用于安裝拋光墊的裝置的制作方法

本發明屬于半導體技術領域，特別涉及一種用于安裝拋光墊的裝置。

背景技術：

在對晶圓進行拋光之前，首先需要將拋光墊安裝于底盤上，通常是手動將拋光墊水平放置在底盤上，再將拋光墊上的塑料保護層撕掉。由于底盤直徑尺寸較大，且拋光墊尺寸不一，因此，無法保證拋光墊與底盤同心設置，且在安裝過程中拋光墊與底盤的接觸面容易產生氣泡，影響工藝效果。

技術實現要素：

本發明旨在至少在一定程度上解決上述技術問題之一。

為此，本發明提出一種用于安裝拋光墊的裝置，該用于安裝拋光墊的裝置可以準備定位拋光墊，使得拋光墊與底盤同心設置，提高拋光墊的工藝處理效果。

根據本發明實施例的用于安裝拋光墊的裝置包括：底盤；至少兩個調節定位裝置，所述調節定位裝置安裝于所述底盤的側壁上且位于同一圓周面，所述調節定位裝置包括：滑臺組件，所述滑臺組件相對所述底盤徑向方向可移動，通過調節所述滑臺組件相對所述底盤的位置從而限定出所述拋光墊的安裝區域，使得所述拋光墊同心設置于所述底盤的安裝面上。

根據本發明實施例的用于安裝拋光墊的裝置，在底盤的側壁上設置至少兩個調節定位裝置，通過調節滑臺組件相對底盤的位置從而限定出拋光墊的安裝區域，使得拋光墊同心設置于底盤的安裝面上，提高對晶圓拋光的工藝效果。

另外，根據本發明實施例的用于安裝拋光墊的裝置，還可以具有如下附加的技術特征：

根據本發明的一個實施例，所述調節定位裝置進一步包括：定位組件，所述定位組件包括弧形定位板和水平定位板，所述弧形定位板貼合設置于所述底盤的側壁且與所述底盤同心設置，所述水平定位板相切于所述弧形定位板的下部，所述滑臺組件垂直設置于所述水平定位板；上面板，所述上面板設置于所述滑臺組件頂面，所述上面板具有朝向所述底盤方向敞開的定位孔，所述定位孔用于安裝定位桿。

根據本發明的一個實施例，所述底盤的側壁上設有至少兩個安裝孔，兩個所述安裝孔位于同一圓周面上且兩個所述安裝孔與圓心的連線成直角，所述弧形定位板通過緊固件與所述安裝孔配合固定于所述底盤的側壁。

根據本發明的一個實施例，所述底盤的上部具有傾斜面，所述傾斜面沿所述安裝面的周緣向外向下傾斜延伸。

根據本發明的一個實施例，定位桿的下端不高于所述底盤的安裝面，所述定位桿的上端高于所述底盤的安裝面。

本發明的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發明的實踐了解到。

附圖說明

本發明的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是根據本發明一個實施例的用于安裝拋光墊的裝置的俯視圖；

圖2是圖1中沿a-a線的剖視圖；

圖3是圖2中b處的放大圖。

附圖標記：

用于安裝拋光墊的裝置100；

底盤10；安裝面11；傾斜面12；

調節定位裝置20；滑臺組件21；定位組件22；弧形定位板221；水平定位板222；上面板23；定位桿24。

具體實施方式

下面詳細描述本發明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發明，而不能理解為對本發明的限制。

下面參照圖1-3描述根據本發明實施例的用于安裝拋光墊的裝置100。

具體地，用于安裝拋光墊的裝置100可以包括：底盤10和至少兩個調節定位裝置20。如圖1結合圖2所示，底盤10具有用于安裝拋光墊的安裝面11。

至少兩個調節定位裝置20安裝于底盤10的側壁上且位于同一圓周面。也就是說，底盤10的側壁可以設置兩個或兩個以上的調節定位裝置20。

該調節定位裝置20包括滑臺組件21，滑臺組件21相對底盤10徑向方向可移動，通過調節滑臺組件21相對底盤10的位置從而限定出拋光墊的安裝區域，使得拋光墊同心設置于底盤10的安裝面11上。

