液晶顯示裝置的制作方法

專利名稱：液晶顯示裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及液晶顯示(LCD)裝置，具體而言，涉及在焊盤部具有呈之字形(或傾斜線)形式的接觸孔和/或焊盤部的線寬改變的液晶顯示(LCD)裝置。
背景技術：
在二十一世紀，由于對于信息顯示和便攜式信息媒體的關注和需求增加，為了替代傳統的顯示裝置陰極射線管(CRT)，對呈薄膜形狀且重量輕的平板顯示器(FPD)進行了積極的研究并使其商業化。
在FPD中，作為利用液晶的光學各向異性來表示圖像的裝置，液晶顯示(LCD)裝置由于能夠實現出色的分辨率、彩色顯示和清晰度而被廣泛應用于筆記本或臺式監視器。
通常，通過利用一系列工序來接合兩個基板以使其互相面對，然后通過在它們之間填充液晶來密封兩個基板而制造LCD裝置，其中在兩個基板上設置有包括薄膜晶體管(TFT)在內的多個構件。在此，陣列基板是兩個基板中的下基板，在該陣列基板上，選通線和數據線以矩陣形式彼此交叉，并且在交叉區域處設有分別與對應的像素電極電連接的TFT器件。另外，在選通線和數據線的各個端部處分別形成有選通焊盤和數據焊盤。
并且，選通焊盤和數據焊盤與操作電路連接。該操作電路與外部電路電連接以提供數據輸入信號，并且相應地數據信號根據操作電路自身的控制信號而彼此分開，然后被傳輸至各個像素。在此，操作電路和LCD裝置的數據線或選通線通常以帶自動連接(TAB)方法彼此連接。在此，該TAB方法指的是將與操作電路連接的封裝安裝到基板上的方法。
圖1是示出了常見LCD裝置的焊盤部的視圖(頂視圖和側視圖)。如圖1所示，與選通線和數據線的各個端部連接的各個焊盤部包括
焊盤金屬膜12、絕緣層17和透明導電膜ITO (銦錫氧化物)15。絕緣層17可以被構造為單層的保護膜14或者由柵絕緣膜13和保護膜14構成的雙層膜。而且，所述焊盤金屬膜12與所述透明導電膜ITO 15在焊盤開口區域(或接觸孔)16處互相接觸。
例如，焊盤金屬膜12由鉻(Cr)形成，并且柵絕緣膜13和保護膜14可以形成在焊盤金屬膜12上方。此外，在其上順序地形成通過部分地刻蝕絕緣膜13以露出焊盤金屬膜12的一部分的焊盤開口區域16，和壓在絕緣膜13上以通過所述焊盤開口區域16而與焊盤金屬膜12接觸的透明導電膜ITO 15。在此，利用上述TAB方法將透明導電膜ITO 15與諸如IC的端子連接。
這樣，提供了包括設置有焊盤金屬膜12的下焊盤層和設置有透明導電層ITO 15并與TAB IC連接的上焊盤層的焊盤部。
然而，由于環境法規，通常將鉬(Mo)作為Cr的替代品來形成焊盤金屬膜12。結果，當在由Mo形成的焊盤部上形成焊盤開口區域或接觸孔時，焊盤金屬膜12被大部分刻蝕了。這導致了透明導電膜ITO 15與焊盤金屬膜12之間的邊接觸。該"邊接觸"是指在透明導電膜ITO 15與焊盤金屬膜12之間的接觸面積非常小。由于一般的焊盤部的接觸電阻是由透明導電膜ITO 15與焊盤金屬膜12互相接觸的部分確定的，如果由于邊接觸而使接觸電阻減小，那么從TAB IC傳輸至選通焊盤部或數據焊盤部的信號特性將會出現失真。
為了解決這個問題，提出了一種在一個焊盤部上形成多個焊盤開口區域(接觸孔)的方法，接下來將結合圖2進行說明。
圖2是示出了根據現有技術的LCD裝置的具有多個焊盤開口區域的焊盤部的視圖(頂視圖和側視圖)，而圖3是示出了根據現有技術的LCD裝置的具有條型(stripe format)的多個孔的焊盤部的平面圖。如圖3所示，焊盤部互相平行，并且接觸孔互相對齊。
如圖2所示，焊盤部包括在透明玻璃基板21上由Mo形成的焊盤金屬膜22和形成在焊盤金屬膜22上的柵絕緣膜23。在此，雖然沒有示出，在像素區域的玻璃基板21上以與焊盤金屬膜22成為一體的方式形成有選通線和柵極。此外，柵絕緣膜23形成在包括所述選通線和柵極的基板的正面。
以濺射方式由Mo形成焊盤金屬膜22。并且，以PECVD(等離子增強化學汽相淀積)法由諸如氮化硅(SiNx)或氧化硅(SiOx)的無機物質形成柵絕緣膜23。
在柵絕緣膜23上形成有保護膜24，從而形成絕緣層27。保護膜24由具有低介電常數的BCB (苯并環丁烯)形成。
同時，在像素區域的柵絕緣膜23上形成有數據線和源極/漏極，從而與柵極一起形成薄膜晶體管(TFT)，保護膜24形成在包括TFT的正面處。
通過選擇性去除焊盤部的保護膜24和柵絕緣膜23,對焊盤金屬膜22進行了部分或選擇性刻蝕，從而形成了多個基板開口區域26。
并且，在保護膜24上方形成透明導電膜ITO 25，使該透明導電膜ITO25在基板開口區域26處接觸焊盤金屬膜22。
因此，焊盤金屬膜22與透明導電膜ITO 25通過焊盤部處的所述多個基板開口區域26互相接觸。這又使得接觸電阻減小，從而可以使在焊盤部施加的信號失真最小。
