專利名稱：照明模塊的移動裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種移動裝置，且特別涉及一種光刻機照明模塊的移動裝置。
背景技術：
在步進或掃描式光刻 機中，由于照明模塊一般在掩模臺之上，并且垂向相隔空間狹小，如果需要對掩模臺進行維護、維修，如對掩模臺的承版臺擦拭、清洗，對驅動電機及氣缸進行維護、維修、更換安裝等，須首先將掩模臺上部的照明模塊、對準模塊移開，露出掩模臺維護、維修部位，待維護或維修工作結束后再將照明模塊恢復原位。因此，照明模塊的移入移出需要保證足夠的重復定位精度，以保證快速恢復整機工作。目前技術中用于光刻機照明頂部模塊的安裝維護機構所涉及的升降裝置，是通過電機驅動，齒形輪-皮帶、蝸輪-蝸桿、絲杠-螺母傳動，通過4個調節裝置與照明模塊連接，將照明提升400 600mm的高度，從而對掩模進行維護、維修工作。其缺點是I.結構復雜、傳動鏈長、效率低；2.連接剛性低、可靠性低；3.占用聞度空間大。
發明內容
本發明提出一種照明模塊的移動裝置，快速提升旋轉照明頂部模塊，并具有較高的重復定位精度，能夠解決上述問題。為了達到上述目的，本發明提出一種照明模塊的移動裝置，包括底座；第一限位塊和第二限位塊，分別固定于底座上；承載板，靠在第一限位塊上；旋轉單元,承載并轉動承載板；氣缸,連接旋轉單元,用以沿Z向驅動旋轉單元，當氣缸沿+Z向驅動旋轉單元至固定距離時，旋轉單元轉動承載板，使承載板靠在第二限位塊上。進一步說，旋轉單元包括旋轉軸，緊固連接于承載板；軸承，連接于氣缸，旋轉軸可轉動地設置于軸承內。進一步說，軸承為軸向或徑向圓柱滾子軸承，旋轉軸固定于軸承的內圈，軸承的外圈固定連接有第一軸承座，第一軸承座連接于底座。進一步說,移動裝置還包括導向模塊，包括滾珠導套和導向軸，導向軸固定在底座上，滾珠導套固定在旋轉單元上，滾珠導套沿Z向可移動地套在導向軸上。進一步說，導向模塊還包括
第二軸承座，滾珠導套安裝在第二軸承座內；調整螺釘，安裝在第二軸承座上，用以調整滾珠導套與導向軸的徑向間隙。進一步說，第二軸承座固定在第一軸承座上。本發明還提供一種照明模塊的移動方法，應用于如前的移動裝置，包括以下步驟a.松開所述旋轉單元的第一軸承座與所述底座緊固連接；b.松開所述承載板與所述第一定位塊；c.氣缸驅動旋轉單元沿+Z向移動固定距離；d.轉動承載板至靠第二定位塊；以及·
e.鎖緊承載板與第二定位塊。進一步說，在步驟c之后，還包括以下步驟f.松開承載板與第二定位塊；g.轉動承載板至復位位置；h.氣缸驅動承載板沿-Z向移動固定距離；以及i.鎖緊所述承載板與所述第一定位塊。本發明提出的照明模塊的移動裝置，利用了導向模塊與旋轉單元，消除了安裝間隙所產生的軸向、徑向竄動，實現了結構簡化、定位精度高、安裝調試方便的性能。同時由于軸承內部軸向、徑向均勻布置著高精度的滾柱，負荷平均分載，承載強、剛性大、尤其是軸向剛性、傾斜剛性更大，實現了高的可靠性。
圖I所示為本發明較佳實施例移動裝置的結構示意圖；圖2a所示為本發明較佳實施例旋轉單元的剖面圖；圖2b所示為本發明較佳實施例旋轉單元的俯視圖；圖3所示為本發明較佳實施例照明模塊的移動方法的步驟流程圖。
