專利名稱：光刻參數的修正方法及系統的制作方法
光刻參數的修正方法及系統
技術領域：
本發明涉及一種半導體制造方法及系統，尤其涉及一種光刻參數的修正方法及系統。
背景技術：
目前，半導體產品進行光刻時，多個進行其他工藝的機臺在完成對應的工藝后，將多批產品送至光刻機上進行光刻。光刻時，為維持產品批與批之間的穩定性，大都采用RTR (RUN-TO-RUN)控制系統來修正進行光刻的黃光參數，保證產品批次之間的穩定性。RTR控制系統收集光刻機已完成的前幾批產品的數據，根據這些數據獲取光刻機的光刻參數修正值(光刻機黃光參數的修正值)，并交與光刻機，對當前及以后批次產品進行修正，控制光刻機本身的漂移，維持生產線的穩定度。但是，當前光刻機已完成批次產品由多個其他工藝的機臺輸送，由于多個其他工藝的機臺之間存在較大的差異，在完成相應工藝后產品差異較大，產品再進行光刻時會對黃光參數造成較大偏差，光刻后產品數據差異也較大，從而使得RTR控制系統根據已完成批次產品的數據獲得的修正值誤差較大，不能準確的對當前及以后批次產品進行修正，使得產品修正的不準確，造成大量的光阻返工問題，光阻返工率大大提高，消耗大量的人力和材料的浪費，產品出貨時間推遲，也降低了光刻機的利用率。
發明內容有鑒于此，有必要提供一種降低產品光阻返工率的光刻參數修正方法。此外，還有必要提供一種降低產品光阻返工率的光刻參數修正系統。
一種光刻參數修正方法，包括如下步驟:多個機臺將產品輸送至光刻機進行處理；于光刻機已處理批次產品中，分別收集各個機臺所輸送產品的數據；根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，分別獲取各個機臺對應的修正值，每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取；根據光刻機當前批次產品對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理。優選的，所述于光刻機已處理批次產品中分別收集各個機臺所輸送產品的數據的步驟具體為:對各個機臺設置代號，各個機臺輸送產品至光刻機時，獲取代號，以確定已處理批次產品與各個機臺的對應關系，根據已處理批次產品與機臺的對應關系，按代號分別收集各個機臺所輸送產品的數據。優選的，所述于光刻機已處理批次產品中，分別收集各個機臺所輸送產品的數據的步驟具體為:分別收集各個機臺所輸送的前五批產品的數據。優選的，所述根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，分別獲取各個機臺對應的修正值的步驟具體為:根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，計算各個機臺所輸送產品數據的平均值，并根據各個機臺產品數據的平均值，獲取各個機臺對應的修正值。優選的，所述根據光刻機當前批次產品對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理的步驟具體為:在機臺輸送當前批次產品至光刻機時，獲取機臺代號，獲取當前批次產品對應的機臺；根據對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻機的光刻參數。一種光刻參數修正系統,包括:收集模塊，用于收集光刻機已完成批次產品的數據，已完成批次產品由多個機臺輸送至光刻機；控制模塊，用于控制所述收集模塊于光刻機已處理批次產品中分別收集各個機臺所輸送產品的數據；修正模塊，根據收集的各個機臺所輸送產品的數據,獲取各個機臺對應的修正值，每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取；控制模塊根據光刻機當前批次產品對應的機臺，控制修正模塊將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理。優選的，所述控制模塊對各個機臺設置代號并存儲各個機臺的代號，各個機臺輸送產品至光刻機時，所述控制模塊獲取代號，以確定已處理批次產品與各個機臺的對應關系，所述控制模塊根據已處理批次產品與機臺的對應關系，控制所述收集模塊按代號分別收集各個機臺所輸送產品的數據。優選的，所述控制模塊控制所述收集模塊收集各個機臺所輸送的前五批產品的數據。優選的，所述修正模塊根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，計算各個機臺所輸送產品數據的平均值，并根據各個機臺產品數據的平均值，獲取各個機臺對應的修正值。優選的，所述控制模塊在機臺輸送當前批次產品至光刻機時，獲取機臺代號，獲取當前批次產品對應的機臺，控制所述修正模塊將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻機的黃光參數。上述光刻參數修正方法及系統，對于各個機臺，從光刻機已完成批次產品中，分別收集各個機臺輸送產品的數據，并根據收集的數據獲取各個機臺對應的修正值，每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取，避免各個機臺不同、產品差異造成的修正值不準確的問題，從而獲取準確的修正值，準確的對當前及以后批次產品進行修正，減少光阻返工問題，使得光阻返工率大大降低，保證產品批與批之間的穩定性，節約大量的人力和材料的浪費，保證產品出貨時間，也提高了光刻機的利用率。
圖1是一個實施例中光刻參數修正方法的流程圖；圖2是一個實施例中光刻參數修正系統的結構示意圖。
具體實施方式
下面結合附圖，對本發明的具體實施方式
進行詳細描述。圖1是一個實施 例中光刻參數修正方法的流程圖，該方法包括:
