專利名稱:一種引弧氣缸限位機構的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種引弧氣缸限位機構，包括氣缸和座，所述氣缸與座之間通過內六角螺釘連接，所述座頂部設有壓板，所述壓板通過十字槽螺釘與座相連，所述座內置有限位柱，所述限位柱兩側設有彈簧，所述限位柱與活塞桿的加工表面接觸，所述活塞桿一端穿過氣缸和座，所述活塞桿的另一端與靶材連接，所述靶材的頂部與引弧針相連。本實用新型的有益效果是：該機構結構簡單、小巧不影響外觀；拆卸方便；價格合理；依靠彈簧力使引弧氣缸活塞桿限位保證引弧穩定；由于是彈簧力該機構又保證了氣缸桿的靈活性因此應用該機構還方便了弧源清理及換靶材工作。
【專利說明】_種弓I弧氣缸限位機構
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及真空鍍膜設備，具體涉及一種引弧氣缸限位機構。
【背景技術】
[0002]隨著社會發展，科技進步人們對各種材料的應用也有了各種各樣的要求。所以在基材表面涂上一層保護性涂層是提高材料表面性能的一種經濟實用的有效途徑，保護性涂層作為機械功能膜的一個重要分支，在工業領域中應用廣泛。多弧離子鍍作為鍍膜行業的一個重要分支應用也越來越廣泛。多弧離子鍍蒸發源是由水冷陰極、磁場和引弧電級等組成。弧源工作需先引弧，引弧機構作為一個重要組成部分要保證引弧穩定，密封性好，維護方便。目前大部分廠家都使用氣缸來實現這一功能，應用氣缸實現了引弧后馬上脫開的要求有效的防止了粘弧現象的產生。
[0003]目前可選的引弧氣缸主要有導向氣缸、旋轉氣缸和普通氣缸。
[0004]1、導向氣缸可以保證引弧位置一致性，引弧穩定問題少。但使用該氣缸在維護弧源拆卸靶材時不方便。
[0005]2.旋轉氣缸位置不方便控制。
[0006]3.普通氣缸引弧過程中弧針會動，影響再次引弧。
【發明內容】
[0007]針對現有技術存在的不足，本發明提供了一種引弧氣缸限位機構，該機構解決了普通氣缸引弧時弧針位置不確定的問題，同時應用該機構也不影響弧源清理以及靶材拆卸更換。
[0008]為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現:一種引弧氣缸限位機構，包括氣缸和座，所述氣缸與座之間通過內六角螺釘連接，所述座頂部設有壓板，所述壓板通過十字槽螺釘與座相連，所述座內置有限位柱，所述限位柱兩內側設有彈簧，所述限位柱與活塞桿的加工表面接觸，所述活塞桿一端穿過氣缸和座，所述活塞桿的另一端與靶材連接，所述靶材的頂部與引弧針相連。
[0009]進一步，所述彈簧均鑲嵌在座上，所述彈簧頂端緊頂壓板，所述彈簧底端緊頂活塞桿。
[0010]進一步，所述彈簧的彈簧力為鎖緊力，當外部作用力大于彈簧鎖緊力時活塞桿將轉動。
[0011]進一步，所述限位柱與座上孔配合，所述限位柱材質為黃銅。
[0012]進一步，所述氣缸與弧源連接。
[0013]本實用新型的有益效果是:該機構結構簡單、小巧不影響外觀；拆卸方便；價格合理；依靠彈簧力使引弧氣缸活塞桿限位保證引弧穩定；由于是彈簧力該機構又保證了氣缸桿的靈活性因此應用該機構還方便了弧源清理及換靶材工作。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型整體結構示意圖；
[0015]圖中:1、座，2、壓板，3、限位柱，4、彈簧，5、十字槽螺釘，6、氣缸，7、引弧針，8、內六角螺釘，9、活塞桿，10、靶材。