作為具有多孔結構(開口區域26)的焊盤部的另一示例，如圖3所示，基板開口區域36可以形成在同一條線上以形成條型。在此，每個焊盤部32可以具有三個或更多個基板開口區域36。
然而，在現有技術中采用光刻處理來形成條型的多個孔的情況下，由于使用了昂貴的掩模，所以會使焊盤部的制造成本增加。
為了解決這一問題，根據現有技術已經提出了一種應用了印刷方法的LCD裝置制造方法，結合圖4對其進行說明。
圖4是部分地示出應用了現有的滾筒印刷方法的LCD裝置制造方法的視圖。
如圖4所示，當在LCD裝置的焊盤部上形成接觸孔時，從涂覆裝置30噴出的PR溶液45被吸收到由聚二甲基硅氧烷(PDMS)形成的滾筒40上，然后滾筒40在鑄版(g卩，具有凸出圖案51的印刷板50)上滾動以在滾筒40上形成PR圖案45a。
然后，將形成在滾筒40上的PR圖案45a轉移到其上安裝有焊盤金屬膜和絕緣膜61的基板60上，然后利用基板60上的PR圖案45a通過刻蝕處理和光剝起處理形成接觸孔(開口區域)。
在此，假定焊盤金屬膜形成在基板60上的絕緣膜61的下部。
并且，當在焊盤部上形成這些接觸孔(例如，開口區域)日寸，也同時在TFT部的保護膜上形成其他接觸孔。
然而，滾筒印刷處理并不限于形成接觸孔，而可以在形成包括選通焊盤金屬膜的選通線和包括數據焊盤金屬膜的數據線時廣泛地應用。
而且，最重要的是，當制造將用于在LCD的陣列基板上形成焊盤部和TFT部的接觸孔的印刷板50時，考慮到用于在濕法刻蝕處理中獲得印刷板50的深度的余量，很難形成與形成各種接觸孔有關的凸出圖案51。
因此，當應用使用了光刻膠的印刷處理(替代光刻處理)以在焊盤部中形成圖3所示出的根據現有技術的條型的多個孔時，很難在焊盤部形成這些多個孔。
作為一個示例，圖5A是示出了具有理想條型凸出圖案的"理想"印刷板的結構的視圖，該印刷板能夠在焊盤部上形成多個孔的步驟中使用，圖5B是示出了在圖5A中沿線A-A'截取的切面的剖視圖。而且，圖6A是示出了在焊盤部上形成多個孔的實際步驟中通常采用的實際印刷板的結構的示例的視圖，而圖6B是示出了在圖6A中沿線B-B'截取的切面的剖視圖。
為了使彼此相鄰的焊盤具有沿著同一直線(與光刻蝕理相同)的接觸孔，如圖5A所示，印刷板上的凸出圖案可以全部被形成為條型。
更具體地參照圖5A和5B，當執行濕法刻蝕以在基板50上形成凸出圖案51時，涂覆在玻璃基板50上的光刻膠(PR)以小的接合力與玻璃基板50接合。從而，在刻蝕時光刻膠被部分剝起。因此，用于在焊盤部和其他部分上形成接觸孔(例如，開口區域)的凸出圖案51并不是準確地形成在玻璃基板50上。為了克服上述局限，如圖5B所示，當在玻璃/印刷板50上形成凸出 圖案時，在初始玻璃基板50和形成在其上的光刻膠(PR)上設置掩模層， 考慮到印刷板的深度余量而通過光刻處理對該PR進行曝光并顯影，并且 對金屬層進行刻蝕從而形成光刻膠圖案53和掩模圖案52。然后，使用光 刻膠圖案53和掩模圖案52來在板50上形成凸出圖案51 。
在此，如圖5B所示，在掩模圖案52的下部執行用于在板50上形成 凸出圖案51的濕法刻蝕。在濕法刻蝕處理中，會出現各向同性刻蝕現象， 其中，隨著深度增加寬度同時寬度加寬，凸出圖案51被刻蝕為圓形。這 樣，應當恰當地獲得印刷板的深度的裕量。
關于這個，在現有技術中，當印刷板50的刻蝕深度大約為40-50 pm 時，能夠獲得足夠的印刷板深度裕量。因此，當形成用于形成在上下左 右都具有12 pm的寬度的凸出圖案51的掩模圖案52時，設計為針對上 下左右的各個寬度額外計算40 iam。
然而，根據對于在TFT陣列基板上的數據焊盤部的設計，假定焊盤 (選通焊盤或數據焊盤)之間的間距為60 pm并在寬度為26 pm的焊盤 部上形成寬度約為12pm的接觸孔。從而，如果印刷板具有上述的約40 pm的深度裕量，將無法恰當地形成要用于形成接觸孔或開口區域的凸出 圖案。例如，如圖6A和6B所示，利用PR圖案53a和掩模圖案52a可 能會在印刷板50a上形成不恰當的和不期望的凸出圖案51a。
以下，將參照圖7A-7C來說明當利用具有如圖6A和6B所示的結構 的印刷板來制造TFT陣列基板時所產生的問題或局限。
圖7A至7C是示出了根據現有技術利用具有如圖6A和6B所示的凸 出圖案51a的印刷板50a來制造TFT陣列基板的處理的視圖。
如圖7A所示，在制造LCD裝置的TFT陣列基板時，由于如上所述 的凸出圖案51a的缺陷，在形成保護膜73之后，PR溶液沒有被印刷板 的凸出圖案51 a完整地或恰當地涂覆在TFT陣列基板的焊盤部的邊緣上。 因此，形成在基板70上并在由Mo形成的焊盤金屬膜72的下部的柵絕 緣膜71也與保護膜73—同被刻蝕，S卩，當執行如圖7B所示的用于形成 接觸孔的干法刻蝕處理時，會發生下切(undercut)現象。結果，當對TFT陣列基板執行研磨處理時，在焊盤金屬膜72兩側的
