吸附墊443上升至其下表面的高度與保持平面41a高度相同或者稍高于保持平面41a的高度的位置，由此，版PP以其上表面與上載物臺41的保持平面41a緊貼的狀態被保持。也可以在上載物臺41的下表面設置吸附槽或者吸附孔，由此形成吸附從吸附墊443接收的版PP的結構。這樣結束保持版PP的動作。通過同樣的步驟，能夠通過基板用手部HS搬入基板SB。
[0111]圖9A至圖9C、圖1OA以及圖1OB示出搬入版PP之后，搬入橡皮布BL并保持在下載物臺61上為止的過程。當結束由上載物臺41保持版PP的動作時，如圖9A所示，使上載物臺41上升再次形成大的處理空間SP，并且使各手部625上升至下載物臺61的上表面61a的上方。此時，使各手部625的上表面625a都處于同一高度上。
[0112]在該狀態下，如圖9B所示，上表面上形成有由圖案成形材料形成的涂敷層PT的橡皮布BL，載置于外部的橡皮布用手部HB上來搬入處理空間SP內。在搬入橡皮布BL之前測量橡皮布BL的厚度。優選橡皮布用手部HB呈具有沿著Y方向延伸的指狀叉子型，以便能夠在不與手部625發生干涉的情況下通過手部625之間的間隙來進入。
[0113]通過使橡皮布用手部HB進入之后進行下降或者使手部625上升，使手部625的上表面625a與橡皮布BL的下表面相抵接,如圖9C所不,之后橡皮布BL被手部625支撐。通過向設置在手部625上的吸附孔625b (圖4)供給負壓，能夠更可靠地進行支撐。這樣，能夠將橡皮布BL從橡皮布用手部HB交至手部625上，將橡皮布用手部HB排出至裝置外。
[0114]然后，如圖1OA所示，在使各手部625的上表面625a的高度一致的狀態下，使手部625進行下降，最終使手部上表面625a的高度與下載物臺61的上表面61a的高度相同。由此，使橡皮布BL四邊的周緣部與下載物臺61的上表面61a相抵接。
[0115]此時，如圖1OB所示，向設置在下載物臺上表面61a上的真空吸附槽612供給負壓，從而吸附保持橡皮布BL。伴隨于此，解除通過手部625進行的吸附。由此，橡皮布BL處于其四邊的周緣部被下載物臺61吸附保持的狀態。在圖1OB中，為了明確表示解除了通過手部625進行的吸附保持，而使橡皮布BL和手部625分離，但是實際上維持橡皮布BL的下表面與手部上表面625a相抵接的狀態。
[0116]若在該狀態下使手部625離開，則橡皮布BL因自重而中央部向下方彎曲，從而整體上呈向下凸的形狀。通過將手部625維持在與下載物臺上表面61a相同的高度上，能夠抑制這樣的彎曲來將橡皮布BL維持平面狀態。這樣，橡皮布BL處于其周緣部被下載物臺61吸附保持，且中央部被手部625輔助性地支撐的狀態，從而結束保持橡皮布BL的動作。
[0117]版PP和橡皮布BL的搬入順序也可以與上述順序相反。但是，在搬入橡皮布BL之后搬入版PP的情況下，在搬入版PP時，可能在橡皮布BL上落下異物而導致由圖案形成材料形成的涂敷層PT發生污染或者產生缺陷。上述那樣在將版PP安裝在上載物臺41上之后在下載物臺61上安裝橡皮布BL，能夠事先避免這樣的問題。
[0118]返回圖7，這樣在上下載物臺上分別安裝版PP以及橡皮布BL時，接著對版PP以及橡皮布BL進行預定位處理(步驟S103)。而且，進行空隙調整，以使兩者隔開預先設定的空隙并相向(步驟S104)。
[0119]圖1lA至圖1lC是示出空隙調整處理以及定位處理的過程的圖。其中，圖1lC所示的精密定位處理是，僅在后述轉印處理中所需的處理，因此在后面的轉印處理的說明中敘述精密定位處理。如上述那樣從外部搬入版PP、基板SB或者橡皮布BL，但是在進行交接時可能產生位置偏移。預定位處理是用于將被上載物臺41保持的版PP或者基板SB和被下載物臺61保持的橡皮布BL分別大概定位于適于之后的處理的位置上的處理。
[0120]圖1lA是示意性地示出用于執行預定位的結構的配置的側視圖。如上所述，在本實施方式中，在裝置上部上設置有共計6臺預定位攝像頭241?246。其中，3臺攝像頭241?243是用于檢測被上載物臺41保持的版PP (或者基板SB)的外緣的基板用預定位攝像頭。另外，其它3臺攝像頭244?246是用于檢測橡皮布BL的外緣的橡皮布用預定位攝像頭。此外，在此，為了便利而將預定位攝像頭241?243稱為“基板用預定位攝像頭”，但是這些攝像頭也能夠用于版PP的對位以及基板SB的對位中的任一對位，另外處理內容也相同。
[0121]如圖1以及圖1lA所示，基板用預定位攝像頭241、242的X方向上的位置大致相同，而Y方向上的位置相互不同，分別從上方拍攝版PP或者基板SB的-X側外緣部。上載物臺41的平面尺寸稍小于基板SB的平面尺寸。因此，能夠從上方拍攝延伸至上載物臺41的端部的外側的版PP (或者基板SB)的-X側外緣部。另外，雖然未在圖中表示，但是在圖1IA紙面的靠讀者一側設置有另一臺基板用預定位攝像頭243，該攝像頭243從上方拍攝版PP (或者基板SB)的-Y側外緣部。
[0122]另一方面，橡皮布用預定位攝像頭244、246的X方向上的位置大致相同，而Y方向上的位置相互不同，分別從上方拍攝載置于下載物臺61的橡皮布BL的+X側外緣部。另夕卜，在圖1lA紙面的靠讀者一側設置有另一臺橡皮布用預定位攝像頭245，該攝像頭245從上方拍攝橡皮布BL的-Y側外緣部。
[0123]根據這些預定位攝像頭241?246所拍攝的拍攝結果，分別掌握版PP (或者基板SB)以及橡皮布BL的位置。并且，通過根據需要使上載物臺部支撐機構482以及定位載物臺支撐機構605進行動作，將版PP (或者基板SB)以及橡皮布BL分別定位于預先設定的目標位置上。
[0124]此外，如圖1lA所示，優選在使橡皮布BL與下載物臺61 —起進行水平移動時，各手部625的上表面625a和橡皮布BL的下表面稍稍分離。為了達到該目的，能夠從手部625的吸附孔625b噴出氣體供給部706所供給的氣體。這在后述精密定位處理中也同樣。
