專利名稱：用于基板沉積腔背襯板的多件式絕緣件的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用于基板沉積腔背襯板的絕緣件，尤其是由多件絕緣片條制成以絕緣背襯板的多件式絕緣件。
背景技術：
在平面顯示器的制程中由于需要在基板上制作晶體管組件，因此在制程中需要沉積上不同的材質，諸如SiO2、SiNx、a-Si及/與n+a-Si等薄膜。目前多采用等離子體輔助化學氣象沉積系統(PECVD，Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition)來成長。PECVD乃是于一真空系統中，在通入制程氣體后以一等離子體機臺激發等離子體、解離制程氣體活化其反應，并且因解離后的制程氣體離子可利用電場等使其具有方向性來加速制程速度。
用于此種沉積制程的沉積腔10的構造如圖4所示，該沉積腔10與外界隔絕以形成反應空間。該沉積腔10包括一上蓋12及一腔體14。一O型環16系設置于該上蓋12及腔體14之間，以使沉積腔10與外界間呈現密閉的狀態。
該上蓋12是通過一腔體蓋22與外界隔絕。該腔體蓋22內橫向設置有背襯板(Backing Plate)34及一擴散器(Diffuser)30。
制程氣體經由一氣體管線71將一設置在沉積腔10外的制程氣體源，再經由一氣體入口70，并穿越過背襯板34的中間，而被噴射入該背襯板34下的空間內。該被噴射的制程氣體會先經由一位于該背襯板34下方的隔板(圖中未示)擴散后，而在隔板及背襯板34的下方，經由在擴散器30上，外形為一平板且其上形成許多小孔32的噴頭而被噴向一基板(S的上表面，該基板(S)系被配置在一臺座(susceptor)60上。
一射頻(radio frequency)電源80系連接至該背襯板34及擴散器30，并提供激發被噴射的制程氣體而活化流經該擴散器30的制程氣體，因而在基板(S)上沉積成薄膜。亦即，該背襯板34及擴散器30系作為一上方電極。
腔體14的側邊系與上蓋12的腔體蓋22結合，如上述，O型環16系設置于該上蓋12及腔體14之間。臺座60是設在該腔體14內。臺座60距離擴散器30一段距離，且面向擴散器30，而基板S是放置在該臺座60的上表面。該臺座60內設有一加熱器62，用于對放置在該臺座60上的基板S加熱至一適當的溫度，以在沉積制程中進行薄膜沉積。同時，臺座60被接地，因而作為一下方電極。為了防止制程材料被沉積在基板S的周緣，一遮蓋框(Shadow Frame)64被配置在該臺座60上，并遮蓋基板S的周緣。
該腔體14底側、臺座60下方形成一出口52，以在完成沉積制程后，將制程氣體制抽離至外界。
圖5為圖4中的部分A的放大視圖。如圖所示，作為上電極，且將制程氣體噴射至基板S上表面的擴散器30及背襯板34是經由設置在邊緣的螺栓42而相互結合，且彼此電性連接。多個絕緣件44、46、48系設置在擴散器30及背襯板34相互結合的周緣部分以及腔體蓋22之間，以將腔體蓋22與擴散器30及背襯板34彼此電性絕緣，并保持沉積腔10內的真空狀態。
上述絕緣件44、46、48中，絕緣件48是由一絕緣材料片所制成之框件，其制法是將一整片絕緣材料片的中央部分切割挖出后丟棄，因而浪費大量材料，方可制成所欲的絕緣件尺寸。惟當欲被處理的基板尺寸加大，因而亦必需加大背襯板及絕緣件的尺寸時，不但取得單一絕緣材料片原料的成本增加，移除整個中間部位以獲得的單一組件絕緣件時亦會浪費大量的材料。
發明內容
為了解決此種制造能適用于大尺寸平面顯示器沉積制程的沉積腔，卻可能浪費大量材料的絕緣件的制造方式，本實用新型提供一種多件式絕緣件，其系由多件絕緣片條制成，因而可使用較少的材料即可獲適用的基板沉積腔背襯板(Backing Plate)的絕緣件。
