專利名稱：：鋼板的清洗方法及鋼板的連續清洗裝置的制作方法
技術領域：
：本發明涉及清洗移動鋼板的方法及鋼板的連續清洗裝置，還涉及高效地除去在鋼板的制造工序中生成的氧化皮的方法。
背景技術：
：在鋼板制造工序中，以多種目的進行鋼板表面的清洗。例如，可列舉出鍍膜或涂裝前的鋼板的清洗、利用熱軋鋼板的酸洗來除去氧化皮(脫氧化皮)等。這樣的清洗的促進或高效率化、清洗能力的提高等大多依賴于清洗液的設計，但是，另外作為清洗時輔助清洗的方法之一，有施加20100kHz的超聲波的方法(日本特開2003-313688號公報、日本特開2000-256886號公報、日本特開平5-125573號公報)。如果向清洗液中施加超聲波，則在鋼板表面發生空化現象，從而促進清洗效果。也就是說，通過超聲波使得在清洗液中局部壓力降低，低于蒸氣壓，產生水蒸氣或溶解的氣體膨脹，急速形成小的氣泡或空洞并強烈地崩潰，從而促進清洗的化學反應，并提供沖擊力，促進清洗效果。因此，施加超聲波對于熱軋鋼板的脫氧化皮酸洗也是有效的(日本特開2000-256886號公報)。作為脫氧化皮酸洗，可以單獨使用硫酸、鹽酸、硝酸及氫氟酸等，或者使用將它們中的多種混合而成的酸洗溶液。為了使所述酸洗溶液的酸洗速度提高，嘗試了增加酸濃度及提高酸洗溫度等，但存在化學試劑及能源成本增大、酸洗后鋼材表面出現表面粗糙等的負面影響，因此酸洗速度的提高有界限，一直在并用超聲波。但是，希望降低鋼板的制造成本并使鋼板高品質化，關于鋼板的清洗及脫氧化皮，也需要進一步提高清洗效率、及提高鋼板表面的清潔性。另一方面，在半導體制造及電子設備制造領域，如日本特開平10-172948號公報中記載，在半導體晶片的清洗中，對清洗液施加0.8MHz以上的高頻超聲波(也稱作兆聲波，megasonic)來提高異物除去能力。在日本特開平10-172948號公報中，是將半導體晶片浸漬在清洗槽中、通過從清洗槽的底部施加高頻超聲波進行分批清洗的方式。此外，在日本特開平8-44074號公報中，作為在液晶顯示器用濾色器制造工序中高效率除去抗蝕劑的方法，公開了向曝光后的抗蝕劑上供給施加有高頻超聲波的液體簾幕狀的顯影液的方法。與20100kHz的超聲波(低頻超聲波，ultrasonic)相比，由于高頻超聲波的指向性高，因而能夠高效率地對清洗對象物的表面進行清洗，而且容易使溶液分子活性化，促進反應的效果大。因此，不只是在半導體領域，在日本特表2003-533591號公報中還公開了在軋制銅棒的清洗中使用了5003000kHz的超聲波源的脫氧化皮方法。如上所述，高頻超聲波在清洗中非常有效地提高清洗能力，因此認為如果取代在鋼板清洗中使用的低頻超聲波而采用高頻超聲波，則能夠更有效地進行鋼板的清洗，提高酸洗速度。可是，實際情況是，與前述的半導體制造及電子設備制造領域相比，由于清洗對象物不同、污濁程度或清潔性的水平大不相同、及清洗對象物的移動速度或裝置大小等工藝條件也大不相同，因而在移動鋼板的連續清洗中無法應用高頻超聲波。其理由之一是因為存在設備可維護性的問題。也就是說，如果與日本特開2003-313688號公報、日本特開2000-256886號公報、日本特開平5-125573號公報中所述的低頻超聲波振蕩器同樣地將日本特開平10-172948號公報中所述的高頻超聲波振蕩器設置在鋼板的清洗流水線的清洗浴中，則因高頻超聲波和清洗液而嚴重腐蝕高頻超聲波振蕩器的容器及電纜，不能長期使用。特別是在酸洗流水線中，所述腐蝕更明顯。在日本特表2003-533591號公報中公開了在軋制銅棒的清洗中使用超聲波來脫氧化皮的方法，記載了能夠寬范圍地使用頻率為20100kHz、100500kHz及5003000kHz的超聲波。