濺鍍旋轉靶磁棒總成的制作方法

本實用新型涉及濺鍍旋轉靶磁棒總成。

背景技術：

現有的圓柱型濺鍍靶所使用的磁棒在磁座的排列上過于緊密,在使用上因磁力線的原因導致兩端磁場較強,在靶材的兩端產生消耗較多,總體上的消耗不均勻以致利用率下降下降10％～15％,故需重新設定磁場。

因此，需要尋求一種新的技術方案來解決上述問題。

技術實現要素：

本實用新型的目的是：提供一種使磁座上的磁場均勻的濺鍍旋轉靶磁棒總成。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：

濺鍍旋轉靶磁棒總成，包括磁座本體以及強磁，強磁粘附于磁座本體外，強磁由S極強磁和N極強磁間隔設置，相鄰的S極強磁和N極強磁之間間隔一定距離。

相鄰S極強磁和N極強磁之間間隔距離為20-25mm。

優選的相鄰S極強磁和N極強磁之間間隔距離為22mm

粘附強磁的磁座本體安裝于腔體內。

腔體連接電源的正極，所述磁座本體連接電源的負極。

相鄰S極強磁和N極強磁之間還設有墊片。

在上述技術方案中，跟現有技術相比所達到的技術效果是：通過實際的上機測試，將S極強磁和N極強磁之間距離調整至22mm時，提高耗材利用率至70％，頁減少了更換耗材的次數，而墊片的設置，可增加強磁的工作點，從而增大了強磁的磁場強度。

附圖說明

附圖1為本實用新型實施例一的總視圖。

附圖2為本實用新型實施例一的磁座本體的結構圖。

附圖3為本實用新型實施例一的磁座本體的剖視圖。

以上附圖中：1-磁座本體、2-強磁、21-S極強磁、22-N極強磁、3-腔體、4-墊片。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述。

實施例一：

如圖1至圖3所示，本實用新型的濺鍍旋轉靶磁棒總成，包括磁座本體1以及強磁2，強磁2粘附于磁座本體1外，強磁2由S極強磁21和N極強磁22間隔設置，相鄰的S極強磁21和N極強磁22之間間隔一定距離。

相鄰S極強磁21和N極強磁22之間間隔距離為20-25mm。

優選的相鄰S極強磁21和N極強磁22之間間隔距離為22mm

粘附強磁2的磁座本體1安裝于腔體3內。

腔體3連接電源的正極，磁座本體1連接電源的負極。

相鄰S極強磁21和N極強磁22之間還設有墊片4。

在上述技術方案中，跟現有技術相比所達到的技術效果是：通過實際的上機測試，將S極強磁21和N極強磁22之間距離調整至22mm時，提高耗材利用率至70％，頁減少了更換耗材的次數，而墊片4的設置，可增加強磁2的工作點，從而增大了強磁2的磁場強度。

上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內容并據以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。