本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是，一種用于基板沉積腔背襯板之多件式絕緣件，其具有數個絕緣片條，每一絕緣片條具有一第一端及第二端；及每一絕緣片條的第一端與一相鄰絕緣片條的第二端相配合且被接合至該相鄰絕緣片條的第二端，以共同構成一矩形框件。
根據本實用新型，該絕緣片條系由聚合物材料制成。
根據本實用新型，該絕緣片條系由含氟聚合物材料制成。
根據本實用新型，該多件式絕緣件具有四個絕緣片條，且每一絕緣片條具有一大致呈L形之形狀，以構成該矩形框件的四個邊及四個角落。
根據本實用新型，這些絕緣片條各包括一長邊、一短邊，該長邊及短邊相互垂直以構成一直角。
根據本實用新型，該絕緣片條的第一端及第二端分別具有互補的形狀，以在與相鄰絕緣片條的第二端及第一端接合后，可共同構成該矩形框件的平坦表面。
根據本實用新型，該絕緣片條的第一端及第二端分別具有互補的階梯形狀。
根據本實用新型，該絕緣片條的第一端及第二端分別具有互補的坡形形狀。
根據本實用新型，該絕緣片條的第一端及第二端分別具有與片條表面垂直的切面。
根據本實用新型，該絕緣片條的第一端與及相鄰絕緣片條的第二端接合處被涂布一黏合劑，以將絕緣片條的第一端接合至該相鄰絕緣片條的第二端。
本實用新型的有益效果是，由于基板沉積腔背襯板的絕緣件系由絕緣片條制成，因而即便欲處理的基板尺寸為因應市場需求而加大，亦無需使用高成本的絕緣板片原料將其中央部分切割挖出后丟棄，因而浪費大量材料，即可制成所欲的絕緣件尺寸，達到節少成本及制造方便的目的。
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
圖1是運用本實用新型之絕緣件的立體分解示意圖。
圖2A是
圖1的絕緣件之立體組合示意圖。
圖2B是
圖1的絕緣件之平面示圖。
圖3A是運用本實用新型之另一實施例的二片條相接合處的剖面示意圖。
圖3B是運用本實用新型之再一實施例的二片條相接合處的剖面示意圖。
圖4是一習知沉積腔的剖面示意圖。
圖5是圖4中的部分A的放大視圖具體實施方式
圖1是運用本實用新型之絕緣件的立體分解示意圖。
圖1所示之實施例中，該用于基板沉積腔背襯板之多件式絕緣件100是由四個絕緣片條101、102、103、104構成。
如
圖1所示，每一絕緣片條101、102、103、104具有一第一端I及第二端II，其中每一絕緣片條的第一端I與一相鄰絕緣片條的第二端II相配合且被接合至該相鄰絕緣片條的第二端II，以共同構成一矩形框件100，如圖2A所示。由于此實施例中，每一個絕緣片條101、102、103、104具有一大致呈L形之形狀，故彼此以端對端的方式結合后，四個絕緣片條101、102、103、104共同構成該矩形框件100的四個邊及四個角落。
圖2A是
圖1的絕緣件之立體組合示意圖。如圖2A所示，這些絕緣片條101、102、103、104的第一端I及第二端II分別具有互補的形狀，以在與相鄰絕緣片條102、103、104、101的第二端II及第一端I以端對端的方式接合后，可共同構成該矩形框件100的上下平坦表面P。
圖1及圖2A之實施例中，這些絕緣片條101、102、103、104的第一端I及第二端II分別具有互補的階梯形狀(S)。欲與相鄰的絕緣片條的第二端II相配合且接合時，系在絕緣片條101、102、103、104的第一端I與及相鄰絕緣片條102、103、104、101的第二端II接合處之間涂布一黏合劑(圖中未示)，以將各絕緣片條的第一端I接合至該相鄰絕緣片條的第二端II。