[0125]另外，為了容易操作因薄或大而容易產生彎曲的基板SB，有時例如以使板狀支撐構件與基板SB的背面抵接的狀態處理基板SB。在這樣的情況下，例如即使支撐構件大于基板SB，只要將基板SB的外緣部的位置形成為容易檢測的結構，也能夠進行與上述同樣的預定位處理，例如用透明材料構成支撐構件，或者在支撐構件上的局部設置透明的窗或者貫通孔等。
[0126]接著，如圖1lB所示，保持版PP的上載物臺41相對于保持橡皮布BL的下載物臺61下降，從而使版PP和橡皮布BL之間的間隔G與預先設定的設定值一致。此時，考慮事先測量出的版PP以及橡皮布BL的厚度。S卩，以使將版PP以及橡皮布BL的厚度加進去之后兩者的空隙成為規定值的方式，調整上載物臺41和下載物臺61之間的間隔。這里的空隙值G，例如能夠為300 μ m左右。
[0127]就版PP以及橡皮布BL的厚度而言，不僅因制造上的尺寸偏差而存在個體差，而且即使是同一部件，也考慮例如因膨脹而引起的厚度的變化，因此優選在每當使用時都進行測量。另外，就空隙G而言，可以用版PP的下表面和橡皮布BL的上表面之間來定義，另外也可以用版PP的下表面和擔載于橡皮布BL的圖案形成材料的涂敷層PT的上表面之間來定義。只要在涂敷階段嚴格管理涂敷層PT的厚度，則技術上是等價。
[0128]返回圖7，當這樣版PP和橡皮布BL隔開空隙G相向配置時，接著使轉印輥641 —邊與橡皮布BL的下表面抵接一邊沿著X方向移動，從而使版PP和橡皮布BL相抵接。由此，通過版PP對橡皮布BL上的圖案形成材料的涂敷層PT進行圖案成形(圖案成形處理:步驟S105)。
[0129]圖12A至12C示出圖案成形處理的過程。如圖12A所示，轉印輥641上升至橡皮布BL的正下方位置，并且進行定位使得在X方向上轉印輥641的中心線處于與版PP的端部大致相同的位置，或者比版PP的端部向-X方向稍稍偏移的位置的。在該狀態下，如圖12B所示，轉印輥641進一步上升來與橡皮布BL的下表面相抵接，將該抵接的位置的橡皮布BL局部向上方托起。由此，橡皮布BL (更嚴格地說，擔載于橡皮布BL的圖案形成材料的涂敷層PT)以規定的按壓力按壓版PP的下表面。在Y方向上，轉印輥641比版PP (以及有效區域)更長，因此版PP的下表面中的、從Y方向上的一端至另一端的沿著Y方向延伸的細長區域與橡皮布BL相抵接。
[0130]在這樣轉印輥641按壓橡皮布BL的狀態下，使升降機構644朝向+X方向移動，從而使橡皮布BL的托起位置向+X方向移動。此時，為了防止手部625與轉印輥641相接觸，因此如圖12C所示，在X方向上與轉印輥641之間的距離為規定值以下的手部625向下方退避，直到至少該手部625的上表面625a處于比支撐機架642的下表面更低的位置。
[0131]由于已經解除了通過手部625進行的吸附，因此不會存在手部625下降的同時將橡皮布BL向下方拉下的情況。另外，通過與轉印輥641的移動同步地恰當管理開始下降的時刻，還能夠防止失去手部625的支撐的橡皮布BL因自重而向下方下垂的情況。
[0132]圖13A至13C示出轉印輥641的移動過程。暫時抵接的版PP和橡皮布BL維持隔著圖案形成材料的涂敷層PT緊貼的狀態，因此如圖13A所示，隨著轉印輥641移動，版PP與橡皮布BL緊貼的區域逐漸向+X方向擴大。此時，如圖13A所示，隨著轉印輥641接近，手部625依次下降。
[0133]這樣，如圖13B所示，最終所有的手部625下降，轉印輥641到達至下載物臺61下方的+X側端部附近。在該時刻，轉印輥641到達至版PP的+X側端部的大致正下方或者比版PP的+X側端部靠近+X側的位置，從而使版PP的整個下表面與橡皮布BL上的涂敷層PT相抵接。
[0134]在轉印輥641維持恒定的高度移動的期間，橡皮布BL下表面中的、被轉印輥641按壓的區域的面積是恒定的。因此，升降機構644—邊賦予恒定的負載一邊將轉印輥641按壓于橡皮布BL上，從而版PP和橡皮布BL —邊以彼此之間夾持圖案形成材料的涂敷層PT，一邊以恒定的按壓力相互進行按壓。由此，從而能夠良好地從版PP向橡皮布BL進行圖案成形(將版PP上的圖案成形到橡皮布BL上)。
[0135]此外，在進行圖案成形時，理想的是能夠有效利用版PP的表面整個區域，但是在版PP的周緣部上由于缺陷或搬運時與搬運手發生接觸等而不可避免地產生不能有效利用的區域。圖13B所示，在將版PP的除了端部區域的中央部分作為有效發揮版的功能的有效區域AR時，優選至少在有效區域AR內轉印輥641的按壓力以及移動速度恒定。為此，需要使轉印輥641的Y方向長度大于該方向上的有效區域AR的長度。另外，在X方向上，使轉印輥641從比有效區域AR的-X方向的端部更靠近-X側的位置開始移動，至少在到達有效區域AR的+X方向的端部之前維持恒定速度。與版PP的有效區域AR相向的橡皮布BL的表面區域成為橡皮布BL側的有效區域。
[0136]圖14示出版或者基板與橡皮布之間的位置關系。更具體地說，該圖是從上方觀察版PP或者基板SB與橡皮布BL抵接時的位置關系的俯視圖。如圖所示，橡皮布BL的平面尺寸大于版PP或者基板SB的平面尺寸。橡皮布BL中的在圖中標注點的、接近周緣部的區域Rl是，在被下載物臺61保持時與下載物臺上表面61a抵接的區域。以使該區域內側的區域的下表面開放的狀態下，將橡皮布BL保持在下載物臺61上。
[0137]版PP和基板SB尺寸大致相同，它們的尺寸小于下載物臺61的開口窗尺寸。另夕卜，在實際的圖案形成中有效使用的有效區域AR的尺寸小于版PP或者基板SB的尺寸。因此，橡皮布BL中的與有效區域AR相對應的區域的下表面開放，處于與下載物臺61的開口窗611相面對的狀態。
[0138]標注陰影的區域R2表示橡皮布BL下表面中的、同時受到轉印輥641按壓的區域(按壓區域)。按壓區域R2是沿著輥延伸設置方向即Y方向延伸的細長區域，Y方向上的兩端部分別延伸至版PP或者基板SB的端部的外側。因此，在轉印輥641以與橡皮布BL下表面平行的狀態按壓橡皮布BL時，在Y方向上，該按壓力在有效區域AR的Y方向上的一端部至另一端部之間是均勻的。