突出部分會脫落并成為干擾處理中的其他基板/物質的異物，這是一個問 題。

發明內容
因此，本發明的第一個目的在于提供一種印刷板，其中改變了凸出
圖案的布置以使在進行滾筒印刷處理時通過精確地將PR圖案轉移至形 成在TFT陣列基板上的焊盤金屬膜上而形成接觸孔。
本發明的第二個目的在于提供一種液晶顯示(LCD)裝置，其通過 將兩個或更多焊盤單元部作為一組(或一個焊盤部)薪通過采用印刷板 而具有之字形(傾斜線)形式的接觸孔。
本發明的第三個目的在于提供一種LCD裝置，其中，在各個焊盤單
元部中的接觸孔的邊緣區域和非接觸孔的邊緣區域的線寬互不相同，其 中，考慮到當應用根據第一個目的而形成的印刷板時，在執行滾筒印刷 處理時可能會產生的微小失準，在兩個或更多個焊盤單元部上的接觸孔 被排列為之字形(傾斜線)的形式或圖案。
為了實現這些或其他優點并且根據本發明的目的，如在此體現和廣 泛描述的，根據本發明的一個方面，提供了一種LCD裝置，其包括多 條選通線和多條數據線，其在基板上互相交叉以限定單位像素；TFT，其 形成在各條選通線和各條數據線的交叉區域處；多個選通焊盤部和/或多 個數據焊盤部，其形成在相應的選通線和/或數據線的端部；接觸孔，其 形成在選通焊盤部和/或數據焊盤部上，并且通過以兩個或更多個焊盤單 元部為一個選通焊盤部或數據焊盤部而以之字形或傾斜線的形式排列； 以及像素電極，其形成在基板的各個單位像素處。
根據本發明的另一個方面，提供了一種LCD裝置，其包括多條選 通線和多條數據線，其在基板上互相交叉以限定單位像素；TFT，其形成 在選通線和數據線的交叉區域處；多個選通焊盤部和/或多個數據焊盤部， 其形成在選通線和/或數據線的端部，其中各個選通焊盤部和/或數據焊盤 部通過被分為第一區域和第二區域而具有不同的或變化的線寬；接觸孔，其以之字形的形式形成在焊盤部上；以及像素電極，其形成在基板的各 個單位像素處。
根據本發明的另一個方面，提供了一種液晶顯示(LCD)裝置，其
包括多條選通線和多條數據線，其在基板上互相交叉以限定多個單位
像素；薄膜晶體管(TFT)，其分別形成在選通線和數據線的交叉區域處; 多個選通焊盤部和多個數據焊盤部，其分別形成在選通線和數據線的端 部，選通焊盤部和數據焊盤部中的至少一個由至少兩個焊盤單元部構成， 各個焊盤單元部具有至少一個接觸孔以使所述多個選通焊盤部或所述多 個數據焊盤部中的一個的接觸孔以之字形或傾斜線的形式排列；以及像 素電極，其形成在所述單位像素處。
根據本發明的另一個方面，提供了一種制造液晶顯示(LCD)裝置 的方法，該方法包括以下步驟形成設置在基板上以限定多個單位像素 的多條選通線和多條數據線；在選通線和數據線的交叉區域處形成各個 薄膜晶體管；在選通線和數據線的端部處分別形成多個選通焊盤部和多
個數據焊盤部，所述多個選通焊盤部和所述多個數據焊盤部中的至少一 個包括接觸孔，其中，該形成多個選通焊盤部和多個數據焊盤部的步驟 包括以下步驟提供具有預定圖案的印刷板，所述預定圖案為之字形圖 案或傾斜線圖案；將具有光刻膠材料的滾筒放置到印刷板上，以將印刷 板的所述預定圖案轉移到所述滾筒上；以及將具有經轉移的預定圖案的 滾筒放置在基板上，從而形成具有與所述滾筒上的經轉移的預定圖案對 應的圖案的接觸孔；以及在單位像素處形成像素電極。
本發明的以上和其他目的、特征、方面和優點通過以下結合附圖對 于本發明的描述將變得更清楚。


附圖被包括進來以提供對本發明的進一步理解，并且被并入且構成 本申請文件的一部分，例示了本發明的實施方式，并與文字說明一起用 于解釋本發明的原理。
在圖中圖1是示出了常見LCD裝置的焊盤部的視圖2是示出了根據現有技術的LCD裝置的具有多個焊盤開口區域的 焊盤部的視圖3是示出了根據現有技術的LCD裝置的具有條型的多個孔的焊盤 部的平面圖4是部分地示出應用了現有技術的滾筒印刷方法的LCD裝置制造 方法的視圖5A是示例性地示出了根據現有技術的在形成掩模圖案的步驟中
具有理想條型凸出圖案的印刷板的結構的視圖5B是示出了在圖5A中沿線A-A'截取的切面的剖視圖6A是示出了根據現有技術在形成掩模圖案的步驟中應用于實際
處理的印刷板的結構的視圖6B是示出了在圖6A中沿線B-B'截取的切面的剖視圖； 圖7A至7C是示出了根據現有技術的利用具有圖6A和6B所示的結
構的印刷板來制造TFT陣列基板的處理的視圖8A是示出了根據本發明一個實施方式在制造LCD裝置時所使用
的印刷板的結構的平面圖8B是示出了在圖8A中沿線C-C'截取的切面的剖視圖9是示出了根據本發明第一實施方式的通過應用圖8A和8B的印
刷板而形成的LCD裝置的平面圖10是示出了根據本發明第二實施方式的LCD裝置的平面圖；以
