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擴散泵改進的鍍鋁機的制作方法

文檔序號:3282559閱讀:601來源:國知局
專利名稱:擴散泵改進的鍍鋁機的制作方法
技術領域
本實用新型涉及一種薄膜鍍鋁機,尤其是擴散泵得到改進的鍍鋁機。
背景技術
鍍鋁機擴散泵主要工作原理是通過加熱擴散泵油使其熱沸騰蒸發,生成蒸汽,以極高速度通過該泵的各級噴口的縫隙噴出,使容器內部的氣體分子擴散到蒸汽中被帶到前級真空泵所能作用的位置,然后由機械泵抽出,達到高真空的要求。然而現有的擴散泵的泵油溫度達不到要求,直接影響真空效果。
發明內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種是將擴散泵油溫達到最佳的溫度,使擴散泵油能充分蒸發,容器內氣體分子可以充分擴散到油蒸汽之中被帶走,從而達到良好的真空效果。本實用新型解決其技術問題所采用的方案是:擴散泵改進的鍍鋁機,包括使容器內部氣體分子擴散的擴散泵,所述擴散泵安裝有加熱管,其特征在于:在所述擴散泵底部還安裝了電爐加熱盤。在加熱管加熱的基礎上,再開啟電爐加熱盤進行加熱,使擴散泵油溫達到更高,擴散泵油可以充分蒸發,擴散泵內的氣體分子擴散到油蒸汽之中,然后由前級泵抽出,從而提高擴散泵真空效果。

圖1:現有鍍鋁機的擴散泵示意圖;圖2:本實用新型的擴散泵示意圖。
具體實施方式
如圖1所示,現有的鍍鋁機(如成都產)在生產過程中真空狀態一直不是特別理想,經不斷分析是由于擴散泵內油溫不夠所致。正常狀態下擴散泵油溫應該維持在240°C以上,加熱完全依賴擴散泵上的24根加熱管,經長期使用,加熱管難免出現燒壞等情況,修理時由于加熱管變形,很難進行拔出更換,在缺少加熱管的情況下溫度明顯不足,影響擴散泵真空效果。如圖2所示,本實用新型的擴散泵與現有的成都產鍍鋁機的擴散泵相比,在底部加裝了電爐加熱盤,電爐加熱盤可以提高加熱溫度,使加熱溫度保持在240°C以上,擴散泵真空效果良好。
權利要求1.一種擴散泵改進的鍍鋁機,包括使容器內部氣體分子擴散的擴散泵,所述擴散泵安裝有加熱管,其特征在于:在所述擴散泵底部還安裝了電爐加熱盤。
專利摘要本實用新型公開了一種擴散泵改進的鍍鋁機,擴散泵除安裝加熱管外,底部還安裝了電爐加熱盤。在加熱管加熱的基礎上,再開啟電爐加熱盤進行加熱,使擴散泵油溫達到更高,擴散泵油可以充分蒸發,擴散泵內的氣體分子擴散到油蒸汽之中,然后由前級泵抽出,從而提高擴散泵真空效果。
文檔編號C23C14/56GK203049031SQ20132004196
公開日2013年7月10日 申請日期2013年1月27日 優先權日2013年1月27日
發明者吳明忠 申請人:海寧長宇鍍鋁材料有限公司
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