[0139]這樣，一邊向有效區域AR賦予在Y方向上相同的按壓力，一邊使轉印輥641沿著X方向移動，從而在整個有效區域AR內，使版PP或者基板SB與橡皮布BL以相同的按壓力相互進行按壓。由此，能夠防止因進行不均勻的按壓而引起的圖案損壞，從而形成優質的圖案。
[0140]當這樣轉印輥641到達至+X側端部時，使轉印輥641停止移動，并且如圖13C所示，使轉印輥641向下方退避。由此，轉印輥641與橡皮布BL下表面分離，從而結束圖案成形處理。
[0141]返回圖7，當這樣結束圖案成形處理時，搬出版PP以及橡皮布BL(步驟S106)。圖15A至15C示出搬出版以及橡皮布的過程。首先，如圖15A所示，使在進行圖案成形處理時下降的各手部625再次上升，定位于使上表面625a的高度與下載物臺61的上表面61a的高度相同的位置。在該狀態下，解除通過上載物臺41的吸附墊443對版PP進行的吸附。由此，解除通過上載物臺41保持版PP的動作，版PP和橡皮布BL經由圖案形成材料的涂敷層PT形成一體的層疊體留在下載物臺61上。通過手部625支撐層疊體的中央部。
[0142]接著，如圖15B所示，使上載物臺41上升來形成大的處理空間SP，解除通過下載物臺61的槽612進行的吸附(在通過吸附槽或者吸附孔進行吸附的情況下，解除通過它們進行的吸附)，并且使手部625進一步上升移動至下載物臺61的上方。此時，優選通過手部625吸附保持層疊體。
[0143]這樣，能夠從外部進行訪問。因此，如圖15C所示，從外部接受橡皮布用手部HB，進行與搬入時相反的動作，從而將緊貼有版PP的狀態的橡皮布BL向外部搬出。將這樣緊貼的版PP通過恰當的剝離裝置從橡皮布BL剝離，從而在橡皮布BL上形成規定的圖案。
[0144]接著，對于將形成在橡皮布BL上的圖案轉印至最終目的物即基板SB的情況進行說明。該工序基本與圖案成形處理的情況相同。即，如圖7所示，首先，將基板SB安裝在上載物臺41上(步驟S107 )，接著，將已形成圖案的橡皮布BL安裝在下載物臺61上(步驟S108 )。然后，對基板SB和橡皮布BL進行預定位處理以及空隙調整之后(步驟S109、S110)，使轉印輥641在橡皮布BL下部移動，從而將橡皮布BL上的圖案轉印至基板SB (轉印處理；步驟S112)。在結束轉印之后，搬出形成一體的橡皮布BL和基板SB來結束處理(步驟S113)。這一系列動作也與圖8A至圖15C所示的內容相同。此外，在這些圖中，將版PP替換為基板SB時，附圖標記PT指，進行圖案成形處理之后的圖案。
[0145]其中，在轉印處理中，為了在基板SB的規定位置恰當地轉印圖案，在使基板SB和橡皮布BL抵接之前，對兩者執行更精密的對位(精密定位處理)(步驟S111)。圖1lC示出該過程。
[0146]在圖1中省略了記載，但是在該圖案形成裝置I上設置有精密定位攝像頭27，該精密定位攝像頭27被從基座機架21向+Z方向立起設置的支撐柱支撐。精密定位攝像頭27以使其光軸朝向鉛垂上方的方式設置有共計4臺，以便通過下載物臺61的開口窗611來分別拍攝基板SB的四角。
[0147]在基板SB的四角上預先形成有成為位置基準的定位標記(基板側定位標記)。另一方面，在橡皮布BL的與基板側定位標記相對應的位置上形成有橡皮布側定位標記，該橡皮布側定位標記為由版PP進行了圖案成形的圖案中的一部分。精密定位攝像頭27在同一視場拍攝這些定位標記，通過檢測它們之間的位置關系來求出兩者之間的位置偏移量，從而求出能夠修正這些位置偏移量的橡皮布BL的移動量。通過定位載物臺支撐機構605使定位載物臺601移動求出的移動量，來使下載物臺61在水平面內移動，從而對基板SB和橡皮布BL之間的位置偏移進行修正。
[0148]在基板SB和橡皮布BL隔開微小的空隙G相向的狀態下，用同一攝像頭拍攝分別形成在基板SB和橡皮布BL上的定位標記，從而能夠對基板SB和橡皮布BL進行高精度的對位。上述定位處理能夠稱為，與分別單獨拍攝基板SB以及橡皮布BL來進行位置調整的情況相比更高精度的精密定位處理。在該狀態下使兩者抵接，由此在本實施方式中，能夠在基板SB的規定位置上形成進行了高精度對位的圖案。并且，預先對基板SB以及橡皮布BL進行預定位處理，從而將分別形成在基板SB以及橡皮布BL上的定位標記定位于精密定位攝像頭27的視場內。
[0149]此外，在通過版PP向橡皮布BL進行圖案成形時，不必一定那樣進行精密的定位處理。這是因為，通過將橡皮布側定位標記與圖案一同預先制作在版PP上，要形成在橡皮布BL上的圖案和橡皮布側定位標記之間不會產生位置偏移，只要對橡皮布側定位標記和基板側定位標記進行精密定位，則版PP和橡皮布BL之間的少量位置偏移不會影響圖案形成。從這一點說，在圖案成形處理中僅執行預定位處理。
[0150]圖16A、圖16B以及圖17是示出橡皮布和轉印輥以及手部之間的位置關系的圖。更具體地說，圖16A以及圖16B是示意性地示出轉印輥641和橡皮布BL之間的抵接位置以及各手部625和橡皮布BL之間的抵接位置，隨著轉印輥641的移動而分別如何變化的圖。此外，圖16A與圖12B的時刻相對應，圖16B與圖13A的時刻相對應。另外，圖17是從+X方向觀察上述位置關系的圖。此外，在圖17以及下面的說明中，在需要對分別設置在兩個升降手單元62、63上的手部625進行區分的情況下，用附圖標記6252表示在配置于+Y側的升降手單元62上設置的手部，附圖標記6253表示在配置于-Y側的升降手單元63上設置的手部。
[0151]橡皮布BL和版PP或者基板SB之間的位置關系、橡皮布BL中的與下載物臺61相抵接的區域Rl的位置以及有效區域AR的位置，與上述說明相同。在圖16A所示的轉印輥641剛剛開始按壓橡皮布BL的狀態下，橡皮布BL的接近四邊的周緣部Rl載置并吸附保持在下載物臺61上。另一方面，在周緣部Rl的內側的中央部分中的、與手部625的上表面625a的形狀相對應且沿著Y方向延伸的細長抵接區域R3中，手部625與橡皮布BL的下表面相抵接來支撐橡皮布BL。