但是，在棒狀的軋制材的情況下，由于因清洗浴小而將超聲波振蕩器安裝在清洗浴的外部、及因清洗對象物小而從清洗浴外部施加超聲波也能得到效果等理由，也可以使用5003000kHz的高頻超聲波。但是，在上述使用方法中，雖然在20500kHz的情況下沒有問題，但在5003000kHz的情況下，與振蕩器接觸的清洗浴容器材料的腐蝕嚴重，現實中不耐長期使用。此外，作為在鋼板的清洗液中不設置超聲波振蕩器的方法，可考慮將日本特開平8-44074號公報中記載的照相膠片用顯影液替換成鋼板清洗液，向鋼板表面供給施加有高頻超聲波的液體簾幕狀的清洗液的方法。但是，在日本特開平8-44074號公報中清洗對象物是靜止的，而在移動的鋼板的清洗中清洗對象物是移動的，因此，存在下述問題即使如日本特開平8-44074號公報那樣只向鋼板表面供給施加有高頻超聲波的簾幕狀清洗液，也不能進行有效的清洗。此外，存在下述問題供給的清洗液因鋼板的移動而飛濺，加速超聲波振蕩器及電纜等的腐蝕，或使清洗環境惡化。另一方面，作為現行的鋼板的清洗液多使用鹽酸、硫酸等，在除氧化皮時在酸洗槽內由于鋼板與酸反應而產生氣泡，該氣泡使超聲波的傳播降低，因此在酸洗槽內采用頻率低的所謂的低頻超聲波(20500kHz左右)的情況下，存在超聲波的效果下降的問題。因此，在因鋼板的制造條件而牢固地附著氧化皮的情況下，即使并用以前的超聲波照射，不僅脫氧化皮不充分，而且在清洗液是酸性溶液的情況下，通過利用已有的酸洗槽的清洗方法，還存在一度除去的氧化皮或由其它成分構成的不溶性物質再次附著在鋼板表面上的問題。
發明內容本發明是鑒于上述狀況而完成的，其的目的在于，提供一種將高頻超聲波用于移動的鋼板的清洗、可穩定地提高清洗效果及清洗速度的鋼板的清洗方法及鋼板的連續清洗裝置。此外，本發明的目的在于，提供能夠應用高頻超聲波將在鋼板的制造工序中生成的氧化皮高效地除去的鋼板的清洗方法及鋼板的連續清洗裝置。本發明者們對解決所述問題的方法進行了深入研究，結果發現，使施5加有高頻超聲波的清洗液以特定的角度照射在移動的鋼板的表面上的方法，能夠避免超聲波振蕩器及電纜等的腐蝕，而且能夠飛躍地提高清洗能力。也就是說，本發明的要旨如下。(1)一種鋼板的清洗方法，其特征在于，其是清洗移動的鋼板的方法，將施加有頻率為0.8MHz3MHz的超聲波的清洗液以相對于與鋼板表面呈直角的線向與移動方向相反的方向傾斜180°的角度供給到鋼板表面。(2)根據上述(1)所述的鋼板的清洗方法，其特征在于所述清洗液向鋼板表面的供給為噴淋方式或簾幕流動方式。(3)根據上述(1)及(2)所述的鋼板的清洗方法，其特征在于所述清洗液為酸洗溶液。(4)根據上述(1)及(2)所述的鋼板的清洗方法，其特征在于所述鋼板為熱軋鋼板，所述清洗液為酸洗溶液，除去熱軋鋼板的氧化皮。(5)—種鋼板的連續清洗裝置，其特征在于其是至少具備開巻機、清洗液供給部及巻取機的鋼板的連續清洗裝置，所述清洗液供給部至少具有清洗液的儲存部和超聲波振蕩器部，所述清洗液的儲存部具備清洗液的入口和清洗液出口，所述清洗液出口通過噴淋方式或簾幕流動方式將施加有超聲波的清洗液以相對于與鋼板表面呈直角的線向與移動方向相反的方向傾斜180°的角度供給到鋼板表面，所述超聲波振蕩器部對所述儲存部的清洗液施加頻率為0.83MHz的超聲波。(6)根據上述(5)所述的鋼板的連續清洗裝置，其特征在于具備使干燥空氣或不活潑性氣體在所述超聲波振蕩器部中流通的機構。圖1是表示向鋼板表面垂直地供給施加有高頻超聲波的清洗液時的狀況的示意圖。圖2是表示向鋼板表面傾斜地供給施加有高頻超聲波的清洗液時的狀況的示意圖。