及
圖11A至11C是示出了根據本發明第一和第二實施方式的LCD裝置 的焊盤部的各個結構的變型的視圖。
具體實施例方式
現在結合附圖對本發明的優選實施方式進行詳細的描述。 圖8A是示出了根據本發明一個實施方式在制造LCD裝置時所采用 的印刷板的結構的平面圖，圖8B是示出了在圖8A中沿線C-C，截取的切面的剖視圖。
如圖8A和8B所示，在玻璃基板100 (或印刷板)上突出的凸起圖 案103形成為之字形(或傾斜線)的形式或排列。以下對制造具有這種 結構的印刷板的方法進行更具體的說明。
首先，在玻璃基板100 (即，底基板上)設置由Mo、 Cr、 ITO (銦 錫氧化物)等形成的掩模層。
然后，在掩模層上涂覆光刻膠(PR)后，對以之字形或傾斜線的形 式開口的光掩模進行顯影和刻蝕。因此，形成了以之字形或傾斜線的形 式形成的掩模圖案105和光刻膠圖案107。
接下來，利用圖案105、 107和用于形成掩模圖案105和光刻膠圖案 107的刻蝕劑(例如，基于氫氟酸(HF)的刻蝕劑)通過刻蝕處理來刻 蝕玻璃基板100，從而形成之字形或傾斜線形式的凸出圖案103和/或與 圖案105和107的之字形或傾斜線形式對應的凹陷圖案。
而且，通過去除光刻膠圖案107和掩模圖案105使以之字形或傾斜 線形式形成在玻璃基板100上的凸出圖案103朝外露出。結果，形成了 具有之字形或傾斜線形式的凸出圖案103的印刷板100。
在這種情況下，由于在刻蝕玻璃基板100時實施了各向同性刻蝕， 所以在設計印刷板時考慮到實際需要的凸出圖案103和各向同性刻蝕的 程度而設計掩模，從而形成光刻膠圖案107和掩模圖案105。
并且，通過在玻璃基板100上設置掩模層后形成掩模圖案105，由于 在光刻膠與掩模層之間的粘合力或者掩模層與玻璃基板100之間的粘合 力比光刻膠與玻璃基板100之間的粘合力大，因而能夠防止刻蝕劑在它 們之間穿透。因此，本發明使得能夠在期望的位置精確地形成凸出圖案 103，從而使得能夠精確而容易地在TFT陣列基板或其它位置處形成接觸 孔或其它結構。
此外，在根據本發明的實施方式利用滾筒印刷處理制造印刷板的處 理中，掩模圖案105比凸出圖案103的寬度寬并且為之字形或傾斜線的 形式，而且根據光刻處理將凸出圖案用于在具有相同間距的選通焊盤部 和數據焊盤部上形成接觸孔。這將由掩模圖案105上殘留的光刻膠來確定。
結果，在根據本發明的處理中，例如，當TFT陣列基板上的數據焊 盤部之間的間距為60 pm而且印刷板的刻蝕深度為40 ,時，當制造印 刷板時，考慮到印刷板的刻蝕深度，能夠形成凸出圖案103，從而能夠獲 得足以在TFT陣列基板上形成接觸孔的裕量。
而且，就制造了LCD裝置之后的制造成本而言，即使選通焊盤部或 數據焊盤部之間的間距變小，具有上述結構的印刷板也能夠被有效地利 用。
同時，關于根據本發明的上述印刷板，當涂覆有PR溶液的滾筒在其 上形成有凸出圖案103的印刷板IOO上滾動時，PR溶液被印刷板100的 凸出圖案103轉移，根據PR溶液的特性反之亦然。也就是說，PR圖案 能夠被凹陷圖案轉移。為此，玻璃基板100上的凸出圖案103被形成為 具有凹陷圖案。
圖9是示出了根據本發明第一實施方式通過應用/使用圖8A和8B的 印刷板而形成的LCD裝置的平面圖。
如圖9所示，在作為形成LCD裝置的基本裝置的液晶板中，上濾色 器基板140和下TFT陣列基板110兩者之間隔開特定間隔而互相面對， 并且在該兩者之間填充有包括液晶分子的液晶。用于向液晶施加電壓的 電極被構造為設置在濾色器基板140上的公共電極和設置在陣列基板110 上的像素電極123。當向兩種電極(公共電極和像素電極)施加電壓時， 由所施加的電壓之間的差形成的垂直電場控制設在上述兩者之間的液晶 分子的方向。
根據一個實施方式，LCD裝置包括在液晶板下部的用作光源的背光 裝置和設置在液晶板的邊緣部分以操作液晶板的驅動單元。在此，驅動 單元被設置在PCB (印刷電路板)上。該PCB被劃分為與液晶板的選通 線124連接的選通PCB和與數據線125連接的數據PCB。各個PCB連 接至TCP (帶載封裝)124c、 125c,該TCP 124c和125c接合至選通焊 盤部124a和數據焊盤部125a，其中所述選通焊盤部124a形成在液晶板 的一個側面并與選通線124連接，所述數據焊盤部125a與的數據線125連接且形成在上側表面，該上側表面垂直于其上通常形成有選通焊盤部
124a的該一個側面。