[0152]在本實施方式中，兩個升降手單元62、63以使各手部625朝向內側的方式相向配置，在各單元62、63上分別設置有4個手部625。設置在升降手單元62上的一個手部6252和設置在升降手單元63上的一個手部6253在X方向上的位置一致以形成一對(圖17)，與上述一個手部6252和手部6253相對應的一對抵接區域R3的X方向位置也一致。另外，一對手部6252、6253的前端在Y方向上彼此分離。并且，這樣的手部對以沿著X方向彼此分離的方式配置有4對。因此存在共計8處抵接區域R3。
[0153]通過這樣在恰當分散配置的多個部位分別支撐橡皮布BL，防止橡皮布BL的中央部分彎曲，從而能夠將橡皮布BL維持為水平姿勢。在圖17中，用實線表示一對手部6252、6253下降的狀態，另一方面，用虛線表不手部6252、6253上升至與下載物臺61的上表面61a大致相同的高度的狀態。在處于虛線表示的狀態時，手部6252、6253的上表面與橡皮布BL的下表面相抵接來支撐該橡皮布BL。
[0154]轉印輥641在與抵接區域R3中的最靠-X方向的位置相比更靠-X側的位置，開始與橡皮布BL抵接。圖16A中的附圖標記R2所示的區域表示在剛剛開始抵接之后轉印輥641與橡皮布BL相抵接的區域(按壓區域)。
[0155]當轉印輥641開始移動時，與此對應的按壓區域R2向+X方向移動。在該過程中，在轉印輥641的按壓區域R2和手部625的抵接區域R3之間的X方向距離小于規定值時，形成有該抵接區域R3的手部625向下方移動。更詳細地說，如圖17的實線所示那樣，一對手部6252、6253連動動作地下降，從而退避至用于支撐轉印輥641的支撐機架642的下方。此時，由于支撐腳644b通過手部6252、6253的前端之間的間隙，因此能夠避免支撐腳644b和手部6252、6253發生干涉。
[0156]如圖16B所示，隨著轉印輥641按壓的按壓區域R2向+X方向移動，在該按壓區域R2的轉印輥641的移動方向上的后方側即-X側，形成版PP或者基板SB的下表面和橡皮布BL的上表面隔著圖案形成材料層彼此緊貼而成的緊貼區域R4，該緊貼區域R4隨著轉印輥641移動而向+X方向擴大。
[0157]并且，隨著轉印輥641接近，用于支撐橡皮布BL中央部的手部625，以沿著轉印輥641的移動方向的順序依次與橡皮布BL分離并下降,從而使轉印棍641通過這樣產生的空間。圖16B示出如圖13A所示那樣轉印輥641從-X方向移動至第二個手部625的附近位置的狀態。這樣使版PP或者基板SB與橡皮布BL相抵接，最終變為整個版PP或者基板SB與橡皮布BL緊貼的狀態。
[0158]在轉印輥641接近至規定距離之前，持續通過手部625進行支撐，從而能夠在轉印輥641到達之前將橡皮布BL維持為水平姿勢。尤其，在將與轉印輥641按壓的按壓區域R2相同的方向(Y方向)作為長度方向的抵接區域R3中，使手部625與橡皮布BL抵接，由此能夠使抵接之前的版PP或者基板SB與橡皮布BL之間的空隙在Y方向上保持恒定，從而能夠進行沒有產生彎曲或變形現象的良好的圖案形成。
[0159]如上面說明那樣，在本實施方式中，下載物臺61以及上載物臺41分別發揮本發明的“保持框”以及“第二保持單元”的功能。另外，各手部625以及轉印輥641分別發揮本發明的“局部支撐部”以及“托起構件”的功能。并且，各手部625的上表面625a相當于本發明的“抵接面”。另外，設置在升降手單元62、63上的滑動基座623、升降機構624、升降機構628等作為一體來發揮本發明的“升降單元”的功能。另外，下載物臺61以及各手部625作為一體來發揮本發明的“第一保持單元”的功能。
[0160]另外，在上述實施方式中，轉印輥單元64的支撐機架642發揮本發明的“支撐部”的功能，另一方面，支撐腳644b發揮本發明的“腳部”的功能，上述構件作為一體來發揮本發明的“支撐構件”的功能。另外，基座部644a以及移動機構647作為一體來發揮本發明的“移動機構”的功能。而且，在本實施方式中，版PP以及基板SB相當于本發明的“處理對象物”。
[0161]另外，在上述實施方式的圖案形成處理(圖7)中，步驟S102和步驟S108分別相當于本發明的“第一工序”，步驟S101、S103以及S104和步驟S107、S109以及SllO分別相當于本發明的“第二工序”。另外，步驟S105和步驟S112分別相當于本發明的“第三工序”。
[0162]〈第二實施方式〉
[0163]接著，對于本發明的圖案形成裝置的第二實施方式進行說明。第二實施方式的圖案形成裝置與上述第一實施方式的圖案形成裝置I相比，只有下載物臺部的結構中的一部分不同。另一方面，第一實施方式中的其它結構，即主機架2、上載物臺部4以及控制單元7等基本能夠直接用作為第二實施方式中的主機架、上載物臺部以及控制單元等。因此，下面，以與第一實施方式不同之處，尤其下載物臺部的結構及其動作為中心進行說明。另外，對于與第一實施方式相同的結構，標注相同的附圖標記并省略說明。
[0164]圖18是示出本發明的圖案形成裝置的第二實施方式的主要部的圖。更詳細地，圖18是示出第二實施方式的下載物臺部9的結構的圖。下載物臺部9具有定位載物臺901。該定位載物臺901相當于第一實施方式中的定位載物臺601,結構以及功能也大致相同。SP，定位載物臺901呈中央部開口的板狀，以能夠相對于基座機架21 (圖1)在規定范圍內移動的方式，被具有與第一實施方式的定位載物臺支撐機構605同等的功能的定位載物臺支撐機構905支撐。
[0165]在定位載物臺901的上表面上設置有多個支撐手機構。更具體地說，在相對于定位載物臺901的中央開口部位于-Y側的定位載物臺901的上表面上，從-X側朝向+X側依次設置有5個支撐手機構91a、91b、91c、91d、91e。這5個支撐手機構91a、91b、91c、91d、91e的結構彼此相同。