圖3是表示施加有高頻超聲波的清洗液的供給部的例子的示意圖，(a)是俯視圖、(b)是主視圖、(c)是側視圖。圖4是表示施加有高頻超聲波的清洗液的供給部內部結構的例子的剖6面示意圖。圖5是表示將施加有高頻超聲波的清洗液向水平移動的鋼板供給的例子的圖。圖6是表示將施加有高頻超聲波的清洗液向垂直移動的鋼板供給的例子的圖。圖7是表示使鋼板沿著清洗部水平移動時的鋼板的連續清洗裝置的例子的示意圖。圖8是表示使鋼板沿著清洗部垂直移動時的鋼板的連續清洗裝置的例子的示意圖。具體實施例方式以下對本發明進行詳細說明。本發明者們發現，通過將施加有頻率為0.8MHz3MHz的超聲波(高頻超聲波)的清洗液以噴淋方式或簾幕流動方式、并以使清洗液的供給角度相對于與鋼板表面垂直的線向與移動方向相反的方向傾斜18(T的方式供給到移動的鋼板的表面(噴射方向為鋼板的移動方向)，從而與采用20100kHz的超聲波(低頻超聲波)的清洗相比，能夠有效地清洗鋼板的表面，而且對于脫氧化皮也是有效的。認為提高所述清洗效果的理由如下。如圖1所示，即使與日本特開平8-44074號公報同樣地向清洗物即鋼板4垂直地供給施加有高頻超聲波1的清洗液，由于高頻超聲波的指向性比低頻超聲波高，因此附著物或氧化皮2成為遮蔽物，高頻超聲波無法有效地打在附著物或氧化皮2與鋼板表面的粘結界面3處，因此清洗效果不會提高。但是，如圖2所示，認為通過使高頻超聲波的照射角度傾斜，高頻超聲波1打在附著物或氧化皮2與鋼板表面的粘結界面3上的比例增加，從而使清洗效果提高。圖3表示本發明的施加有高頻超聲波的清洗液的供給部13的一例子。此外，圖4表示所述供給部的內部結構的一例子。清洗液從入口6進入，通過高頻超聲波的振蕩器9向清洗液11施加高頻超聲波，施加有高頻超聲波的清洗液12從出口8出來，供給到鋼板的表面。此外，超聲波振蕩器部具有高頻超聲波振蕩器9、收容高頻超聲波振蕩器9的收容部和空洞10，如后所述，優選在超聲波振蕩器部中設置用于向該空洞部供給、排出干燥空氣或不活潑性氣體的氣流的出入口7、和供給電的電纜5。圖5中示出了將本發明的施加有高頻超聲波的清洗液12供給到水平移動的鋼板14上的例子。如前所述，使所述清洗液的供給角度相對于與鋼板表面垂直的線向與鋼板的移動方向相反的方向傾斜180°。將該角度表示為e。此外，如圖6所示，向垂直移動的鋼板14供給施加有高頻超聲波的清洗液12。圖6是向鋼板的兩面供給的例子，但也可以只向一面供給。所述清洗液的供給角度e與上述同樣，相對于與鋼板表面垂直的線向與移動方向相反的方向傾斜180。。在上述角度e低于r的情況下，如前所述高頻超聲波難以達到附著物或氧化皮與鋼板表面的粘結界面，無法得到充分的清洗效果。此外，根據上述理由容易引起由清洗液造成的振蕩器等的腐蝕。另一方面，如果角度e超過80。，則能避免清洗液的飛濺，但不能向鋼板表面有效地照射超聲波振動(超聲波照射密度過低)，得不到充分的清洗效果。上述角度e可以是固定的，也可以包含上述角度范圍內或上述角度范圍外地進行變化。作為優選的角度范圍，1080°的范圍在經濟上、有效地實用上是優選的。通過如此使清洗液的供給角度向與移動方向相反的方向傾斜，相對于鋼板，清洗液的鋼板移動方向的相對速度降低，因而清洗液的飛濺降低。此外，由于即使飛濺也向與超聲波振蕩器及電纜等相反的方向(鋼板移動方向)飛濺，因而不會直接碰到上述裝置，因此能夠抑制超聲波振蕩器或電纜等的腐蝕，使設備可維護性顯著提高。再有，沖撞鋼板表面的清洗液以原狀沿著鋼板表面上向鋼板移動方向流動，因此剝離的附著物或氧化皮不會滯留，直接向鋼板移動方向排出。