具體實施例方式為了更了解本發明的技術內容，特舉具體實施例并配合所附圖式說明如下。請參看圖I,圖I所示為本發明較佳實施例移動裝置的結構示意圖。移動裝置包括氣缸I、旋轉單元2、導向模塊3、承載板4、第一限位塊7、第二限位塊5和底座6組成。照明模塊(圖中未示出)設置在承載板4之上，承載板4靠在第一限位塊7上。氣缸I沿Z向驅動旋轉單元2。當旋轉單元2提升固定距離h后，能夠旋轉承載板4，然后將承載板4靠在第二限位塊5上。使用者可以將承載板4鎖緊在第二限位塊5上，進行維護、維修工作。移動裝置還可以包括導向模塊3，導向模塊3能夠引導承載板4沿Z向移動。導向模塊3的細部結構，在后面進行詳細揭露。圖2a所示為本發明較佳實施例旋轉單元的剖面圖，圖2b所示為本發明較佳實施例旋轉單元的俯視圖。
請結合參考圖2a和圖2b。導向模塊3至少包括滾珠導套304和導向軸305。導向軸305安裝定位在底座6上，使用止動螺釘301鎖緊。滾珠導套304固定在第二軸承座302上。滾珠導套304沿Z向可移動地套在導向軸305上。導向模塊3還可以包括第二軸承座302和調整螺釘303。滾珠導套304安裝定位在第二軸承座302內。調整螺釘303安裝在第二軸承座302上，用以調節滾珠導套304的徑向位置。利用第二軸承座302上的調整螺釘303，調整滾珠導套304與導向軸305的徑向間隙，直至在轉動時感覺到輕微阻力(無間隙)為止。這時承載板4在滾珠導套304的導向下，沿導向軸305做無間隙Z方向運動，導向模塊3能夠實現高的重復定位精度。旋轉單元2至少包括軸承203、旋轉軸204及第一軸承座201。第一軸承座201連接于底座6。第二軸承座302固定在第一軸承座201上，軸承203通過第一軸承座201使導向模塊3的第二軸承座302固定在其上，使得旋轉單元2能夠被導向模塊3在Z向進行導 向。旋轉軸204可轉動地設置于軸承203內。旋轉軸204固定連接于承載板4，用以驅動所述承載板4轉動。軸承203為軸向或徑向圓柱滾子軸承，包括內圈、外圈及二者之間的滾珠。內圈能夠相對于外圈轉動。旋轉軸204與軸承203配合安裝在一起，并利用螺釘205與軸承203的內圈鎖緊在一起。軸承203外圈與第一軸承座201固定連接，并利用螺釘206與第一軸承座201鎖緊在一起。旋轉單元2還可以包括連接板208，旋轉單元2通過連接板208與氣缸I連接在一起。旋轉單元2在氣缸I的驅動下，通過導向模塊3，沿+Z方向提升一定高度后，氣缸自動鎖緊。旋轉單元2還可以包括螺釘組209,通過螺釘組209,旋轉單元2能夠被鎖緊在底座6上。圖3所示為本發明較佳實施例照明模塊的移動方法的步驟流程圖。步驟S301 :照明模塊靠在第一定位塊7上。步驟S302 :松開連接底座6與旋轉單元2的螺釘組209、松開承載板4與所述第一定位塊7。本步驟并非為必須步驟，當旋轉單元2未利用螺釘組209固定在底座6上或承載板4未鎖緊在第一定位塊7上時，則直接進入步驟S303。步驟S303 :氣缸I驅動旋轉單元2沿+Z向移動固定距離h。步驟S304 :轉動承載板4至靠第二定位塊5。步驟S305 :鎖緊承載板4與第二定位塊5。此時能夠對照明模塊進行維護、維修。 待維護、維修作業結束，首先松開承載板4與第二定位塊5，轉動承載板4至復位位置。氣缸I的活塞桿縮回，承載板4開始下降，帶動與活塞桿連接的連接板208下降。連接板208與第一軸承座201剛性連接在一起，從而帶動旋轉單元2沿-Z向移動固定距離h至底座6上，保證了 Z向重復定位精度及高的可靠性。輕微推動承載板4使之定位面緊靠機械限位定位塊7，并鎖緊，完成了維護、維修作業。