[0166]另一方面，在相對于定位載物臺901的中央開口部位于+Y側的定位載物臺901的上表面上，從-X側朝向+X依次設置有5個支撐手機構92a、92b、92c、92d、92e。這5個支撐手機構92a、92b、92c、92d、92e的結構彼此相同。而且，支撐手機構91a和支撐手機構92a呈關于X軸相互對稱的形狀，但是功能相同。另外，支撐手機構91a、91b、91c、91d、91e分別配置于在X方向上與支撐手機構92a、92b、92c、92d、92e相同的位置上。后面敘述詳細內容，但是在本實施方式中，這些支撐手機構91a、91b、91c、91d、91e、92a、92b、92c、92d、92e進行協同動作來將橡皮布BL支撐為水平姿勢。
[0167]另外，與最靠-X側的支撐手機構91a、92a的-X側相鄰地設置有轉印輥單元94。該轉印輥單元94的具體結構與第一實施方式的轉印輥單元64相等。即，轉印輥單元94具有轉印輥941，該轉印輥941呈輥狀，以能夠將Y方向作為軸向自由旋轉的方式被支撐，轉印輥941能夠通過沿著鉛垂方向(Z方向)移動來與橡皮布BL下表面接近或者分離，并且能夠一邊與橡皮布BL下表面抵接,一邊沿著X方向移動。轉印棍941與第一實施方式的轉印棍641同樣地發揮如下功能，即，通過局部托起橡皮布BL來使其抵接于基板SB (或者版PP)，從橡皮布BL向基板SB轉印圖案，或者通過版PP對橡皮布BL上的圖案形成材料進行圖案成形(將版PP上的圖案成形于橡皮布BL上的圖案形成材料上)。
[0168]圖19A以及19B是示出支撐手機構的詳細結構及其動作的圖。在此，舉出了配置于定位載物臺901的-Y側的一個支撐手機構91a和配置于定位載物臺901的+Y側的一個支撐手機構92a的例子，但是如上述那樣，支撐手機構91b、91c、91d、91e與支撐手機構91a的結構相同，支撐手機構92b、92c、92d、92e與支撐手機構92a的結構相同。另外，支撐手機構92a的結構關于X軸與支撐手機構91a的結構對稱。
[0169]如圖19A所示，支撐手機構91a具有:基座部911，其從定位載物臺901的上表面向+Y側傾斜并向斜上方延伸；臂部912，其從基座部911向與基座部911的延伸設置方向相同的方向延伸；橡皮布支承構件913，其與臂部912的上端相連接，上表面沿著Y方向在水平方向上延伸。同樣地，支撐手機構92a具有:基座部921，其從定位載物臺901的上表面向-Y側傾斜并向斜上方延伸；臂部922，其從基座部921向與基座部921的延伸設置方向相同的方向延伸；橡皮布支承構件923，其與臂部922的上端相連接，上表面沿著Y方向在水平方向上延伸。
[0170]橡皮布支承構件913、923的上表面被加工成大致平坦，它們的上表面在Z方向上的位置相互相同。因此，支撐手機構91a、92a形成一體來從下方支撐橡皮布BL，從而能夠將橡皮布BL保持為與Y軸平行的姿勢。此外，下面，在需要對分別設置在支撐手機構91a?91e上的橡皮布支承構件913進行區分的情況下，將用于區分各支撐手機構的下標(a?e)添加在附圖標記上。例如，在設置于支撐手機構91a的橡皮布支承構件上標注附圖標記913a。在對于分別設置在支撐手機構92a?92e上的橡皮布支承構件923進行區分的情況下也是同樣的。[0171]支撐手機構91a的臂部912與手升降機構906相連接，能夠沿著臂部912的延伸設置方向相對于基座部911進行進退移動。同樣地，支撐手機構92a的臂部922也與手升降機構906相連接，能夠沿著臂部922的延伸設置方向相對于基座部921進行進退移動。手升降機構906根據來自控制單元7 (圖2)的控制指令使兩個臂部912、922 —體地進行進退移動。由此，橡皮布支承構件913、923在分別維持水平姿勢且使彼此的高度一致的狀態下，沿著Z方向以及Y方向移動。
[0172]這樣，在X方向上位于相同位置的一對支撐手機構91a、92a中，它們分別所具有的橡皮布支承構件913 (913a),923 (923a)—體地進行升降。同樣地，在X方向位置相互相同的一對支撐手機構9lb、92b之間、支撐手機構9lc、92c之間、支撐手機構91d、92d之間以及支撐手機構91e、92e之間，設置在各支撐手機構上的個橡皮布支承構件913、923，也一邊在高度方向(Z方向)保持彼此相同的位置一邊進行升降。其中，以如下方式構成手升降機構906，即，在X方向上的位置相互不同的支撐手機構91a、91b、91c、91d、91e之間(或者支撐手機構92a、92b、92c、92d、92e之間)，能夠使臂部912 (或者臂部922)相互獨立地進行升降。
[0173]在通過手升降機構906使橡皮布支承構件913、923定位于圖19A所示的上部位置的狀態下，橡皮布支承構件913、923通過與橡皮布BL的下表面抵接來支撐橡皮布BL。通過使各支撐手機構91a?91e、92a?92e的橡皮布支承構件913、923定位于相同高度，能夠使它們形成一體來將橡皮布BL維持為水平姿勢。
[0174]另一方面，對于通過手升降機構906使橡皮布支承構件913、923定位于圖19B所示的下部位置的狀態進行說明。若各支撐手機構91a?91e、92a?92e的橡皮布支承構件913,923全部下降至下部位置，則此時在橡皮布支承構件913、923的上表面位置，橡皮布BL被支撐為水平姿勢，但是在支撐手機構91a?91e (或者支撐手機構92a?92e)之間，橡皮布支承構件913 (或者橡皮布支承構件923)能夠獨立地進行升降。
[0175]考慮僅有一部分支撐手機構的橡皮布支承構件913、923位于下部位置而其它支撐手機構的橡皮布支承構件位于上部位置的狀態。在此，將僅有支撐手機構91a、92a的橡皮布支承構件913a、923a位于下部位置，其它支撐手機構91b?91e、92b?92e的橡皮布支承構件位于上部位置的情況作為例子來考慮。