如以往所述，在與鋼板對置地噴射清洗液的情況下，暫時剝離的附著物等不會通過清洗液的力量而被立即排出，因此有可能通過高指向性、強力的高頻超聲波的作用再次附著到鋼材表面。因此，根據本發明能夠提高附著物等的清洗性能。清洗液的供給量沒有特別的限定，但優選以每鋼板單位面積計為0.3L/m2200L/m2。在低于0.3L/m2的情況下，產生超聲波不能傳播等問題，有可能無法發揮充分的清洗效果。另一方面，如果超過200L/m2，則雖然清洗效果提高，但需要大量的清洗液，因而有可能不經濟。清洗液的供給量更優選為lL/m2100L/m2。例如，在以100m/min的速度向移動中的鋼板按lm寬供給清洗液而將清洗液的供給量規定為lL/m4t，清洗液的噴出量為100L/min。在圖5及圖6中，施加有高頻超聲波的清洗液的供給在單面或兩面為1段，但也可以在鋼板的移動方向形成多個供給部，以多段供給。此外，在各段中也能夠變化清洗液的種類。例如，能夠將第ln段規定為酸洗溶液，將其后的最終段(n+l)、n+ln+2段、或n+ln+3段規定為沖洗溶液。本發明中使用的超聲波的頻率為0.8MHz3MHz。在上述頻率帶的情況下，與低頻超聲波不同，能解除清洗液中的分子或離子的會合，使各個分子或離子的運動更活躍。其結果是，對鋼板表面的污物的分解或牢固地附著的異物與鋼板表面的界面施加大的作用，從而提高清洗效果。如下所述可以認為對于脫氧化皮也是有效的。氧化皮因制造工序的氣氛、熱處理溫度、鋼材中包含的添加元素及雜質而變化，氧化皮大致分為3種。具體而言是FeO、Fe203、Fe304，在鋼材表面存在有作為氧化皮的主成分的且向酸洗溶液的溶解速度慢的磁鐵礦(Fe304)、及向酸洗溶液的溶解速度非常慢的赤鐵礦(Fe203)。通過采用本發明的頻率為0.8MHz3MHz的高頻超聲波，能夠將使氧化皮能溶解到酸洗溶液中的成分活性化，能夠使其高效率地與氧化皮反應。此外，通過采用該超聲波，能夠通過聲壓對被清洗物或被腐蝕物局部地施加壓力。由此還可機械地破壞被清洗物、被腐蝕物，其結果是，氧化皮的溶解速度提高。在超聲波的頻率低于0.8MHz的情況下，在上述清洗或脫氧化皮中不能得到高于以往的充分的效果。另一方面，如果超過3MHz，則對被清洗物造成損傷，不能得到光滑的表面。作為超聲波的頻率更優選為0.81.5MHz的頻率。本發明的高頻超聲波的施加可以是連續的，也可以是間歇的。此外，也可以在本發明的范圍的頻率內組合使用多個頻率的超聲波。再有，也可以將以往的低頻超聲波與本發明的高頻超聲波并用。作為本發明的清洗液，可以使用在鋼板清洗中所用的以往的清洗液。例如，有酸性溶液、堿性溶液或中性溶液等清洗液。酸性溶液中，作為酸洗溶液為鹽酸溶液、硫酸溶液、氫氟酸溶液(氫氟酸)或這些溶液的包含硝酸、醋酸、蟻酸等的溶液。酸洗溶液除了用于一般的鋼板的清洗以外，還可用于除去熱軋鋼板的氧化皮。堿性溶液例如是包含氫氧化鈉(NaOH)及氫氧化鉀(KOH)等的溶液，可用于鋼板的脫脂等清洗。此外，中性溶液例如可作為上述酸清洗或堿清洗后的沖洗液使用。清洗液的溫度沒有特別的限定，但基于清洗效率及溫度管理等理由，更優選為常溫至8(TC。本發明的清洗部中的鋼板移動速度優選為300m/min以下。如果超過300m/min，則每單位時間內的超聲波照射時間縮短，有時不能得到充分的清洗效果。所述移動速度特別優選為20m/min100m/min。在低于20m/min時，有時生產效率下降。在通板速度慢時(50m/min以下)還具有使液表面的流動加速的效果，因此優選將角度e規定為129°。另一方面，在通板速度快時(200m/min以上)，優選將角度e規定為4670。。在本發明的方法中，不限定鋼板的種類，對于從薄板到厚板、以及從5nm到800nm的不銹鋼箔的清洗都是有效的。