SlO:多個機臺將產品輸送至光刻機進行處理。光刻機所需的產品由進行其他工藝的多個機臺輸送，各個機臺在完成各自工藝后將產品輸送至光刻機進行光刻處理。 S20:于光刻機已處理批次產品中分別收集各個機臺所輸送產品的數據。由于各個機臺均存在差異，為保證修正值的準確性，需對多個機臺的各個機臺，分別收集各個機臺所輸送產品的參數，獲取各個機臺對應的修正值，在后續各個機臺輸送產品至光刻機時，采用對應的修正值對光刻機光刻參數進行修正。該實施例中，于光刻機已處理批次產品中分別收集各個機臺所輸送產品的數據的步驟具體為:對各個機臺設直代號。例如:將各個機臺設直為:機臺A、機臺B、機臺C等。各個機臺輸送的產品分別與A、B、C對應。各個機臺輸送產品至光刻機時,獲取代號，以確定已處理批次產品與各個機臺的對應關系，即確定已處理批次產品各自由哪個機臺輸送。根據已處理批次產品與機臺的對應關系，按代號分別收集各個機臺所輸送產品的數據。通過各個機臺設置代號，確定產品與各個機臺的對應關系，簡單、便捷，無需大量操作。在優選的實施方式中，對于各個機臺，均收集各個機臺所輸送的前五批產品的數據。S30:根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，獲取各個機臺對應的修正值，每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取。于光刻機已處理批次產品中，分別收集各個機臺所輸送產品的數據后，根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，計算各個機臺產品數據的平均值，并根據各個機臺產品數據的平均值，獲取各個機臺對應的修正值。獲取各個機臺對應的修正值之后，便可在各個機臺將產品輸送至光刻機時，將各個機臺對應的修正值交予光刻機，對各個機臺輸送的產品分別進行修正。S40:根據光刻機當前批次產品對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理。該實施例中，根據光刻機當前批次產品對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理的步驟具體為:在機臺輸送當前批次產品至光刻機時，獲取機臺代號，獲取當前批次產品對應的機臺。根據對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻機的黃光參數，從而能夠對當前批次及以后批次產品進行修正。該光刻參數修正方法，對于各個機臺，于光刻機已完成批次產品中，分別收集各個機臺輸送產品的數據，并根據收集的數據獲取各個機臺對應的修正值。在各個機臺將產品輸送至光刻機時，將各個機臺對應的修正值交予光刻機，對光刻機的參數進行修正，對當前及以后批次產品進行修正。每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取，避免各個機臺不同、產品差異造成的修正值不準確的問題，從而獲取修正值準確，準確的對當前及以后批次產品進行修正，減少光阻返工問題，使得光阻返工率大大降低，保證產品批與批之間的穩定性，節約大量的人力和材料的浪費，保證產品出貨時間，也提高了光刻機的利用率。此外，還提供一種光刻參數修正系統。圖2是一個實施例中光刻參數修正系統的結構示意圖。該光刻參數修正系統包括收集模塊100、控制模塊200以及修正模塊300。收集模塊100用于收集光刻機已完成批次產品的數據，其中，已完成批次產品由多個機臺輸送至光刻機。控制模塊200用于控制收集模塊100于光刻機已處理批次產品中分別收集各個機臺所輸送產品的數據。該實施例中，控制模塊200對各個機臺設置代號并存儲各個機臺的代號。例如:將各個機臺設置為:機臺A、機臺B、機臺C等。各個機臺輸送的產品分別與A、B、C對應。各個機臺輸送產品至光刻機時，控制模塊200獲取代號，以確定已處理批次產品與各個機臺的對應關系，即確定已處理批次產品各自由哪個機臺輸送。控制模塊200根據已處理批次產品與各個機臺的對應關系，控制收集模塊100按代號分別收集各個機臺所輸送產品的數據。通過各個機臺設置代號，確定產品與各個機臺的對應關系，簡單、便捷，無需大量操作。在優選的實施方式中，對于各個機臺，控制模塊200控制收集模塊100收集各個機臺所輸送的前五批產品的數據。修正模塊300根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，獲取各個機臺對應的修正值，每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取。控制模塊200根據光刻機當前批次產品對應的機臺，控制修正模塊300將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻機的光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理。在于光刻機已處理批次產品中，分別收集各個機臺所輸送產品的數據后，修正模塊300根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，計算各個機臺產品數據的平均值，并根據各個機臺產品數據的平均值，獲取各個機臺對應的修正值。修正模塊300獲取各個機臺對應的修正值之后，便可在各個機臺將產品輸送至光刻機時，將各個機臺對應的修正值交予光刻機，對各個機臺輸送的產品分別進行修正。控制模塊200在機臺輸送當前批次產品至光刻機時，獲取機臺代號，獲取當前批次產品對應的機臺。控制模塊200控制修正模塊300將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻機的黃光參數，從而對當前批次及以后批次產品進行修正。該光刻參數修正系統，對于各個機臺，從光刻機已完成批次產品中，分別收集各個機臺輸送產品的數據，并根據收集的數據獲取各個機臺對應的修正值。在各個機臺將產品輸送至光刻機時，將各個機臺對應的修正值交予光刻機，對光刻機的參數進行修正，對當前及以后批次產品進行修正。每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取，避免各個機臺不同、產品差異造成的修正值不準確的問題，從而獲取修正值準確，準確的對當前及以后批次產品進行修正，減少光阻返工問題，使得光阻返工率大大降低，保證產品批與批之間的穩定性，節約大量的人力和材料的浪費，保證產品出貨時間，也提高了光刻機的利用率。上述光刻參數修正方法及系統，對于各個機臺，從光刻機已完成批次產品中，分別收集各個機臺輸送產品的數據，并根據收集的數據獲取各個機臺對應的修正值，每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取，避免各個機臺不同、產品差異造成的修正值不準確的問題，從而獲取準確的修正值，準確的對當前及以后批次產品進行修正，減少光阻返工問題，使得光阻返工率大大降低，保證產品批與批之間的穩定性，節約大量的人力和材料的浪費，保證產品出貨時間，也提高了光刻機的利用率。