本發明利用了導向模塊與旋轉單元，消除了安裝間隙所產生的軸向、徑向竄動，實現了結構簡化、定位精度高、安裝調試方便的性能。同時由于軸承內部軸向、徑向均勻布置著高精度的滾柱，負荷平均分載，承載強、剛性大、尤其是軸向剛性、傾斜剛性更大，實現了高的可靠性。利用本發明所提供的照明模塊提升旋轉單元，在照明模塊的維護、維修和復位工作過程中重復定位精度為O O. 02。實現了結構簡單、操作方便、可靠性高的特點。雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和范圍內，當可作各種的更動與潤飾。因此，本發明的保護范圍當視權利要求書所界定者為準。·
權利要求
1.一種照明模塊的移動裝置，其特征是，包括 底座； 第一限位塊和第二限位塊，分別固定于所述底座上； 承載板，靠在所述第一限位塊上； 旋轉單元，承載并轉動所述承載板；以及 氣缸，連接所述旋轉單元，用以沿Z向驅動所述旋轉單元， 當所述氣缸沿+Z向驅動所述旋轉單元至固定距離時，所述旋轉單元轉動所述承載板，使所述承載板靠在所述第二限位塊上。
2.根據權利要求I所述的移動裝置，其特征是，所述旋轉單元包括 旋轉軸，緊固連接于所述承載板； 軸承，連接于所述氣缸，所述旋轉軸可轉動地設置于所述軸承內。
3.根據權利要求I所述的移動裝置，其特征是，所述軸承為軸向或徑向圓柱滾子軸承，所述旋轉軸固定于所述軸承的內圈，所述軸承的外圈固定連接有第一軸承座，所述第一軸承座連接于所述底座。
4.根據權利要求I所述的移動裝置，其特征是，還包括 導向模塊，包括滾珠導套和導向軸，所述導向軸固定在所述底座上，所述滾珠導套固定在所述旋轉單元上，所述滾珠導套沿Z向可移動地套在所述導向軸上。
5.根據權利要求4所述的移動裝置，其特征是，所述導向模塊還包括 第二軸承座，所述滾珠導套安裝在所述第二軸承座內；以及 調整螺釘，安裝在所述第二軸承座上，用以調整所述滾珠導套與所述導向軸的徑向間隙。
6.根據權利要求5所述的移動裝置，其特征是， 所述第二軸承座固定在所述第一軸承座上。
7.一種照明模塊的移動方法，應用于如權利要求I所述的移動裝置，其特征是，包括以下步驟 a.松開所述旋轉單元的第一軸承座與所述底座緊固連接； b.松開所述承載板與所述第一定位塊； c.所述氣缸驅動所述旋轉單元沿+Z向移動固定距離； d.轉動所述承載板至靠所述第二定位塊；以及 e.鎖緊所述承載板與所述第二定位塊。
8.根據權利要求7所述的移動方法，其特征是，在步驟c之后，還包括以下步驟 f.松開所述承載板與所述第二定位塊； g.轉動所述承載板至復位位置； h.所述氣缸驅動所述承載板沿-Z向移動所述固定距離；以及 i.鎖緊所述承載板與所述第一定位塊。
全文摘要
本發明提供一種照明模塊的移動裝置，包括底座、第一限位塊、第二限位塊、承載板、氣缸和旋轉單元。第一限位塊和第二限位塊分別固定于底座上。承載板靠在第一限位塊上。旋轉單元承載并轉動承載板。氣缸連接旋轉單元，用以沿Z向驅動旋轉單元。當氣缸沿+Z向驅動旋轉單元至固定距離時，旋轉單元轉動承載板，使承載板靠在第二限位塊上。本發明提出的照明模塊的移動裝置，能夠快速提升、旋轉照明頂部模塊，并具有較高的重復定位精度。
文檔編號G03F7/20GK102902163SQ20111020971
公開日2013年1月30日 申請日期2011年7月25日 優先權日2011年7月25日
發明者黃靜莉 申請人:上海微電子裝備有限公司