在陣列基板110上具有多條選通線124和數據線125，它們互相交 叉以限定形成為矩陣形式的多個單位像素；形成在選通線124和數據線 125的交叉區域處的TFT;分別形成在選通線124和/或數據線125的端 部處的多個選通焊盤部124a和數據焊盤部125a;以兩個或更多個焊盤單 元部為一組(一個焊盤單元部)在選通焊盤部124a和/或數據焊盤部125a 上以之字形(或傾斜線)形式形成的接觸孔125b;以及形成在陣列基板 110的各個單位像素處的像素電極123。也就是說，各個選通焊盤部124a 和數據焊盤部125a優選地由兩個或更多個互相對齊的焊盤單元部(單位 條)127 (各個焊盤單元部127具有接觸孔125b)構成，以使選通或數據 焊盤部上的所有接觸孔作為一個組形成之字形或傾斜線圖案。在圖9中， 示出了由三個焊盤單元部127構成一個選通或數據焊盤單元部124a或 125a。
根據一個實施方式，通過滾筒印刷處理形成以之字形形式形成在選 通焊盤部124a和數據焊盤部i25a上的接觸孔125b，所述選通焊盤部124a 和數據焊盤部125a分別形成在選通線124和數據線125的端部。
如上所述，為了執行滾筒印刷處理，以與陣列基板IIO的選通線124 和/或形成在選通線124的端部的選通焊盤部124a類似的形式在印刷板 IOO上形成掩模圖案。通過印刷板，能夠以之字形的形式在陣列基板110 的選通焊盤部124a上形成接觸孔。
類似地，通過滾筒印刷方法和印刷板，能夠以之字形的形式在形成 在數據線125的端部處的數據焊盤部125a上形成接觸孔125b。
例如，在選通焊盤部124a和/或數據焊盤部125a上以特定的間隔形 成多個接觸孔125b。在此，將各個焊盤單元部127分為其中形成有接觸 孔125b的第一區域和在接觸孔125b之間的沒有形成接觸孔125b的第二 區域。作為一個示例，第一和第二區域在各個焊盤單元部127中重復地 互相交替。此外，第一區域和第二區域在相鄰的單位焊盤部之間交替。 結果，各個選通/數據焊盤部的所有第一區域中的接觸孔125b都排列成之字形的形式或傾斜線的形式。
在形成LCD裝置的一個示例中，可以在陣列基板110上的同一層同 時形成TFT的柵極、選通線124和選通焊盤部14a。而且，在其上形成 有選通焊盤部124a的陣列基板110上形成柵絕緣膜，在其上形成有柵絕 緣膜的陣列基板110上順序地形成TFT的半導體圖案和源極/漏極。而且， 在其上形成有源極/漏極的陣列基板110上形成保護膜。在此，所述保護 膜也形成在形成有選通焊盤部124a的柵絕緣膜上。
然后，利用上述印刷板滾印PR圖案。之后，通過用于形成接觸孔的 刻蝕處理和用于去除PR的剝起處理，以之字形的形式在焊盤部124a上 形成接觸孔125b。
而且，與在形成像素電極123 (形成在單位像素區域中)時同時形成 的透明導電膜ITO形成在形成有接觸孔的部分處。各個選通焊盤部124a 和各個數據焊盤部125a通過透明導電膜ITO電連接至外部系統，從而將 外部信號分別提供給選通線124和數據線125。
在此，外部系統例如可以是附接至選通焊盤部124a并且其中安裝 有選通驅動IC的選通TCP (帶載封裝)124c、附接至數據焊盤部125a 并且其中安裝有數據驅動IC的數據TCP 125c和通過與選通TCP 124c和 數據TCP 125c連接而產生所有種類的信號的PCB。
例如，其中安裝有選通驅動IC的TCP 124c和其中安裝有數據驅動 IC的數據TCP 125c附接在陣列基板110上，從而將掃描信號和圖像/數 據信號分別提供給形成在陣列基板110上的選通焊盤部124a和數據焊盤 部125a。而且，諸如公共電壓生成電路的各種電路與數據TCP 125c電連 接。該公共電壓生成電路與陣列基板110的公共電壓線連接從而施加公 共電壓(Vcom)。
在以之字形形式在數據焊盤部125a上形成接觸孔124b時，可以同 樣地應用用于在選通焊盤部124a上形成接觸孔125b的滾筒印刷方法。 為了執行滾筒印刷處理，以與陣列基板110的數據線125和/或形成在數 據線125端部的數據焊盤部125a類似的方式在印刷板上形成掩模圖案。 通過用于形成數據焊盤部125a的接觸孔的印刷板，其上形成有掩模圖案的印刷板，能夠以之字形的形式在陣列基板110的數據焊盤部125a上形 成接觸孔125b。
在通過密封劑而結合的濾色器基板140上形成與陣列基板110的像 素電極123對應的實現紅色(R)、綠色(G)和藍色(B)的濾色器。而 且，公共電極面對像素電極123地形成在濾色器上。濾色器基板140包 括分割濾色器的黑底。通過形成在公共電壓線處或公共電壓線上的密封 圖案將公共電壓(Vcom)施加給公共電極，從而與施加給像素電極123 的像素電壓(Vdata) R、 G和B—起產生電場。
然而，在根據本發明第一實施方式的LCD裝置中，在滾筒印刷處理 中會需要更精確地控制滾筒從而避免微小的失準。如果由于某些原因， 因為微小的失準而使滾筒上的用于形成焊盤接觸孔的PR圖案轉移至選 通焊盤部和數據焊盤部的邊緣部分，則在刻蝕形成接觸孔的時候會再次 出現下切現象。為了解決上述可能的局限，本發明提供了第二實施方式， 以下進行說明。