圖3A是運用本實用新型之另一實施例的二片條102、103相接合處的剖面示意圖。根據此一實施例，這些絕緣片條的第一端I及第二端II分別具有互補的坡形形狀。圖3B是運用本實用新型之再一實施例的二片條102、103相接合處的剖面示意圖。根據此一實施例，這些絕緣片條的第一端I及第二端II分別具有與片條表面垂直的切面。
適用于基板沉積腔背襯板的絕緣件可由聚合物，含氟聚合物，諸如鐵氟龍(Teflon)或是其它適合的絕緣、硬質材料制成。
在
圖1至圖3的實施例中，每一個絕緣片條101、102、103、104具有一大致呈L形之形狀。圖2B是
圖1的絕緣件之平面示圖。根據本實用新型，這些絕緣片條101、102、103、104較佳各包括一長邊107、一短邊108，該長邊107及短邊108相互垂直以構成一直角。此一外型可方便制造各片條。
當然亦可采用其它數量及形狀的絕緣片條。例如，可使用二個呈立起U形的絕緣片條，或是四個大致呈L形之形狀以及四個呈長直形的絕緣片條，并將四個呈長直形的絕緣片條配置于四個大致呈L形之形狀的四個大致呈L形之形狀之間，將互補的第一端及第二端以端對端的方式相接合后，亦可共同構成本實用新型的多件式絕緣件100，此乃熟習此項技藝者可參照本實用新型的揭示所獲致的結果。
由上述實用新型實施例可知，本實用新型的有益效果是，本實用新型的有益效果是，由于基板沉積腔背襯板的絕緣件系由絕緣片條制成，因而即便欲處理的基板尺寸加大，亦無需使用高成本的絕緣板片將其中央切割挖出后丟棄，因而浪費大量材料，即可制成所欲的絕緣件尺寸，達到節少成本及制造方便的目的。
雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定實用新型，任何熟習此技藝者，在不脫離實用新型的精神和范圍內，當可作各種的更動與潤飾，因此實用新型的保護范圍當依照權利要求書所界定者為準。
權利要求1.一種用于基板沉積腔背襯板之多件式絕緣件，其特征是具有數個絕緣片條，每一絕緣片條具有一第一端及第二端；其中每一絕緣片條的第一端與一相鄰絕緣片條的第二端相配合且被接合至該相鄰絕緣片條的第二端，以共同構成一矩形框件。
2.根據權利要求1所述的多件式絕緣件，其特征是該絕緣片條系由聚合物材料制成。
3.根據權利要求1所述的多件式絕緣件，其特征是該絕緣片條系由含氟聚合物材料制成。
4.根據權利要求1所述的多件式絕緣件，其特征是該多件式絕緣件具有四個絕緣片條，且每一絕緣片條具有一大致呈L形之形狀，以構成該矩形框件的四個邊及四個角落。
5.根據權利要求4所述的多件式絕緣件，其特征是這些絕緣片條各包括一長邊、一短邊，該長邊及短邊相互垂直以構成一直角。
6.根據權利要求1所述的多件式絕緣件，其特征是該絕緣片條的第一端及第二端分別具有互補的形狀，以在與相鄰絕緣片條的第二端及第一端接合后，可共同構成該矩形框件的平坦表面。
7.根據權利要求6所述的多件式絕緣件，其特征是該絕緣片條的第一端及第二端分別具有互補的階梯形狀。
8.根據權利要求6所述的多件式絕緣件，其特征是該絕緣片條的第一端及第二端分別具有互補的坡形形狀。
9.根據權利要求6所述的多件式絕緣件，其特征是該絕緣片條的第一端及第二端分別具有與片條表面垂直的切面。
10.根據權利要求1所述的多件式絕緣件，其特征是該絕緣片條的第一端與及相鄰絕緣片條的第二端接合處被涂布一黏合劑，以將絕緣片條的第一端接合至該相鄰絕緣片條的第二端。
專利摘要一種用于基板沉積腔背襯板之多件式絕緣件，其具有數個絕緣片條，每一絕緣片條具有一第一端及第二端；及每一絕緣片條的第一端與一相鄰絕緣片條的第二端相配合且被接合至該相鄰絕緣片條的第二端，以共同構成一矩形框件。
文檔編號C23C16/50GK2780781SQ20052000279
公開日2006年5月17日 申請日期2005年3月18日 優先權日2005年3月18日
發明者W·N·斯特林 申請人:應用材料股份有限公司