用于藍寶石晶棒of面加工的定向夾具的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及晶棒夾具技術領域，尤其涉及一種用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具。
【背景技術】
[0002]藍寶石晶體為各向異性的晶體材料，并具有優異的電、光、熱、力學特性。近幾年來，隨著晶體在光電子、信息產業中應用的擴展，對晶片加工精度提出了很高要求，而作為外延生長基板的晶體材料對晶面角度取向加工精度更是提出了嚴格要求。因此確保晶體從毛坯加工成成品中晶面角度取向精度是生產高質量器件和基板的重要環節。
[0003]藍寶石晶棒的加工工藝為:晶徒掏棒一晶棒切兩端一晶棒端面研磨一磨OF基準面一切片。藍寶石晶棒在切片加工前必須對晶棒進行測定結晶方向后進行晶棒的定位面(參考平面)的加工。這樣，一方面可以確保其在切片機上的正確位置，另一方面，識別藍寶石晶棒或晶片上的特定的結晶方向，有利于晶片在后續工序中的識別、定位要求。
[0004]對晶棒定位面加工的普遍方法是在定向儀上放置料板，對晶棒進行測定結晶方向后就在定向儀上將晶棒粘接到料板上，再將整體放置于研磨機上進行晶棒定位面的加工。該方法由于人工粘接晶棒存在操作誤差，從而對晶棒結晶方向定位會帶來一定的偏差，會影響后續晶片的加工；另外，加工后還要對粘接的晶棒進行去膠處理，既費功費力，又生產效率低。
[0005]公告號為CN202726719U，公告日為2013年02月13日的中國發明專利公開了一種藍寶石晶棒定位面定向加工的卡具，雖然改變了傳統的晶棒粘接的方法，采用夾具進行定向，但是該夾具的螺釘對晶棒表面容易產生磨損，一邊固定的方式使得晶棒的軸線不是位于夾具中心，容易導致定位不準。
【發明內容】
[0006]本發明要解決的技術問題是:為了解決現有技術中藍寶石晶棒定位夾具定位不準，生產效率低的技術問題，本發明提供一種用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具。
[0007]本發明解決其技術問題所采用的技術方案是:一種用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具，包括可拆卸連接的上夾具和下夾具，所述下夾具上表面上開設有V型槽，上夾具用于將藍寶石晶棒固定在V型槽內。本發明將藍寶石晶棒定位夾具分成上下兩部分，更有利于藍寶石晶棒加工前的位置調整，定位精準。
[0008]為了便于安裝上夾具，所述V型槽的長度LI與下夾具的長度L2 —致，V型槽槽口的左側至下夾具的左端設有左平面，V型槽槽口的右側至下夾具的右端設有右平面，所述的左平面和右平面上開設有螺釘安裝孔。
[0009]為了使得藍寶石晶棒左右固定牢固，位置不易偏移，所述上夾具分為左固定塊和右固定塊，左固定塊的下底面與左平面相配合且固定連接，左固定塊的右端面呈斜面，且右端面與V型槽內的左側面形成開口向右的V形開口，右固定塊的下底面與右平面相配合且固定連接，右固定塊的左端面呈斜面，且左端面與V型槽內的右側面形成開口向左的V形開
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[0010]為了便于安裝螺釘，所述左固定塊和右固定塊等高均為hl，所述左固定塊的左端面和右固定塊的右端面均開設有U型槽，U型槽的長度為hl，所述U型槽的內壁上設有U型卡臺，U型槽與螺釘安裝孔相配合，所述U型槽的槽寬dl略大于待安裝螺釘的螺帽的外徑，U型卡臺卡口的寬度d2略大于待安裝螺釘的螺桿的外徑且略小于待安裝螺釘的螺帽的外徑。
[0011]為了便于排泄，所述V型槽的底部還開設有排泄槽。
[0012]為了便于調整藍寶石晶棒的高度，便于加工，所述下夾具的底部還安裝有升降調節裝置。
[0013]本發明的有益效果是，本發明的用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具，通過上、下夾具配合固定的方式實現了晶棒的靈活夾持與定向，螺釘安裝在上、下夾具的兩側上，與晶棒無接觸，避免晶棒磨損，而且夾具定位精準，提尚加工效率。
【附圖說明】
[0014]下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。
[0015]圖1是本發明用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具的結構示意圖。
[0016]圖2是本發明用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具的下夾具的俯視圖。
[0017]圖3是本發明用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具的上夾具的俯視圖。
[0018]圖中:11、左固定塊，12、右固定塊，13、開口向右的V形開口，14、開口向左的V形開口，15、U型槽，16、U型卡臺，2、下夾具，21、V型槽，22、左平面，23、右平面，24、螺釘安裝孔，25、排泄槽，3、升降調節裝置。
【具體實施方式】
[0019]現在結合附圖對本發明作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本發明的基本結構，因此其僅顯示與本發明有關的構成。
