一種高真空有機源的制作方法

本實用新型涉及一種高真空有機源，適用于多中真空設備配套，屬于有機源組件技術領域。

背景技術：

現有有機源多為更換困難，成本過高，本有機緣為集約型，單一法蘭對接，成本低，質量輕；現有有機源成本高，本有機源成本低廉，采用模塊式安裝，可隨時更換核心組件。

技術實現要素：

本實用新型主要的目的是針對現有技術的缺陷，提出了一種高真空有機源，該有機源為集約型，簡潔，質量輕，可均勻加熱、可溫控、誤差低和成本低。

為了達到上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種高真空有機源包括：鎧裝熱偶、石英坩堝、坩堝墊塊、電極法蘭焊件、支撐桿、有機源組件，所述鎧裝熱偶連接石英坩堝的底部，所述石英坩堝設置于坩堝墊塊上，所述石英坩堝外部設有有機源組件，所述有機源組件通過支撐桿連接電極法蘭焊件。

其中，所述有機源外殼為水冷式外殼，且配有氣動擋板。

其中，采用模塊式安裝。

本實用新型的有益效果是：本實用新型提出的一種高真空有機源，該有機源為集約型，簡潔，質量輕，可均勻加熱、可溫控、誤差低和成本低；有機源更換方便簡潔，以模塊更換，更換成本低廉；有機源采用低壓鎧裝絲，安全可靠，并且潔凈，整體有機源價格低廉；有機源加熱采用自制電源，并以溫控表控制，溫度誤差±1℃。

為了能更進一步了解本實用新型的特征以及技術內容，請參閱以下有關本實用新型的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本實用新型加以限制。

附圖說明

下面結合附圖，通過對本實用新型的具體實施方式詳細描述，將使本實用新型的技術方案及其它有益效果顯而易見。

圖1.是本實用新型一種高真空有機源的結構示意圖；

圖2.是本實用新型一種高真空有機源的剖示圖

具體實施方式

為更進一步闡述本實用新型所采取的技術手段及其效果，以下結合本實用新型的優選實施例及其附圖進行詳細描述。

請參閱圖1和圖2，本實用新型提出的一種高真空有機源包括：鎧裝熱偶二、石英坩堝一、坩堝墊塊4、電極法蘭焊件3、支撐桿2、有機源組件1，所述鎧裝熱偶二連接石英坩堝一的底部，所述石英坩堝一設置于坩堝墊塊4上，所述石英坩堝一外部設有有機源組件1，所述有機源組件1通過支撐桿2連接電極法蘭焊件3。

進一步，所述有機源外殼為水冷式外殼，且配有氣動擋板。

進一步，采用模塊式安裝。

以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應所述以權利要求的保護范圍為準。