圖IO是示出了根據本發明第二實施方式的LCD裝置的平面圖。
如圖10所示，在作為形成LCD裝置的基本裝置的液晶板中，上濾 色器基板240和下TFT陣列基板210兩者之間隔開特定的間隔而互相面 對，并且在該兩者之間填充有包括液晶分子的液晶。
在此，用于向液晶施加電壓的電極被構造為設置在濾色器基板240 上的公共電極和設置在陣列基板210上的像素電極223。當向兩種電極施 加電壓時，由所施加的電壓之間的差形成的垂直電場控制設置在基板210 和240之間的液晶分子的方向。
LCD裝置包括在液晶板下部并用作光源的背光單元和設置在液晶板 的邊緣部分以操作液晶板的驅動單元。在此，驅動單元被設置在PCB (印 刷電路板)上。該PCB被劃分為與液晶顯示板的選通線224連接的選通 PCB和與液晶顯示板的數據線225連接的數據PCB。
各個PCB連接至TCP (帶載封裝)224c、 225c,該TCP224c和225c 分別連接至選通焊盤部224a和數據焊盤部225a，其中所述選通焊盤部 224a形成在液晶板的一個側面處并與選通線224連接，所述數據焊盤部225a與數據線225連接且形成在垂直于其上形成有選通焊盤部224a的該 一個側面的上側表面處。
在陣列基板210上具有多條選通線224和數據線225，它們互相交 叉以限定形成為矩陣形式的多個單位像素；形成在選通線224和數據線 225的交叉區域處的TFT;多個選通焊盤部224a和數據焊盤部225a;在 選通焊盤部224a和數據焊盤部225a上的接觸孔225b;以及分別形成在 基板的各單位像素處的像素電極223。優選地，各個選通焊盤部224a和 數據焊盤部和225a由對齊的兩個或更多個焊盤單元部227 (各個焊盤單 元部具有接觸孔225b)構成，以使在各個焊盤部224a或225a上的所有 接觸孔225b以之字形的形式或者傾斜線的形式排列。此外，各個焊盤單 元部227包括至少一個第一區域和至少一個與第一區域交替的第二區域， 其中各個第一區域包括一個接觸孔225b。包括接觸孔225b的第一區域的
線寬(或者稱為寬度)比不包括任何接觸孔的第二區域的線寬要寬。在 圖IO中，示出了形成各個焊盤部224a或225a的焊盤單元部227的這種 結構的示例。而且，在圖10中示出了由三個焊盤單元部227構成一個選 通或數據焊盤單元部224a或225a。
此外，優選地，通過滾筒印刷處理形成以之字形形式形成在選通焊 盤部224a和數據焊盤部225a上的接觸孔225b，所述選通焊盤部224a和 數據焊盤部225a分別形成在選通線224和數據線225的端部。
如上所述，為了執行滾筒印刷處理，以與陣列基板210的選通線224 和/或形成在選通線224的端部處的選通焊盤部224a類似的形式在印刷板 上形成掩模圖案。通過用于形成選通焊盤部224a的接觸孔的印刷板，其 上形成有掩模圖案的印刷板，能夠以之字形的形式在陣列基板210的選 通焊盤部224a上形成接觸孔225b。
通過與用于在選通焊盤部224a上形成接觸孔224b相同或類似的滾 筒印刷方法，能夠以之字形的形式在形成在數據線225的端部處的數據 焊盤部225a上形成接觸孔225b。
在一個示例中，用于各選通焊盤部224a和數據焊盤部225a的各焊 盤單元部被分為具有大線寬的至少一個第一區域和在第一區域之間(或者鄰接第一區域)并具有小線寬的至少一個第二區域。在此，在具有大
線寬的第一區域上形成有接觸孔225b，并且相應地在每個單位焊盤部上 以恒定的間隔形成有多個接觸孔225b。此外，由于第一區域和第二區域 在相鄰的單位焊盤部之間以及相同的單位焊盤部內互相交替，從而第一 區域上的接觸孔225b呈現為之字形的圖案。
在形成LCD裝置中的一個示例中，可以在陣列基板210上的同一層 同時形成TFT的柵極、選通線224和選通焊盤部24a。而且，在其上形 成有選通焊盤部224a的陣列基板210上形成柵絕緣膜，在其上形成有柵 絕緣膜的陣列基板210上順序地形成TFT的半導體圖案和源極/漏極。而 且，在其上形成有源極/漏極的陣列基板210上形成保護膜。在此，所述 保護膜也形成在形成有選通焊盤部224a的柵絕緣膜上。
然后，利用上述印刷板滾印PR圖案。之后，通過用于形成接觸孔的 刻蝕處理和用于去除PR的剝起處理，如上所述以之字形的形式為各個選 通和數據焊盤部形成接觸孔。
而且，在與形成像素電極223 (形成在單位像素區域中)時同時形成 的透明導電膜ITO形成在形成有接觸孔的部分處。各個選通焊盤部224a 和各個數據焊盤部225a通過透明導電膜ITO連接至外部系統，從而將外 部信號分別提供給選通線224和數據線225。