[0176]在該情況下，橡皮布BL被位于上部位置的橡皮布支承構件913b?913e、923b?923e，支撐在與圖19A所示的位置相同的位置上。因此，位于下部位置的支撐手機構91a、92a的橡皮布支承構件913a、923a，處于與橡皮布BL分離而向下方退避的狀態。
[0177]支撐手機構91a的用于支撐橡皮布支承構件913a的臂部912以及基座部911向傾斜方向延伸設置，橡皮布支承構件913a在從上部位置向下部位置移動時，向-Z方向移動，并且伴隨有向-Y方向的移動。同樣地，支撐手機構92a的橡皮布支承構件923a在從上部位置向下部位置移動時，向-Z方向移動，并且伴隨有向+Y方向的移動。結果，兩個橡皮布支承構件913a、923a以Z方向上的位置相同且在Y方向上與位于上部位置時相比相互分離更多的狀態定位于下部位置。
[0178]能夠使轉印輥單元94進入這樣形成在橡皮布BL下表面和橡皮布支承構件913a、923a之間的空間內。具體地說，能夠使轉印輥941以及用于支撐該轉印輥941的支撐機架942 (相當于第一實施方式中的支撐機架642)，進入在定位于下部位置的橡皮布支承構件913a、923a的上表面和橡皮布BL下表面之間形成的Z方向上的間隙中。另外，能夠使用于支撐支撐機架942的支撐腳944 (相當于第一實施方式中的支撐腳644b)，進入橡皮布支承構件913a、923a相互分離而形成的Y方向上的間隙中。
[0179]在這樣的結構中，在使轉印輥單元94沿著X方向移動時，使位于轉印輥單元94的行進路線上的橡皮布支承構件913、923向下部位置退避，從而能夠避免轉印輥單元94和橡皮布支承構件913、923發生干涉。并且，將位于不與轉印輥單元94發生干涉的位置的橡皮布支承構件913、923定位于上部位置，從而能夠繼續將橡皮布BL以水平姿勢保持在恒定高度上。因此，在本實施方式中，也與第一實施方式同樣地，能夠一邊將橡皮布BL維持為水平姿勢，一邊使轉印輥941沿著橡皮布BL的下表面進行水平移動。
[0180]圖20A以及20B是示出橡皮布支承構件的更詳細結構的圖。更詳細地，圖20A是示出橡皮布支承構件913上部的結構的立體圖，圖20B是其剖視圖。在此，將一個橡皮布支承構件913作為例子來進行說明，但是與此相向的另一個橡皮布支承構件923的結構也相同。
[0181]橡皮布支承構件913的上表面被加工成平坦，為了降低橡皮布支承構件913的上表面與橡皮布BL之間的摩擦阻力，進行鏡面研磨加工或者例如通過氟樹脂等恰當的材料來進行涂敷加工。另外，在橡皮布支承構件913的上表面上設置有用于吸附保持橡皮布BL下表面的多個吸附孔914。如圖23B所示，通過三通閥95選擇性地向各吸附孔914供給控制單元7的負壓供給部704所供給的負壓，或者在本實施方式中設置于控制單元7的正壓供給部707所供給的正壓。在向各吸附孔914供給來自負壓供給部704的負壓時，通過各吸附孔914將橡皮布BL吸附保持在橡皮布支承構件913的上表面上。另一方面，在向各吸附孔914供給來自正壓供給部707的正壓的情況下，通過從各吸附孔914噴出的氣體，橡皮布BL以從橡皮布支承構件913的上表面稍稍浮起的狀態被支撐。此時，橡皮布支承構件913和橡皮布BL之間的摩擦變的極其小。此外，橡皮布支承構件913并不一定具有這樣從吸附孔914噴出氣體來使橡皮布BL浮起的功能。
[0182]另外，本實施方式的下載物臺部9與第一實施方式的下載物臺部6同樣地，具有用于控制向吸附孔914供給或停止供給正壓以及負壓的閥組，用于機械驅動各部的馬達組，它們被控制單元7控制。
[0183]圖21A以及21B是示出橡皮布支承構件和基板以及橡皮布之間的位置關系的圖。如圖21A所示，多個橡皮布支承構件913、923以覆蓋橡皮布BL中央部中的整個有效區域AR的方式大致均等地分散配置，支撐橡皮布BL的下表面，尤其支持有效區域AR的下表面。由此，有效區域AR被保持為水平姿勢。
[0184]此外，就各橡皮布支承構件913、923在有效區域AR的外部如何支撐橡皮布BL而言，只要能夠將橡皮布BL支撐為水平姿勢，則可以是任意的。例如如圖21B所示，可以設置在Y方向上延伸至橡皮布BL的端部的外側的橡皮布支承構件963，另外也可以設置僅在有效區域AR的外側與橡皮布BL相抵接的橡皮布支承構件973。
[0185]轉印輥941在定位于規定的初始位置時，與橡皮布支承構件913、923中最靠-X側的橡皮布支承構件913a、923a的-X側相鄰。更具體地說，轉印輥941將如下位置作為初始位置，即，是與橡皮布支承構件913a、923a的-X側相鄰的位置，并且也是有效區域AR的外側即-X側且與第一實施方式同樣地被上載物臺41保持的基板SB (或者版PP)的-X側端部的+X側的位置，而且還是在橡皮布BL下表面的正下方位置與橡皮布BL分離的位置。此時，轉印輥941位于有效區域AR的外側的基板SB (或者版PP)的下方。
[0186]接著，對于本實施方式的圖案形成裝置的圖案形成處理進行說明。該處理的目的和基本動作與上述第一實施方式中的處理(圖7)相同。但是，由于下載物臺部的結構不同，因此構成下載物臺部的各部的動作與第一實施方式不同。具體地說，將基板SB或者版PP搬入于裝置中并保持在上載物臺41上的工序與第一實施方式相同。另一方面，將橡皮布BL搬入于裝置中來使橡皮布BL與被上載物臺41保持的基板SB或者版PP緊貼為止的工序與第一實施方式不同。以下，一邊參照圖22A至22C、圖23A至23D, —邊以與第一實施方式不同的工序為中心來說明動作。
[0187]圖22A至22C、圖23A至23D是示意性地示出第二實施方式的圖案形成處理的各階段中的裝置各部的位置關系的圖。此外，在此，對于在上載物臺41上保持基板SB且將已形成圖案的橡皮布BL搬入于下載物臺部9上來執行轉印處理(圖7的步驟S107?S112)時的各部的動作，進行說明。但是，如在第一實施方式中進行了說明，用于利用版PP和橡皮布BL來進行圖案成形處理(圖7的步驟SlOl?S105)的動作，除了不進行精密定位處理之外，與轉印處理基本相同。因此，在下面的說明中，通過將“基板SB”置換為“版PP”且省略精密定位處理，也對圖案成形處理中的動作進行說明。
