一種小型超高真空規管的制作方法
【專利摘要】本實用新型公布了一種小型超高真空規管，包括殼體組件、以及穿過殼體組件的柵極管腳、收集極管腳、以及兩個電極管腳，在所述的殼體組件內設置有一個固定在柵極管腳上的圓桶狀柵極，在收集極管腳上固定有一根位于圓桶狀柵極軸線上的收集極，在兩根電極管腳之間安裝有一根位于圓桶狀柵極外側的燈絲；所述圓桶狀柵極表面設置有多個均勻分布的孔，圓桶狀柵極的開孔率大于0.9。本實用新型蜂窩狀的柵極板結構在加熱條件下也保持其結構，不會因為重力的作用而坍塌變形，從而保持測量的穩定性和精度，相對于現有技術而言，測量的真空度量級可以達到10-8Pa的超高真空狀態；其長度大大減小，從而減小了整體的體積，有利于規管的小型化。
【專利說明】一種小型超高真空規管
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種真空規管，具體是指一種小型超高真空規管。
【背景技術】
[0002]真空規管就是測量真空度的傳感器。真空規管測量出來的信號傳輸到真空計上經過放大處理就可以顯示出被測真空環境的真空度，主要應用于真空環境的真空度測量領域，如真空鍍膜，太陽能集熱管制作，真空冶煉等。熱陰極電離真空規管是一種應用非常廣泛的真空規管，其測量范圍跨越了低真空、中真空、高真空的真空區域，得到用戶的廣泛歡迎。
[0003]目前的高真空規管只能夠測量到10_5Pa的高真空狀態，對于超高真空的測量，目前還沒有規管可以測量的小型化規管，一般都會體積很大，龐大的體積限制了小型化真空管的應用。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的在于提供一種小型超高真空規管，解決目前的真空規管體積大，測量的真空量級小的問題，達到減小真空規管體積、提高測量精度的目的。
[0005]本實用新型的目的通過下述技術方案實現:
[0006]一種小型超高真空規管，包括殼體組件、以及穿過殼體組件的柵極管腳、收集極管腳、以及兩個電極管腳，在所述的殼體組件內設置有一個固定在柵極管腳上的圓桶狀柵極，在收集極管腳上固定有一根位于圓桶狀柵極軸線上的收集極，在兩根電極管腳之間安裝有一根位于圓桶狀柵極外側的燈絲；所述圓桶狀柵極表面設置有多個均勻分布的孔，圓桶狀柵極的開孔率大于0.9。 申請人:對現有技術中的高真空度真空規管進行了研宄，最先進的結構如申請號為“201320375782.8”名稱為“一種小型化復合真空規管”所描述的結構， 申請人:發現其結構實際上是存在缺陷的:由于其柵極是利用鎢絲繞成螺旋狀的結構，這樣的結構在不使用的時候，鎢絲本身的強度足夠保持其形狀結構，但是這樣的結構使得鎢絲每一節之間的距離不能很大，且需要很長的總體長度來保證對電子的推動力，而且在長時間的發熱狀態下，鎢絲本身的強度和耐受力降低，在鎢絲本身重力的作用下，會導致螺旋狀的鎢絲下塌，造成不均勻的推力場，導致了測量結構的不準確，而且只能測量一般的真空環境，對于超高真空環境的測量，卻不能實現，經試驗，這樣的結構測量量值最多能達到KT5Pa的高真空狀態；針對現有技術的缺陷， 申請人:對現有的規管進行了改進:首先改進了柵極的結構，利用蜂窩狀的柵極板結構，柵極上蜂窩狀孔的結構遠遠大于空余孔之間的柵極板材寬度，相當于利用絲狀材料編織成的多孔板，這樣的板狀結構可以使得柵極在加熱條件下也保持其結構，不會因為重力的作用而坍塌變形，從而保持測量的穩定性和精度，相對于現有技術而言，測量的真空度量級可以達到10_8Pa的超高真空狀態；而且，蜂窩狀的柵極結構，其長度遠遠相對于現有技術中的絲狀柵極而言，其長度大大減小，從而減小了整體的體積，有利于規管的小型化。
[0007]所述的圓桶狀柵極是采用鉬制成的。相對于現有技術而言， 申請人:對柵極的材料也做出了研宄，最后從眾多的材料中尋找到了鉬來做柵極的材料，利用其放氣量小、耐高溫、材質較硬、不易在高溫下變形的性能，網狀的結構使得柵極包圍的空間增大，有利于電子的穿越，截獲電子量少，而且鉬作為柵極板其易加工成型，有利于模具控制尺寸大小一致，提高規管的一致性、穩定性、可靠性。
[0008]所述燈絲采用直徑0.1mm的鶴絲制成。
[0009]所述的殼體組件包括筒狀的密封殼，密封殼的頂部設置有法蘭盤，密封殼的底部設置有封閉塞，在封閉塞的外側與密封殼的外側還設置有加強件。殼體組件可以使整體式的，也可以是多部件式的，其外形也可以根據客戶的需求制作成不同的外形。
[0010]在所述封閉塞的下方還設置有同軸的定位銷，所述柵極管腳、收集極管腳、以及兩個電極管腳環繞在定位銷外側。通過設置定位銷，可以將規管與其余的監測系統連接，保持相對固定的結構，同時減少管腳受到的外部作用力，避免管腳的損毀。
[0011]本實用新型與現有技術相比，具有如下的優點和有益效果:
