專利名稱：一種vfd雙面真空鍍膜設備的擋板熱變形補償機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種VFD雙面真空鍍膜設備的擋板熱變形補償機
(二)
背景技術：
在VFD真空鍍膜生產線的總體設計中，考慮到成本問題，大多釆 用了對靶雙面鍍膜的設備結構，即采用四塊磁控濺射陰極靶，左右兩 兩相對，可同時對兩側裝載的玻璃基片進行鍍膜，設備的生產效率提 高一倍。同時在對靶之間要加入活動擋板(對開擋板)，來解決雙面鍍 膜時陰極靶材料相互沉積污染問題。但是，由于真空系統熱傳導能力 差、橡膠件動密封易泄漏的特殊性，以及磁控濺射高溫工藝的具體要 求，使得一般的擋板機構極易產生擋板熱變形，無法長時間保證真空 鍍膜生產線正常的生產和運行。
(三) 發明內容
為了克服現有VFD雙面真空鍍膜設備的擋板機構易產生擋板熱變 形的不足，本實用新型提供一種VFD雙面真空鍍膜設備的擋板熱變形補 償機構，可對擋板的熱變形進行補償。
本實用新型解決其技術問題的技術方案是: 一種VFD雙面真空鍍 膜設備的擋板熱變形補償機構，包括擋板，所述擋板由數條并排的條 形不銹鋼帶組成，每條不銹鋼帶的下端均掛設有拉簧。
進一步，每條所述條形不銹鋼帶的厚度為O.lmm，每條所述條形
不銹鋼帶的寬度為20mm。
使用時，拉簧的另一端鉤設在鍍膜設備上固定，使拉簧具有一定 的預先拉力，本實用新型的有益效果在于帶預拉力的條形不銹鋼帶 可以補償擋板長度方向上的受熱變形。而并置五條條形不銹鋼帶則可
用以補償擋板寬度方向上的溫度差。
圖1是本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一歩詳細說明。
參照圖1， l.一種VFD雙面真空鍍膜設備的擋板熱變形補償機構， 包括擋板，所述擋板由數條并排的條形不銹鋼帶1組成，每條不銹鋼 帶1的下端均掛設有拉簧2。本實施例中，并置有五條條形不銹鋼帶1，
每條所述條形不銹鋼帶1的厚度為O.lmm，每條所述條形不銹鋼帶1 的寬度為20mm。
使用時，拉簧2的另一端鉤設在鍍膜設備上固定，使拉簧2具有 一定的預先拉力，帶預拉力的條形不銹鋼帶1可以補償擋板長度方向 上的受熱變形。而并置五條條形不銹鋼帶1則可用以補償擋板寬度方 向上的溫度差。
權利要求1. 一種VFD雙面真空鍍膜設備的擋板熱變形補償機構，包括擋板，其特征在于所述擋板由數條并排的條形不銹鋼帶組成，每條不銹鋼帶的下端均掛設有拉簧。
2. 如權利要求1所述的VFD雙面真空鍍膜設備的擋板熱變形補償 機構，包括擋板，其特征在于:每條所述條形不銹鋼帶的厚度為0Jmm， 每條所述條形不銹鋼帶的寬度為20mm。
專利摘要一種VFD雙面真空鍍膜設備的擋板熱變形補償機構，包括擋板，所述擋板由數條并排的條形不銹鋼帶組成，每條不銹鋼帶的下端均掛設有拉簧。使用時，拉簧的另一端鉤設在鍍膜設備上固定，使拉簧具有一定的預先拉力，帶預拉力的條形不銹鋼帶可以補償擋板長度方向上的受熱變形。而并置五條條形不銹鋼帶則可用以補償擋板寬度方向上的溫度差。
文檔編號C23C14/35GK201209165SQ20082008806
公開日2009年3月18日 申請日期2008年6月5日 優先權日2008年6月5日
發明者王正品, 章浙根, 董學軍 申請人:寧波華聯電子科技有限公司