在此，外部系統例如可以是附接至選通焊盤部224a并且其中安裝 有選通驅動IC的選通TCP (帶載封裝)224c、附接至數據焊盤部225a 并且其中安裝有數據驅動IC的數據TCP (帶載封裝)225c和通過與選通 TCP 224c和數據TCP 225c連接而產生所有種類的信號的PCB。
也就是說，其中安裝有選通驅動IC的TCP 224c和其中安裝有數據 驅動IC的數據TCP 125c附接在陣列基板210上，從而將掃描信號和圖 像信號分別提供給形成在陣列基板210上的選通焊盤部224a和數據焊盤 部225a。而且，諸如公共電壓生成電路的各種電路與數據TCP 225c電連 接。該公共電壓生成電路與陣列基板210的公共電壓線連接，從而施加 公共電壓(Vcom)。
在以之字形形式在數據焊盤部225a上形成接觸孔225b時，可以同樣地應用用于在選通焊盤部224a上形成接觸孔225b的滾筒印刷方法。 為了執行滾筒印刷處理，以與陣列基板210的數據線225和/或形成在數 據線225端部處的數據焊盤部225a類似的方式在印刷板上形成掩模圖 案。如上所述，通過用于形成數據焊盤部225a的接觸孔的印刷板，其上 形成有掩模圖案的印刷板，能夠以之字形的形式在陣列基板210的數據 焊盤部225a上形成接觸孔225b。
在通過密封劑而接合的濾色器基板240上形成與陣列基板210的像 素電極223對應的實現紅色(R)、綠色(G)和藍色(B)的濾色器。而 且，公共電極面對像素電極223地形成在濾色器上。濾色器基板240包 括分割濾色器的黑底。通過形成在公共電壓線處或公共電壓線上的密封 圖案將公共電壓(Vcom)施加給公共電極，從而與施加給像素電極223 的像素電壓(Vdata) R、 G和B—起產生電場。
以下，參照圖IIA至IIC來解釋根據本發明第一和第二實施方式的 LCD裝置的焊盤部(選通焊盤部和/或數據焊盤部)的各個結構。
如圖11A至11C所示，根據本發明的實施例，本發明提供了在每個 焊盤部(或者焊盤單元部)上形成相同的接觸孔或者兩個或更多個接觸 孔，或者在每個焊盤部(或者焊盤單元部)上形成數量互不相同的接觸 孔。可以使用具有對應圖案的合適印刷板。
在此，形成在一個焊盤單元部上的接觸孔與形成在與該一個焊盤單 元部相鄰的另一個焊盤單元部上的接觸孔設置在不同的線上。也就是說， 形成有接觸孔的第一區域和沒有形成接觸孔的第二區域應當形成為彼此 交叉。
因此，這使得在進行滾筒印刷處理時焊盤部之間的間距變小。從而 能夠減少附接至焊盤部的TCP的數量，進而降低制造成本。
同時，根據本發明第一實施方式和第二實施方式以之字形的形式在 LCD裝置的焊盤部上形成接觸孔，不限于滾筒印刷處理。例如，根據本 發明以之字形形式形成接觸孔也可以用于光刻處理或者其他合適的處 理。
而且，為了降低制造LCD裝置時的制造成本，本發明減少了附接至TFT陣列基板的焊盤部的TCP的數量。也就是說，為了減少TCP的數量， 優選地縮短了選通焊盤部和數據焊盤部之間的間距。
在此，當焊盤部之間的間距縮短時，涂敷在焊盤部之間的空隙處的 光刻膠與柵絕緣膜或保護膜之間的連接力相對地變弱了，從而產生在用 于形成接觸孔的顯影處理時使光刻膠平穩剝離的剝離現象。
根據本發明，在光刻膠與柵絕緣膜或保護膜之間的接觸面積大。因 此，能夠通過設計允許在TFT陣列基板或其他合適的基板上以之字形形 式形成接觸孔的掩模來平穩執行光刻處理。
因此，本發明防止了在利用滾筒印刷處理在LCD裝置的選通焊盤部
和數據焊盤部上形成接觸孔時，位于形成焊盤部的邊緣部的金屬膜的一
部分在研磨處理中斷開。因此，能夠減少在單元處理過程中由于異物而
導致的劣質板，從而增加產品的產量。
前述的實施方式和優點僅是示例性的而不能限制本發明。本發明中 的內容能夠容易地應用于其它類型的設備。上述描述僅僅用于進行解釋
而不能限制權利要求的范圍。對于本領域普通技術人員來說，很多變化、 修改和變型都是顯見的。在此描述的示例性實施方式的特征、結構、方 法和其他特性可以以各種方式相結合從而得到其他的和/或變化的示例性 實施方式。
由于本發明能夠不脫離其特點而以多種形式實施，除非明確指出， 否則應當理解為上述實施方式并不限于上述描述中的任何細節，而是應 當廣泛地以所附的權利要求所限定的范圍來確立，因此所有落入權利要 求的范圍或與該范圍的等同的范圍內的改變和變型例將被所附權利要求 所包括。
本申請要求2008年4月23日提交的申請號為10-2008-0037919的韓 國專利申請的優先權，通過引用將其并入于此。
權利要求
1、一種液晶顯示裝置，該液晶顯示裝置包括多條選通線和多條數據線，其設置在基板上以限定多個單位像素；薄膜晶體管，其分別形成在選通線和數據線的交叉區域處；多個選通焊盤部和多個數據焊盤部，其分別形成在選通線和數據線的端部處，選通焊盤部和數據焊盤部中的至少一個由至少兩個焊盤單元部構成，各個焊盤單元部具有至少一個接觸孔以使所述多個選通焊盤部或所述多個數據焊盤部中的一個的接觸孔以之字形或傾斜線的形式排列；以及像素電極，其形成在所述單位像素處。