[0012]本實用新型一種小型超高真空規管，利用蜂窩狀的柵極板結構，柵極上蜂窩狀孔的結構遠遠大于空余孔之間的柵極板材寬度，相當于利用絲狀材料編織成的多孔板，這樣的板狀結構可以使得柵極在加熱條件下也保持其結構，不會因為重力的作用而坍塌變形，從而保持測量的穩定性和精度，相對于現有技術而言，測量的真空度量級可以達到KT8Pa的超高真空狀態；而且，蜂窩狀的柵極結構，其長度遠遠相對于現有技術中的絲狀柵極而言，其長度大大減小，從而減小了整體的體積，有利于規管的小型化。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]此處所說明的附圖用來提供對本實用新型實施例的進一步理解，構成本申請的一部分，并不構成對本實用新型實施例的限定。在附圖中:
[0014]圖1為本實用新型半剖結構示意圖。
[0015]附圖中標記及相應的零部件名稱:
[0016]1-柵極管腳，2-收集極管腳，3-電極管腳，4-柵極，5-收集極，6-燈絲，7-密封殼，8-法蘭盤，9-封閉塞，10-加強件，11-定位銷。
【具體實施方式】
[0017]為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚明白，下面結合實施例和附圖，對本實用新型作進一步的詳細說明，本實用新型的示意性實施方式及其說明僅用于解釋本實用新型，并不作為對本實用新型的限定。
實施例
[0018]如圖1所示，本實用新型一種小型超高真空規管，包括殼體組件，殼體組件包括筒狀的密封殼7，密封殼7的頂部設置有法蘭盤8，密封殼7的底部設置有封閉塞9，在封閉塞9的外側與密封殼7的外側還設置有加強件10，體組件可以使整體式的，也可以是多部件式的，其外形也可以根據客戶的需求制作成不同的外形；在封閉塞9上設置有穿過封閉塞9的柵極管腳1、收集極管腳2、以及兩個電極管腳3，在封閉殼7內的柵極管腳I上固定有一個的圓桶狀柵極4，在封閉殼7內的收集極管腳2上固定有一根位于圓桶狀柵極4軸線上的收集極5，收集極5呈針狀，在兩根電極管腳3之間安裝有一根位于圓桶狀柵極4外側的燈絲6，燈絲6采用直徑0.1mm的鎢絲制成；圓桶狀柵極4表面設置有多個均勻分布的孔，圓桶狀柵極4的開孔率大于0.9 ;柵極4上蜂窩狀孔的結構遠遠是利用鉬制成的，孔大于空余孔之間的柵極板材寬度，相當于利用絲狀材料編織成的多孔板，這樣的板狀結構可以使得柵極在加熱條件下也保持其結構，不會因為重力的作用而坍塌變形，從而保持測量的穩定性和精度，相對于現有技術而言，測量的真空度量級可以達到KT8Pa的超高真空狀態；在封閉塞9的下方還設置有同軸的定位銷11，柵極管腳1、收集極管腳2、以及兩個電極管腳3環繞在定位銷11外側。
[0019]以上所述的【具體實施方式】，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的【具體實施方式】而已，并不用于限定本實用新型的保護范圍，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種小型超高真空規管，包括殼體組件、以及穿過殼體組件的柵極管腳(1)、收集極管腳(2)、以及兩個電極管腳(3)，其特征在于:在所述的殼體組件內設置有一個固定在柵極管腳(I)上的圓桶狀柵極(4)，在收集極管腳(2)上固定有一根位于圓桶狀柵極(4)軸線上的收集極(5)，在兩根電極管腳(3)之間安裝有一根位于圓桶狀柵極(4)外側的燈絲(6);所述圓桶狀柵極(4)表面設置有多個均勻分布的孔，圓桶狀柵極(4)的開孔率大于0.9。
2.根據權利要求1所述的一種小型超高真空規管，其特征在于:所述的圓桶狀柵極(4)是米用鋁制成的。
3.根據權利要求1所述的一種小型超高真空規管，其特征在于:所述燈絲(6)采用直徑0.1mm的鶴絲制成。
4.根據權利要求1至3中任意一項所述的一種小型超高真空規管，其特征在于:所述的殼體組件包括筒狀的密封殼(7)，密封殼(7)的頂部設置有法蘭盤(8)，密封殼(7)的底部設置有封閉塞(9)，在封閉塞(9)的外側與密封殼(7)的外側還設置有加強件(10)。
5.根據權利要求4所述的一種小型超高真空規管，其特征在于:在所述封閉塞(9)的下方還設置有同軸的定位銷(11)，所述柵極管腳(I)、收集極管腳(2)、以及兩個電極管腳(3)環繞在定位銷(11)外側。
【文檔編號】H01J41/02GK204257587SQ201420863114
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年12月31日 優先權日:2014年12月31日
【發明者】何居貴, 賀良武, 柳靈 申請人:成都興睿寶電子科技有限公司