尤其對于以往難以除去氧化皮的鋼板類即添加了Ti、Nb、Si的鋼板也是有效的。作為高頻超聲波的功率，越大效果越好，但需要附加設備等，因此可與鋼板的制造工序一致地設計。也可以通過制作巨大的設備來對應，但通過并列地設置多個超聲波也能發揮同樣的效果。10本發明的清洗液的噴射方式沒有特別限定，但一般采用噴淋方式或簾幕流動方式。噴淋方式是指如下類型的方式具有直徑大約為從十毫米到幾十毫米左右的孔徑，從該孔部分噴射清洗液。此外，簾幕流動方式是指如下方式具有寬度大約為從幾毫米到幾厘米的縫隙，從該部分以帶狀噴射清洗液。本發明的鋼板的連續清洗裝置至少具備開巻機15、清洗部19及巻取機24，所述清洗部將施加有頻率為0.8MHz3MHz的超聲波的清洗液以噴淋方式或簾幕流動方式供給到鋼板的表面，使所述清洗液的供給角度相對于與鋼板表面呈直角的線向與移動方向相反的方向傾斜180°。所述鋼板的連續清洗裝置還可以具備入側撐套器17、出側撐套器22、剪切機、焊接機16、拉伸整平機18、涂油機23、清洗液接收容器20等。此外，在所述清洗部是酸洗或堿性清洗時，還可以在其后具備沖洗槽21。再有，也能夠與酸洗槽或堿清洗槽并用。圖7和圖8表示本發明的鋼板的連續清洗裝置的例子。圖7是鋼板水平移動時的清洗裝置的例子，為了清洗鋼板的兩面而將清洗部(施加了高頻超聲波的清洗液的供給部)19設置在兩處。圖8是鋼板垂直移動時的清洗裝置的例子，為了清洗鋼板的兩面，形成為能從兩面供給施加了高頻超聲波的清洗液。兩裝置的例子的沖洗采用沖洗槽21，但也可以形成與清洗部19同樣地供給沖洗溶液的構成。此外，也可以使干燥空氣、或者氮氣、氬氣、氦氣、或二氧化碳氣體等不活潑性氣體在示出了所述清洗部19的詳細構成的圖4的收容有高頻超聲波振蕩器的空洞部10中流動。通過使所述氣體流動，能夠抑制清洗液煙霧及HC1氣體等腐蝕物的進入，從而能夠進一步提高耐久性。實施例以下，通過實施例更具體地對本發明進行說明，但本發明絲毫不受這些實施例的限制。(實施例1)清洗的鋼材采用不銹鋼板。為了實施異物除去評價，在鋼板表面上涂布日本合成橡膠(JSR)制的聚苯乙烯膠乳(PSL)標準粒子(O.liam、0.35pm、0.5pm、lpm、2拜)，并使其干燥，作為附有模擬粒子的鋼板。采用這些鋼板實施除去附著粒子的評價。使用圖3及圖4所示的施加了超聲波的清洗液的供給部，如圖5所示，將清洗液以80m/min的速度供給到移動的鋼板的表面，調查了采用各種液體清洗液在使超聲波頻率和圖5的供給角度e變化的各條件下的清洗效果。以lm寬的噴淋方式供給所述清洗液，將噴出量規定為100L/min，將清洗液供給量規定為1.25L/m2。表1中示出了超聲波的頻率、清洗液的供給角度0及清洗效果。其中，表1中的實施例1-281-30是用簾幕流動方式在與上述相同的條件下進行的。作為清洗溶液，分別使用酸洗溶液、堿性清洗溶液及沖洗液。酸洗溶液按以下調制。HC1系為5mass。/。的HCl水溶液，分別添加了0.1mass。/。的FeCl2和FeCl3。H2S04系為5mass。/。的H2S04水溶液，分別添加了0.1mass。/。的FeCl2和FeCl3。堿性清洗溶液為典型堿性的NaOH系(氫氧化鈉)，在lwt。/。的NaOH水溶液中共存0.1massM的Fe離子。作為沖洗液，使用沒有添加上述酸或堿的純水。此外，在酸洗溶液的情況下，將溶液的溫度加熱到60°C90°C，然后保溫，堿性清洗溶液和沖洗液保持在常溫4(TC之間來實施。作為評價方法，對鋼板表面照射10000勒左右的強光(稱為聚光燈)，描繪粒子的狀態，清洗后在聚光燈照射的條件下實施殘留粒子的描繪。