2、 根據權利要求l所述的液晶顯示裝置，其中，所述至少兩個焊盤 單元部中的每一個包括至少一個具有至少一個接觸孔的第一區域，和至 少一個與所述至少一個第一區域相鄰并且不包括任何接觸孔的第二區 域。
3、 根據權利要求l所述的液晶顯示裝置，其中，所述至少兩個焊盤 單元部中的每一個針對整個該焊盤單元部具有一致的線寬。
4、 根據權利要求3所述的液晶顯示裝置，其中，所述至少兩個焊盤 單元部全部具有相同的線寬。
5、 根據權利要求3所述的液晶顯示裝置，其中，所述至少兩個焊盤 單元部中的每一個具有單個接觸孔，并且任兩個相鄰的接觸孔彼此都不 對齊。
6、 根據權利要求3所述的液晶顯示裝置，其中，在所述至少兩個焊 盤單元部中的每一個中的接觸孔的數量不同。
7、 根據權利要求1所述的液晶顯示裝置，其中，各個焊盤單元部針 對整個該焊盤單元部具有變化的線寬。
8、 根據權利要求l所述的液晶顯示裝置，其中，所述至少兩個焊盤 單元部中的每一個包括至少一個具有接觸孔且具有第一線寬的第一區 域，和至少一個不包括接觸孔且具有比第一線寬小的第二線寬的第二區域。
9、 根據權利要求8所述的液晶顯示裝置，其中，所述至少兩個焊盤單元部中的每一個具有位于該焊盤單元部的相對兩側的成對突起。
10、 根據權利要求9所述的液晶顯示裝置，其中，所述至少兩個焊盤單元部中的每一個具有以規則間隔設置的多對突起。
11、 根據權利要求io所述的液晶顯示裝置，其中，選通焊盤部和數據焊盤部中的所述至少一個的所述多對突起形成之字形圖案或傾斜線。
12、 一種制造液晶顯示裝置的方法，該方法包括以下步驟形成設置在基板上以限定多個單位像素的多條選通線和多條數據線；分別在選通線和數據線的交叉區域處形成薄膜晶體管；在選通線和數據線的端部處分別形成多個選通焊盤部和多個數據焊盤部，所述多個選通焊盤部和所述多個數據焊盤部中的至少一個包括接觸孔，其中，該形成多個選通焊盤部和多個數據焊盤部的步驟包括以下步驟提供具有預定圖案的印刷板，所述預定圖案為之字形圖案或傾斜線圖案；將具有光刻膠材料的滾筒放置到印刷板上，以將印刷板的所述預定圖案轉移到滾筒上；以及將具有經轉移的預定圖案的滾筒放置在基板上，從而形成具有與所述滾筒上的經轉移的預定圖案對應的圖案的接觸孔；以及在單位像素處形成像素電極。
13、 根據權利要求12所述的方法，其中，所述選通焊盤部和數據焊盤中的每一個由至少兩個焊盤單元部構成，并且所述至少兩個焊盤單元部中的每一個針對整個該焊盤單元部具有一致的線寬。
14、 根據權利要求13所述的方法，其中，所述至少兩個焊盤單元部中的每一個具有單個接觸孔，并且任兩個相鄰的接觸孔彼此都不對齊。
15、 根據權利要求12所述的方法，其中，所述選通焊盤部和數據焊盤中的每一個由至少兩個焊盤單元部構成，并且在所述至少兩個焊盤單元部中的每一個中的接觸孔的數量不同。
16、 根據權利要求12所述的方法，其中，所述選通焊盤部和數據焊盤中的每一個由至少兩個焊盤單元部構成，并且各個焊盤單元部針對整個該焊盤單元部具有變化的線寬。
17、 根據權利要求12所述的方法，其中，所述選通焊盤部和數據焊盤中的每一個由至少兩個焊盤單元部構成，并且其中，所述至少兩個焊盤單元部中的每一個包括至少一個具有接觸孔且具有第一線寬的第一區域和至少一個不包括接觸孔且具有比第一線寬小的第二線寬的第二區域。
18、 根據權利要求17所述的方法，其中，所述至少兩個焊盤單元部中的每一個具有位于該焊盤單元部的相對兩側的成對突起。
19、 根據權利要求18所述的方法，其中，所述至少兩個焊盤單元部中的每一個具有以規則間隔設置的多對突起。
20、 根據權利要求19所述的方法，其中，選通焊盤部和數據焊盤部中的所述至少一個的所述多對突起形成之字形圖案或傾斜線。
全文摘要
本發明描述了一種液晶顯示裝置及其制造方法。根據一個實施方式，液晶顯示裝置包括多條選通線和多條數據線，其設置在基板上以限定多個單位像素；薄膜晶體管，其分別形成在選通線和數據線的交叉區域處；多個選通焊盤部和多個數據焊盤部，其分別形成在選通線和數據線的端部，選通焊盤部和數據焊盤部中的至少一個由至少兩個焊盤單元部構成，各個焊盤單元部具有至少一個接觸孔以使所述多個選通焊盤部或所述多個數據焊盤部中的一個的接觸孔以之字形或傾斜線的形式排列；以及像素電極，其形成在所述單位像素處。
文檔編號G02F1/133GK101566769SQ20081018468
公開日2009年10月28日 申請日期2008年12月15日 優先權日2008年4月23日
發明者南承熙, 張允瓊, 柳洵城, 金南國, 鞠允鎬 申請人:樂金顯示有限公司