【具體實施方式】
[0016]為使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合【具體實施方式】，進一步闡述本實用新型。
[0017]如圖1所示:一種引弧氣缸限位機構，包括氣缸和座，所述氣缸6與座I之間通過內六角螺釘8連接，所述座I頂部設有壓板2，所述壓板2通過十字槽螺釘5與座I相連，所述座I內置有限位柱3，所述限位柱3兩側設有彈簧4，所述限位柱3與活塞桿9的加工表面接觸，所述活塞桿9 一端穿過氣缸6和座1，所述活塞桿9的另一端與靶材10連接，所述靶材10的頂部與引弧針7相連。所述彈簧4均鑲嵌在座I上，所述彈簧4頂端緊頂壓板2，所述彈簧4底部緊頂活塞桿9 ;所述彈簧4的彈簧力為鎖緊力，當外部作用力大于彈簧鎖緊力時活塞桿9將轉動；所述限位柱3與座I上孔配合，所述限位柱3材質為黃銅；所述氣缸(6)與弧源連接。
[0018]氣缸6與座I通過內六角螺釘8連接，使他們緊密連接在一起；座I頂部設有壓板2，且壓板2壓緊彈簧4通過十字槽螺釘5與座I相連，給彈簧4很大的壓力并使彈簧4底部頂緊限位柱3 ;彈簧4均鑲嵌在座I上，彈簧4頂端緊頂壓板2，彈簧4底部緊頂活塞桿9，使限位柱3靠在活塞桿9銑扁平面上從而起到防轉限位作用并給限位柱3提供彈簧力；彈簧4的彈簧力為鎖緊力，當外部作用力大于彈簧鎖緊力時活塞桿9將轉動，從而方便工作人員對弧源進行維護；限位柱3與座I上孔配合，限位柱3材質為黃銅，當氣缸6工作時減少活塞桿9的磨損。
[0019]具體工作原理:當氣缸6動作引弧時，活塞桿9向后移動，由于限位柱3端面與活塞桿9所加工平面接觸，防轉活塞桿9轉動從而保證引弧一致性。當對弧源進行維護，拆卸靶材10時引弧針7會影響靶材10拆卸，此時用力旋轉弧針7，活塞桿9將克服限位柱3的彈簧力旋轉從而解決拆卸靶材10干涉問題。
[0020]采購氣缸6時無需做大的改動，只需將氣缸6的活塞桿9后端露出部分加工一個相應長度的工藝扁，座I與氣缸6連接連接尺寸按氣缸配做。
[0021]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【權利要求】
1.一種引弧氣缸限位機構，包括氣缸(6)和座(I )，其特征在于:所述氣缸(6)與座(I)之間通過內六角螺釘(8)連接，所述座(I)頂部設有壓板(2)，所述壓板(2)通過十字槽螺釘(5)與座(10)相連，所述座(I)內置有限位柱(3)，所述限位柱(3)兩側設有彈簧(4)，所述限位柱(3)與活塞桿(9)的加工表面接觸，所述活塞桿(9) 一端穿過氣缸(6)和座(1)，所述活塞桿(9)的另一端與靶材(10)連接，所述靶材(10)的頂部與引弧針(7)相連。2.根據權利要求1所述的一種引弧氣缸限位機構，其特征在于:所述彈簧(4)均鑲嵌在座(I)上，所述彈簧(4)頂端緊頂壓板(2)，所述彈簧(4)底端緊頂活塞桿(9)。3.根據權利要求2所述的一種引弧氣缸限位機構，其特征在于:所述彈簧(4)的彈簧力為鎖緊力，當外部作用力大于彈簧鎖緊力時活塞桿(9)將轉動。4.根據權利要求2所述的一種引弧氣缸限位機構，其特征在于:所述限位柱(3)與座(I)上孔配合，且材質為黃銅。5.根據權利要求1所述的一種引弧氣缸限位機構，其特征在于:所述氣缸(6)與弧源連接。
【文檔編號】C23C14-32GK204281847SQ201420755204
【發明者】王寶林, 龔健 [申請人]大連維鈦克科技股份有限公司