[0188]如圖22A所示，在從外部搬入橡皮布BL時，所有橡皮布支承構件913a?913e、923a?923e均處于定位于上部位置的狀態。因此，能夠從外部的搬運機械手等所具有的橡皮布用手部(未圖示)接受橡皮布BL。此外，此時，轉印輥941定位于比圖21A所示的初始位置更向-X側退避的退避位置，從而避免與從外部進入的橡皮布用手部、橡皮布BL發生干涉。另外，向設置在各橡皮布支承構件的上表面上的吸附孔914供給負壓，從而吸附保持所接受的橡皮布BL。
[0189]接著，進行預定位處理。在預定位處理中，與第一實施方式中的相同處理同樣地，通過橡皮布用預定位攝像頭244?246拍攝橡皮布BL的周緣部，根據該拍攝結果使橡皮布BL在水平面內移動，從而將橡皮布BL定位于目標位置。此時，定位載物臺支撐機構905與定位載物臺901 —起使各支撐手機構91a?91e、92a?92e —體地在XY Θ方向上進行移動，從而對橡皮布BL進行定位。
[0190]接著，經過空隙調整來進行精密定位處理。如圖22B所示，通過配置于橡皮布BL的下方的定位攝像頭27，穿過橡皮布支承構件的間隙，對橡皮布BL和被上載物臺41保持并與橡皮布BL相向配置的基板SB進行拍攝。基于所拍攝的定位標記的位置關系來使定位載物臺901移動從而實現精密定位處理這一點，與第一實施方式相同。
[0191]當這樣對被上載物臺41保持的基板SB和被支撐手機構91a?91e、92a?92e支撐的橡皮布BL進行的對位結束時，托起橡皮布BL來使其緊貼于基板SB上，從而轉印圖案。SP，如圖22C所示，在轉印輥941移動至基板SB的-X側端部正下方的初始位置之后，使轉印輥941向上方移動，從而如圖23A所示，通過轉印輥941托起橡皮布BL，從而使橡皮布BL抵接于基板SB的下表面。由此，開始將橡皮布BL上的圖案轉印至基板SB。
[0192]此外，在從搬入橡皮布BL到結束精密定位處理為止的期間內，為了防止橡皮布BL相對于支撐手機構91a?91e、92a?92e發生位移，向橡皮布支承構件913、923的各吸附孔914供給負壓來吸附保持橡皮布BL。另一方面，在開始通過轉印輥941托起橡皮布BL之前，停止向各吸附孔914供給負壓，從而解除吸附保持。
[0193]然后，轉印輥941以與橡皮布BL下表面抵接的狀態向+X方向移動。此時，如圖23B以及圖23C所示，與轉印輥941的移動同步地，在轉印輥941的行進路線上位于要與轉印輥941發生干涉的位置的橡皮布支承構件913、923依次向下部位置退避。這樣，避免轉印輥941與橡皮布支承構件913、923發生干涉。此時的各橡皮布支承構件913、923的動作與第一實施方式中的手部625的動作類似。
[0194]在通過轉印輥941托起橡皮布BL之前，使橡皮布支承構件913、923與橡皮布BL下表面抵接，從而能夠將橡皮布BL的姿勢維持為水平狀態。由此，能夠將橡皮布BL上的圖案轉印至基板SB上的規定位置。另一方面，橡皮布BL中的被轉印輥941托起的區域，由于處于與基板SB緊貼的狀態，因此不必再通過橡皮布支撐構件913、923來進行支撐。因此，不必使向下部位置退避的橡皮布支承構件913、923返回上部位置。
[0195]此外，為了防止隨著轉印輥941托起而橡皮布BL在水平方向上發生位置偏移的情況，也可以采用在各橡皮布支承構件913、923開始向下部位置移動之前，向吸附孔914供給負壓的方式。在該情況下，需要采用能夠針對各橡皮布支承構件913、923獨立控制供給負壓的時刻的結構。
[0196]這樣，一邊使橡皮布支承構件913、923依次退避，一邊如圖23D所示，使整個基板SB緊貼于橡皮布BL上，從而將橡皮布BL上的圖案轉印至基板SB。然后，使轉印輥941返回原來的位置，使各橡皮布支承構件913、923上升，來從上載物臺41接受基板SB和橡皮布BL形成一體而成的層疊體。然后，將層疊體交至外部的機械手的手部等來搬出，從而結束圖案形成處理。
[0197]如上面說明，在本實施方式中，支撐手機構91a?91e、92a?92e作為一體來發揮本發明的“第一保持單元”的功能，尤其橡皮布支承構件913、923發揮本發明的“局部支撐部”的功能。另外，轉印輥單元94發揮本發明的“托起構件”的功能。此外，其它各結構與第一實施方式相同。
[0198]〈其它〉
[0199]此外，本發明并不限定于上述實施方式，在不脫離其宗旨的范圍內能夠進行除了上述內容之外的各種變更。例如，上述實施方式中的手部625的形狀以及設置數量僅僅示出了一例，并不限定于上述內容。例如，也可以沿著Y方向排列配置3個以上的手部。
[0200]此外，在從下表面保持橡皮布BL時，除了使上述實施方式那樣的細長的手部上表面的平面部抵接之外，已知使朝上立設的銷狀支撐構件抵接的方法。但是，在這樣的點接觸或者接近點接觸的接觸面積小的支撐方法中，在支撐點的附近應力集中于橡皮布BL上的圖案形成材料上，從而可能導致圖案發生變形。從這一點來說，優選以比較大的面積進行支撐，尤其優選如上述實施方式那樣、使手部與橡皮布BL在沿著與轉印輥641按壓的按壓區域R2的長度方向相同的方向延伸的抵接區域R3相抵接。
[0201]另外，例如，在上述實施方式中，僅在中央部開放的橡皮布BL下表面的、在X方向上與轉印輥641相抵接的范圍內配置手部625來支撐橡皮布BL，但是也可以在轉印輥641的X方向上的移動范圍的外側設置用于局部支撐橡皮布BL的構件。上述構件也可以不具有升降功能。
[0202]另外，例如，在上述實施方式中，形成為能夠使沿著Y方向排列配置的一對手部6252、6253彼此獨立地升降的結構，并且能夠進行使一對手部6252、6253連動地升降的控制動作，但是也可以采用固定上述一對手部的位置關系來使上述一對手部一體升降的結構。