算出其除去率，評價表面的粒子的除去率。表1的清洗效果是通過準備在任何情況下都沒有照射超聲波的試樣，將其與在表1的各種條件下進行了除去率的評價的試樣進行比較而判定的。除去的提高比例低于30。/。的情況表示為X，除去的提高比例為30%以上且低于40%的情況表示為么，除去的提高比例為40%以上且低于60%的情況表示為O，除去的提高比例為60%以上的情況表示為。對于模擬粒子除去后的試樣的一部分，通過用光學顯微鏡或掃描式電子顯微鏡觀察殘留粒子的狀態來確認除去部分。其結果是，沒有觀察到0.2um以上的粒子。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>清洗液附著在振蕩器上。發生腐蝕。比較例※l:負號所示的角度表示向鋼板移動方向的傾斜。如實施例l-ll-18所示，采用酸性及堿性的清洗溶液，以180°的供給角度0供給施加了頻率為0.83MHz的超聲波振動的清洗液，顯示出高的清洗效果。如實施例1-191-20所示，采用沖洗液也可得到充分的清洗效果。如實施例l-28l-30所示，采用簾幕流動方式也分別得到了充分的清洗效果。另一方面，在比較例1-211-22的超聲波頻率低時，沒有得到充分的清洗效果。如果比較例1-27的超聲波頻率過高，雖能完全除去聚苯乙烯膠乳粒子，但基材不銹鋼板的表面的腐蝕嚴重，無法得到平坦的表面。如果與鋼板垂直(0=0°)地供給比較例1-25的施加了超聲波振動的清洗液，則無法得到充分的清洗效果，而且清洗液的飛濺液滴附著在清洗液供給部(超聲波振蕩器)上。如果比較例1-26的施加了超聲波振動的清洗液的供給角度e過大，則無法得到充分的清洗效果。在比較例1-31中示出了使清洗液供給部向鋼板移動方向側傾斜時的結果。確認了不僅清洗效果惡化，而且清洗液附著在振蕩器或電纜等上，發生腐蝕。(實施例2)作為鋼材選擇使用氧化皮溶解速度慢的熱軋板。鋼材為以wt。/。計含有C:0.002、Si:0.006、Mn:0.13、S:0.01、Nb:0.02、Ti:0.02，余量為Fe及不可避免的雜質的鋼板。使用圖3及圖4所示的施加了超聲波的清洗液的供給部，如圖6及圖8所示，將清洗液以5310m/min的速度供給到移動的鋼板的表面，通過使超聲波頻率和圖6的供給角度9在表2的范圍內變化，調查了脫氧化皮效果。以lm寬的噴淋方式供給上述清洗液，噴出量及清洗液供給量如表2所示。以噴淋方式供給上述清洗液。作為酸洗溶液，使用HC1系和H2S04系。HC1系為8massO/。的HC1水溶液，分別添加了0.2massy。的FeCl2禾卩FeCl3。H2S04系為10mass。/。的H2S04水溶液，分別添加了0.2mass。/。的FeCl2和FeCl3。將清洗液的溫度加熱到70°C(士10。C)。作為評價方法，預先測定鋼板的質量，按表2所示的條件進行規定的清洗處理，然后進行沖洗、干燥，再次進行質量測定，算出腐蝕量。評價是從表面的氧化皮的溶解速度判斷的。分別準備在任何情況下都沒有按表2照射超聲波的試樣，然后通過與分別在表2所示的各種條件下進行了評價的試樣比較來進行判定。關于上述溶解速度的提高比例，將低于10。/。的情況表示為X、將10%以上且低于20%的情況表示為么、將20%以上且低于30%的情況表示為〇、將30%以上的情況表示為,如此判斷清洗效果。表2中示出了其結果。14<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>液的供給量為0.3L/m2以上時，清洗效果更高。再有，如果分兩段供給施加了超聲波的清洗液，則清洗效果好、效率高。