以上所述實施例僅表達了本發明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。因此，本發明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
權利要求
1.一種光刻參數修正方法，包括如下步驟: 多個機臺將產品輸送至光刻機進行處理； 于光刻機已處理批次產品中，分別收集各個機臺所輸送產品的數據； 根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，分別獲取各個機臺對應的修正值，每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取； 根據光刻機當前批次產品對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理。
2.根據權利要求1所述的光刻參數修正方法，其特征在于，所述于光刻機已處理批次產品中分別收集各個機臺所輸送產品的數據的步驟具體為:對各個機臺設置代號，各個機臺輸送產品至光刻機時，獲取代號，以確定已處理批次產品與各個機臺的對應關系，根據已處理批次產品與機臺的對應關系，按代號分別收集各個機臺所輸送產品的數據。
3.根據權利要求2所述的光刻參數修正方法，其特征在于，所述于光刻機已處理批次產品中，分別收集各個機臺所輸送產品的數據的步驟具體為:分別收集各個機臺所輸送的前五批產品的數據。
4.根據權利要求2所述的光刻參數修正方法，其特征在于，所述根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，分別獲取各個機臺對應的修正值的步驟具體為:根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，計算各個機臺所輸送產品數據的平均值，并根據各個機臺產品數據的平均值，獲取各個機臺對應的修正值。
5.根據權利要求2所述的光刻參數修正方法，其特征在于，所述根據光刻機當前批次產品對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理的步驟具體為:在機臺輸送當前批次產品至光刻機時，獲取機臺代號，獲取當前批次產品對應的機臺；根據對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻機的光刻參數。
6.一種光刻參數修正系統，其特征在于，包括: 收集模塊，用于收集光刻機已完成批次產品的數據，已完成批次產品由多個機臺輸送至光刻機； 控制模塊，用于控制所述收集模塊于光刻機已處理批次產品中分別收集各個機臺所輸送產品的數據； 修正模塊，根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，獲取各個機臺對應的修正值，每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取； 控制模塊根據光刻機當前批次產品對應的機臺，控制修正模塊將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理。
7.根據權利要求6所述的光刻參數修正系統，其特征在于，所述控制模塊對各個機臺設置代號并存儲各個機臺的代號，各個機臺輸送產品至光刻機時，所述控制模塊獲取代號，以確定已處理批次產品與各個機臺的對應關系，所述控制模塊根據已處理批次產品與機臺的對應關系，控制所述收集模塊按代號分別收集各個機臺所輸送產品的數據。
8.根據權利要求7所述的光刻參數修正系統，其特征在于，所述控制模塊控制所述收集模塊收集各個機臺所輸送的前五批產品的數據。
9.根據權利要求7所述的光刻參數修正系統，其特征在于，所述修正模塊根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，計算各個機臺所輸送產品數據的平均值，并根據各個機臺產品數據的平均值，獲取各個機臺對應的修正值。
10.根據權利要求7所述的光刻參數修正系統，其特征在于，所述控制模塊在機臺輸送當前批次產品至光刻機時，獲取機臺代號，獲取當前批次產品對應的機臺，控制所述修正模塊將機臺對應的修正 值交予光刻機，修正光刻機的黃光參數。
全文摘要
本發明涉及一種光刻參數修正方法及系統，該方法包括多個機臺將產品輸送至光刻機進行處理；于光刻機已處理批次產品中，分別收集各個機臺所輸送產品的數據；根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，分別獲取各個機臺對應的修正值，每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取；根據光刻機當前批次產品對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理。本發明獲取準確的修正值，準確的對當前及以后批次產品進行修正，減少光阻返工問題，使得光阻返工率大大降低，保證產品批與批之間的穩定性，節約大量的人力和材料的浪費，保證產品出貨時間，也提高了光刻機的利用率。
文檔編號G03F7/20GK103091996SQ201110348440
公開日2013年5月8日 申請日期2011年11月7日 優先權日2011年11月7日
發明者許宗能, 蔡建祥, 周瑋, 楊兆宇 申請人:無錫華潤上華科技有限公司