[0203]另外，例如，在上述實施方式中，通過使各手部625能夠上升至下載物臺61的上方，使相當于本發明的“局部支撐部”的手部625與裝置外部之間交接橡皮布BL。但是，局部支撐單元發揮用于與外部交接橡皮布的功能，不是必須的。
[0204]另外，例如，在上述實施方式中，使隨著轉印輥641接近而從橡皮布BL正下方位置向下方下降的手部625維持在該位置上，但是也可以在轉印輥641通過之后使手部625返回橡皮布BL的正下方位置。
[0205]另外，例如，在上述第一實施方式中，通過環狀下載物臺61保持矩形橡皮布BL的四邊周緣部，但是只要能夠維持橡皮布的姿勢，也可以開放周緣部中的一部分。其中，為了防止隨著輥移動而發生位置偏移，優選至少保持輥移動方向(X方向)上的兩端部。
[0206]本發明能夠優選應用于在玻璃基板、半導體基板等各種基板上形成圖案的圖案形成工序中的、通過版對橡皮布上的圖案形成材料進行圖案成形的處理以及將橡皮布上的圖案轉印至基板的處理中的一個或兩個處理中。
【權利要求】
1.一種圖案形成裝置，其特征在于， 具有: 第一保持單元，具有多個分別與橡皮布的下表面的局部抵接的局部支撐部，多個所述局部支撐部以一面上擔載有圖案形成材料的所述橡皮布的所述圖案形成材料的擔載面朝上的方式在下表面側與所述橡皮布相抵接，從而將所述橡皮布支撐為水平姿勢； 第二保持單元，將用于對所述圖案形成材料進行圖案成形的版或者要被轉印圖案的基板作為處理對象物，以使該處理對象物與被所述第一保持單元保持的所述橡皮布的上表面接近且相向的方式，保持該處理對象物； 托起構件，從所述橡皮布的下表面側局部地托起所述橡皮布中央部的有效區域，來使所述有效區域與被所述第二保持單元保持的所述處理對象物相抵接，而且沿著所述橡皮布的下表面移動來使所述橡皮布的托起位置發生變化； 升降單元，能夠使多個所述局部支撐部分別單獨地升降。
2.根據權利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于， 在多個所述局部支撐部分別與所述橡皮布的下表面抵接的狀態下，隨著所述托起構件的移動，所述升降單元使多個所述局部支撐部依次下降。
3.根據權利要求2所述的圖案形成裝置，其特征在于， 多個所述局部支撐部沿著所述托起構件的移動方向排列，所述升降單元以沿著所述托起構件的移動方向的順序使所述局部支撐部下降。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述托起構件將所述橡皮布的下表面的在一個軸方向上比所述有效區域的長度長的區域一同托起， 所述局部支撐部分別在將所述軸方向作為長度方向延伸設置的抵接面與所述橡皮布相抵接。
5.根據權利要求4所述的圖案形成裝置，其特征在于， 還具有: 支撐構件，具有支撐部和腳部，所述支撐部在所述軸方向上沿著所述托起構件延伸設置，該支撐部用兩端部支撐所述托起構件且所述托起構件能夠自由旋轉，所述腳部從所述支撐部的所述軸方向上的中央部向下方延伸， 移動機構，使所述支撐構件沿著與所述軸方向相垂直的方向移動； 一對所述局部支撐部以沿著所述軸方向排列且彼此分離的方式配置，并且成對的所述局部支撐部沿著與所述軸方向相垂直的方向排列配置有多對， 所述支撐構件的所述腳部在成對的所述局部支撐部之間的空隙經過。
6.根據權利要求1至3中任一項所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第一保持單元具有保持框，該保持框以使所述橡皮布的所述有效區域的下方開放的狀態，保持所述橡皮布的所述有效區域的外側的周緣部， 在所述橡皮布的被所述保持框保持的周緣部的內側，多個所述局部支撐部抵接于所述橡皮布的下表面。
7.一種圖案形成方法，其特征在于， 包括:第一工序，以使一面上擔載有圖案形成材料的橡皮布的所述圖案形成材料的擔載面朝上的方式，使能夠彼此獨立地升降的多個局部支撐部分別與所述橡皮布的下表面的局部相抵接，從而將所述橡皮布支撐為水平姿勢， 第二工序，將用于對所述圖案形成材料進行圖案成形的版或者要被轉印圖案的基板作為處理對象物，以使該處理對象物的下表面和所述橡皮布的所述擔載面隔開規定的間隙接近的方式，相向配置所述處理對象物和所述橡皮布， 第三工序，使托起構件與所述橡皮布的下表面抵接，通過該托起構件托起所述橡皮布的局部，從而使該橡皮布與所述處理對象物相抵接，使所述托起構件沿著所述橡皮布的下表面移動； 在所述第三工序中，隨著所述托起構件移動，使所述局部支撐部依次下降來與所述橡皮布分離。
8.根據權利要求7所述的圖案形成方法，其特征在于， 在所述第一工序中，多個所述局部支撐部沿著所述托起構件的移動方向排列，在所述第三工序中，以沿著所述托起構件的移動方向的順序使所述局部支撐部下降。
9.根據權利要求7或8所述的圖案形成方法，其特征在于， 在所述第三工序中，在所述托起構件與所述橡皮布相抵接的抵接位置和一個所述局部支撐部與所述橡皮布相抵接的抵接位置之間的距離小于規定值時，使該局部支撐部下降。
10.根據權利要求7或8所述的圖案形成方法，其特征在于， 在所述第一工序中，以沿著與所述托起構件的移動方向相垂直的方向排列且彼此分離的方式配置一對所述局部支撐部，并且沿著所述移動方向排列配置多對所述局部支撐部， 在所述第三工序中，隨著所述托起構件移動，使成對的所述局部支撐部一體下降。
11.根據權利要求7或8所述的圖案形成方法，其特征在于， 在所述第一工序中，通過保持框保持所述橡皮布的周緣部，并且在所述橡皮布的被所述保持框保持的周緣部的內側，使多個所述局部支撐部抵接于所述橡皮布的下表面， 在所述第三工序中，一邊維持通過所述保持框保持所述橡皮布周緣部的狀態，一邊使所述局部支撐部下降。
【文檔編號】B41F16/00GK104002546SQ201410058971
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年2月21日 優先權日:2013年2月22日
【發明者】正司和大, 川越理史, 上野博之, 芝藤彌生, 增市干雄, 上野美佳 申請人:大日本網屏制造株式會社