[0020]如圖1-3所示，是本發明最優實施例，一種用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具，包括可拆卸連接的上夾具和下夾具2，下夾具2上表面上開設有V型槽21，上夾具用于將藍寶石晶棒固定在V型槽21內。V型槽21的長度LI與下夾具的長度L2 —致，V型槽21槽口的左側至下夾具2的左端設有左平面22，V型槽21槽口的右側至下夾具2的右端設有右平面23，左平面22和右平面23上開設有螺釘安裝孔24。V型槽21的底部還開設有排泄槽25，下夾具2的底部還安裝有升降調節裝置3。
[0021]上夾具分為左固定塊11和右固定塊12，左固定塊11的下底面與左平面22相配合且固定連接，左固定塊11的右端面呈斜面，且右端面與V型槽21內的左側面形成開口向右的V形開口 13，右固定塊12的下底面與右平面23相配合且固定連接，右固定塊12的左端面呈斜面，且左端面與V型槽21內的右側面形成開口向左的V形開口 14。
[0022]左固定塊11和右固定塊12等高均為hl，左固定塊11的左端面和右固定塊12的右端面均開設有U型槽15，U型槽15的長度為hl，U型槽15的內壁上設有U型卡臺16，U型槽I5與螺釘安裝孔24相配合，U型槽15的槽寬dl略大于待安裝螺釘的螺帽的外徑，U型卡臺16卡口的寬度d2略大于待安裝螺釘的螺桿的外徑且略小于待安裝螺釘的螺帽的外徑。
[0023]工作時，將藍寶石晶棒先放在V型槽21內，找到其定位面，再將左固定塊11和右固定塊12通過螺釘固定在下夾具2上。調整升降調節裝置3使得藍寶石晶棒達到要求的高度，再進行OF面加工。
[0024]以上述依據本發明的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項發明技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項發明的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。
【主權項】
1.一種用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具，其特征在于:包括可拆卸連接的上夾具和下夾具(2)，所述下夾具(2)上表面上開設有V型槽(21)，上夾具用于將藍寶石晶棒固定在V型槽(21)內。2.如權利要求1所述的用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具，其特征在于:所述V型槽(21)的長度LI與下夾具的長度L2—致，V型槽(21)槽口的左側至下夾具(2)的左端設有左平面(22)，V型槽(21)槽口的右側至下夾具(2)的右端設有右平面(23)，所述的左平面(22)和右平面(23)上開設有螺釘安裝孔(24)。3.如權利要求2所述的用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具，其特征在于:所述上夾具分為左固定塊(11)和右固定塊(12)，左固定塊(11)的下底面與左平面(22)相配合且固定連接，左固定塊(11)的右端面呈斜面，且右端面與V型槽(21)內的左側面形成開口向右的V形開口(13)，右固定塊(12)的下底面與右平面(23)相配合且固定連接，右固定塊(12)的左端面呈斜面，且左端面與V型槽(21)內的右側面形成開口向左的V形開口(14)。4.如權利要求3所述的用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具，其特征在于:所述左固定塊(11)和右固定塊(12)等高均為hl，所述左固定塊(11)的左端面和右固定塊(12)的右端面均開設有U型槽(15)，U型槽(15)的長度為hi，所述U型槽(15)的內壁上設有U型卡臺(16)，U型槽(15)與螺釘安裝孔(24)相配合，所述U型槽(15)的槽寬dl略大于待安裝螺釘的螺帽的外徑，U型卡臺(16)卡口的寬度d2略大于待安裝螺釘的螺桿的外徑且略小于待安裝螺釘的螺帽的外徑。5.如權利要求1所述的用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具，其特征在于:所述V型槽(21)的底部還開設有排泄槽(25)。6.如權利要求1所述的用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具，其特征在于:所述下夾具(2)的底部還安裝有升降調節裝置(3)。
【專利摘要】本發明涉及晶棒夾具技術領域，尤其涉及一種用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具，包括可拆卸連接的上夾具和下夾具，下夾具上表面上開設有V型槽，上夾具用于將藍寶石晶棒固定在V型槽內。本發明的有益效果是，本發明的用于藍寶石晶棒OF面加工的定向夾具，通過上、下夾具配合固定的方式實現了晶棒的靈活夾持與定向，螺釘安裝在上、下夾具的兩側上，與晶棒無接觸，避免晶棒磨損，而且夾具定位精準，提高加工效率。
【IPC分類】B24B41/06
【公開號】CN105196176
【申請號】CN201510728369
【發明人】葛姚剛, 朱文輝
【申請人】常州億晶光電科技有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年10月30日