相對于此，在比較例Na2-262-28的超聲波頻率低的情況下，氧化皮的溶解速度慢，處處都沒有完全除去氧化皮、或發生斑點。如果比較例1-31的超聲波頻率過高，則雖能夠完全除去氧化皮，但基材不銹鋼板的表面的腐蝕嚴重，無法得到平坦的表面。此外，如果與鋼板垂直(0=0°)地供給比較例No,2-29的施加了超聲波振動的清洗液，則無法得到充分的清洗效果，而且清洗液的飛濺液滴附著在清洗液供給部(超聲波振蕩器)上。如果比較例2-30的施加了超聲波振動的清洗液的供給角度e過大，則無法得到充分的清洗效果。比較例2-32中示出了使清洗液供給部向鋼板移動方向側傾斜的結果。確認了不僅清洗效果惡化，而且清洗液附著在振蕩器或電纜等上，發生腐蝕。(實施例3)用與實施例2-11同樣的方法，使干燥空氣、或氮氣在收容有超聲波振蕩器的空洞部(圖4的空洞部10)中流動，進行100小時的連續酸洗。然后，調查了存在于所述空洞部中的氯、或腐蝕程度。清洗效果的評價方法與實施例2相同。表3中示出其結果。如實施例No.3-l及3-2所示，通過使干燥空氣或氮氣在振蕩器部中流動，能夠有效地防止氯等腐蝕物的進入。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>根據本發明的鋼板的清洗方法及鋼板的連續清洗裝置，可實現下述的顯著的作用效果即使在鋼板的連續清洗中釆用高頻超聲波也能抑制裝置的腐蝕，因而具有能夠提高設備可維護性，并且能夠提高鋼板的清洗效果及清洗速度，改進清洗效率，而且清洗后的鋼板表面的清潔性優異。還能實現下述的非常顯著的作用效果對于除去熱軋鋼板的氧化皮也是有效的，具有提高脫氧化皮的效率，且能形成沒有脫氧化皮痕跡的清潔的表面。因此，本發明在鋼鐵工業中具有非常高的利用可能性。權利要求1、一種鋼板的清洗方法，其特征在于，其是清洗移動的鋼板的方法，將施加有頻率為0.8MHz～3MHz的超聲波的清洗液以相對于與鋼板表面呈直角的線向與移動方向相反的方向傾斜1～80°的角度供給到鋼板表面。2、根據權利要求1所述的鋼板的清洗方法，其特征在于，所述清洗液向鋼板表面的供給為噴淋方式或簾幕流動方式。3、根據權利要求1或2所述的鋼板的清洗方法，其特征在于，所述清洗液為酸洗溶液。4、根據權利要求1或2所述的鋼板的清洗方法，其特征在于，所述鋼板為熱軋鋼板，所述清洗液為酸洗溶液，除去熱軋鋼板的氧化皮。5、一種鋼板的連續清洗裝置，其特征在于，其是至少具備開巻機、清洗液供給部及巻取機的鋼板的連續清洗裝置，所述清洗液供給部至少具有清洗液的儲存部和超聲波振蕩器部，所述清洗液的儲存部具備清洗液的入口和清洗液出口，所述清洗液出口通過噴淋方式或簾幕流動方式將施加有超聲波的清洗液以相對于與鋼板表面呈直角的線向與移動方向相反的方向傾余4180。的角度供給到鋼板表面，所述超聲波振蕩器部對所述儲存部的清洗液施加頻率為0.83MHz的超聲波。6、根據權利要求5所述的鋼板的連續清洗裝置，其特征在于，具備使干燥空氣或不活潑性氣體在所述超聲波振蕩器部中流通的機構。全文摘要本發明提供了鋼板的清洗方法及鋼板的連續清洗裝置，該方法是清洗移動的鋼板的方法，該方法通過噴淋方式或簾幕流動方式將施加有頻率為0.8MHz～3MHz的超聲波的清洗液以相對于與鋼板表面呈直角的線向與移動方向相反的方向傾斜1～80°的角度供給到鋼板表面，由此能夠將高頻超聲波用于對移動的鋼板進行清洗，可使清洗效果及清洗速度提高。文檔編號C23G3/02GK101675184SQ20088001412公開日2010年3月17日申請日期2008年4月30日優先權日2007年5月1日發明者上村賢一,久保山榮一,佐近正,澤田大助申請人:新日本制鐵株式會社