在拋光墊與底盤10尺寸不一致時，同時調節兩個調節定位裝置20相對底盤10的位置，使得滑臺組件21沿著底盤10的徑向方向由內側向外側方向移動，或者使得滑臺組件21沿著底盤10的徑向方向由外側向內側方向移動，其中，兩個調節定位裝置20調節量相同，從而限定出適于拋光墊尺寸的安裝區域，保證拋光墊與底盤10同心設置。

由此，根據本發明實施例的用于安裝拋光墊的裝置100，在底盤10的側壁上設置至少兩個調節定位裝置20，通過調節滑臺組件21相對底盤10的位置從而限定出拋光墊的安裝區域，使得拋光墊同心設置于底盤10的安裝面11上，提高對晶圓拋光的工藝效果。

在本發明的一些實施例中，如圖3結合圖2所示，調節定位裝置20進一步包括：定位組件22和上面板23。其中，定位組件22包括弧形定位板221和水平定位板222，弧形定位板221貼合設置于底盤10的側壁且與底盤10同心設置，水平定位板222相切于弧形定位板221的下部，滑臺組件21垂直設置于水平定位板222。上面板23設置于滑臺組件21頂面，上面板23具有朝向底盤10方向敞開的定位孔，定位孔用于安裝定位桿24。

這樣，在安裝拋光墊時，操作人員可以將拋光墊其中一側周緣順著兩個定位桿24周面向下滑動，從而保證拋光墊準確落入滑臺組件21限定的安裝區域內，接著平鋪整個拋光墊使得拋光墊與底盤10之間的氣泡被完全排出，最后將拋光墊上的保護膜撕掉，從而完成拋光墊的安裝。

一些可選實施例中，底盤10的側壁上設有至少兩個安裝孔，兩個安裝孔位于同一圓周面上且兩個安裝孔與圓心的連線成直角，弧形定位板221通過緊固件與安裝孔配合固定于底盤10的側壁。其中，緊固件可以為螺釘或螺栓。當然，可以理解的是，上述實施例僅是示意性的，并不是對本發明保護范圍的限制，兩個安裝孔與圓心的連線也可以為其他角度，例如30°、60°或120°等，只要保證兩個安裝孔所在圓的圓心與底盤10的圓心重合即可。

進一步可選示例中，如圖3結合圖2所示，底盤10的上部具有傾斜面12，傾斜面12沿安裝面11的周緣向外向下傾斜延伸。這樣，可以使得定位桿24具有更大移動范圍，從而進一步有效調節拋光墊與底盤10的相對位置，保證拋光墊與底盤10同心設置。

此外，需要更換拋光墊時，可以從傾斜面12處移除拋光墊。從而便于拋光墊的更換和安裝。

其中，拋光墊的直徑為d，底盤10的直徑為d，調節量為l，l＝|d-d|/2，在放置拋光墊之前，可以先計算調節量，使得滑臺組件21沿底盤10的徑向方向移動預先計算的調節量，從而保證拋光墊與底盤10可以同心設置。

進一步可選實施例中，如圖3結合圖2所示，定位桿24的下端不高于底盤10的安裝面11，定位桿24的上端高于底盤10的安裝面11。也就是說，定位桿24的下端低于底盤10的安裝面11，或者定位桿24的下端與底盤10的安裝面11平齊。這樣，可以使得拋光墊被準確定位于滑臺組件21限定的安裝區域內，保證拋光墊與底盤10同心設置。

在本說明書的描述中，參考術語“一個實施例”、“一些實施例”、“示意性實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特征、結構、材料或者特點包含于本發明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結構、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。

盡管已經示出和描述了本發明的實施例，本領域的普通技術人員可以理解：在不脫離本發明的原理和宗旨的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本發明的范圍由權利要求及其等同物限定。