專利名稱：用于制備飛機碳剎車盤的化學氣相沉積爐的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種飛機碳剎車盤的制備技術領域。
背景技術：
根據要求，飛機碳剎車盤較為理想的密度應該是在1.80g/cm3以上，但是 經常發生的情況是增密到一定程度時再難繼續增密， 一般瓶頸在密度為 1.60g/cn^的左右。在密度從0.60g/cm3達到1.60g/cm3之前增密所用時間只占 整個增密過程的三分之一時間，另外從密度1.60g/cmS到密度1.80g/cn^所用 的時間占到整個增密過程的三分之二，甚至在很多情況下密度無法到達理想 的1.80g/cm3以上。
國內目前為了生產增密飛機碳剎車盤的方法采用的工藝主要有兩類第 一類是溫度梯度化學氣相沉積法+浸漬碳化的復合工藝，第二類是等溫化學 氣相沉積法。根據原料氣體的流向設計的不同細分為跟多的子類。這些方法 的共同特點是很難實現預制體的均勻增密，在整個增密過程中，由于預制體 的內外側半徑的不同而造成的體積差異使得碳原料氣體的流速差異較大，同 時由于氣體到達的時間有先后的不同，氣體的溫度也發生了較大的變化，再 加上在沉積過程中還在發生濃度的變化和流場的不均勻，使得整個增密過程 變得難于控制。
有一種可以持續增密到密度1.80g/cm3以上的化學氣相沉積制備飛機碳 剎車盤的方法，在化學氣相沉積爐內置入由各飛機碳剎車盤預制體和石墨墊 環組成的料柱，先抽真空后，利用發熱體形成設定的高溫，再依次通入碳源 氣體、稀釋氣體、載氣和保護調節氣體。以上工藝氣體的流經路徑為首先通入爐體的沉積室內的料柱外側，再通過預制體中的空隙向料柱的內側滲透， 在滲透的過程中沉積在預制體中，達到增密的效果，通過控制流速好方向實 現預制體的均勻增密，從而實現縮短工期降低成本的目的，同時提高產品的 質量穩定性和相應的摩擦磨損性能。
實用新型內容
本實用新型目的在于設計一種配合以上增密工藝，生產可以持續增密到
密度1.80g/cm3以上的用于制備飛機碳剎車盤的化學氣相沉積爐。
本實用新型包括一環狀保溫層，在保溫層的上端設置保溫蓋，保溫層的 內壁設置具有發熱腔的發熱體，在保溫層下端設置下托板，在下托板上方的 發熱腔中設置石墨下蓋板，在石墨下蓋板上方布置石墨上蓋板，在石墨上蓋 板和保溫蓋的中心分別開設通孔，在兩個通孔之間密封連接一石墨管。
實際生產時，將飛機碳剎車盤預制體以料柱的形式裝入保溫層內的發熱 腔中，相鄰的預制體之間采用石墨墊環隔開，在料柱頂端通過調節加蓋石墨 上蓋板，石墨上蓋板和料柱之間還墊有石墨墊環，料柱的最下端也通過石墨 墊環和石墨下蓋板支撐在沉積爐內。再經過特殊的工藝，即可制成密度在 1.80g/cm3以上的飛機碳剎車盤。
本實用新型結構簡單、方便使用，可保障生產工藝的實現，確保產品合格。
為了方便調整，所述石墨管的兩端分別通過緊固螺母連接在石墨上蓋板 和保溫蓋上。
所述石墨上蓋板的通孔的孔徑為50 200mm。由于氣體必須由此處通過 被抽出沉積室，是為了保證氣體的流向，該孔徑是即能保證通常，又對爐體 保溫性能影響較小的尺寸。
為了與蓋板匹配，所述保溫蓋的通孔的孔徑為50 200mm。 為了保持氣流通暢，石墨上蓋板和保溫蓋的通孔孔徑相同。
圖1為本實用新型的一種使用示意圖。
具體實施方式
如圖1所示，圖中1飛機碳剎車盤預制體、2石墨墊環、3石墨下蓋板、 4石墨上蓋板、5下托板、6發熱體、7保溫蓋、8石墨管、9保溫層、10發熱腔。
環狀保溫層9的上端設置保溫蓋7，保溫層1的內壁設置具有發熱腔10 的發熱體6。
在保溫層9下端設置下托板5，在下托板5上方的發熱腔10中設置石墨 下蓋板3，在石墨下蓋板3上方布置石墨上蓋板4，在石墨上蓋板4和保溫蓋 7的中心分別開設通孔，在兩個通孔之間密封連接一石墨管8，石墨管8的兩 端分別設置外螺紋，石墨管8的兩端分別通過緊固螺母12、 11連接在石墨上 蓋板4和保溫蓋7上。石墨上蓋板4和保溫蓋7的通孔孔徑相同，可以在50 200mm之間。
權利要求1、用于制備飛機碳剎車盤的化學氣相沉積爐，其特征在于包括一環狀保溫層，在保溫層的上端設置保溫蓋，保溫層的內壁設置具有發熱腔的發熱體，在保溫層下端設置下托板，在下托板上方的發熱腔中設置石墨下蓋板，在石墨下蓋板上方布置石墨上蓋板，在石墨上蓋板和保溫蓋的中心分別開設通孔，在兩個通孔之間密封連接一石墨管。
2、 根據權利要求1所述用于制備飛機碳剎車盤的化學氣相沉積爐，其特 征在于所述石墨管的兩端分別通過緊固螺母連接在石墨上蓋板和保溫蓋上。
3、根據權利要求1所述用于制備飛機碳剎車盤的化學氣相沉積爐，其特 征在于所述石墨上蓋板的通孔的孔徑為50 200mm。
4、 根據權利要求1所述用于制備飛機碳剎車盤的化學氣相沉積爐，其特 征在于所述保溫蓋的通孔的孔徑為50 200mm。
5、 根據權利要求1或2或3或4所述用于制備飛機碳剎車盤的化學氣相 沉積爐，其特征在于石墨上蓋板和保溫蓋的通孔孔徑相同。
專利摘要用于制備飛機碳剎車盤的化學氣相沉積爐，涉及一種飛機碳剎車盤的制備方法，特別是外熱式定向流動化學氣相沉積(CVD)制備飛機碳剎車盤的方法，包括一環狀保溫層，在保溫層的上端設置保溫蓋，保溫層的內壁設置具有發熱腔的發熱體，在保溫層下端設置下托板，在下托板上方的發熱腔中設置石墨下蓋板，在石墨下蓋板上方布置石墨上蓋板，在石墨上蓋板和保溫蓋的中心分別開設通孔，在兩個通孔之間密封連接一石墨管，通過本實用新型可制成密度在1.80g/cm<sup>3</sup>以上的飛機碳剎車盤。
文檔編號C23C16/26GK201224760SQ20082003847
公開日2009年4月22日 申請日期2008年7月17日 優先權日2008年7月17日
發明者孫文革, 居小平, 昕 鄧 申請人:居小平;孫文革;鄧 昕