藥液回收設備及其系統與方法
【技術領域】
[0001]本發明與一種提供基板進行化學制程的技術有關，尤指一種于化學制程進行中，所使用藥液的回收設備及其系統與方法。
【背景技術】
[0002]按，現有的砸化銅銦鎵(CIGS)太陽能薄膜制程中，都需要形成一緩沖薄膜，如硫化鎘(CdS )、硫化鋅(ZnS )、氫氧化銦(In (OH) 3)、硫化銦(In2S3)、砸化鋅(ZnSe )、氧化鋅(ZnO)、二氧化錫(SnO2),而現行制作緩沖薄膜的制造設備，都是采用化學水浴沉積(CBD)方式制造，不過傳統的化學水浴沉積制程都是采用先加熱化學藥液，再將藥液噴灑在可撓性基板上以進行生成緩沖層的反應。由于藥液經過加熱后會使酸堿值產生變化，不易進行回收利用，故對于環境以及生產成本都是不利，此一問題有待改善。
【發明內容】
[0003]為了解決上述技術問題，本發明的主要目的，在于可提供一種藥液回收設備及其系統與方法，俾借由冷卻方式避免藥液產生非預期的化學反應，并提升化學藥液的回收效率，故可有效降低生產成本。
[0004]為了達成上述的目的，本發明提供一種藥液回收設備，用于回收與一基材進行化學制程的藥液，包括一藥液槽、一回收路徑、一回收容器、一冷卻管路、以及一冷卻機；其中，藥液槽用于容納藥液，且藥液槽具有一開口，開口提供基材與藥液槽內的藥液進行化學制程；回收路徑包含藥液集中槽與回流管路，藥液集中槽連通回流管路，藥液集中槽設于藥液槽旁，用以導引一外流藥液，該外流藥液為由該藥液槽外流的至少部份藥液；回收容器通過回收路徑導引外流藥液進入回收容器；冷卻管路熱接觸藥液槽，并提供冷卻流體在冷卻管路中流動；冷卻機與冷卻管路連通，降溫冷卻管路內的冷卻流體，并驅動冷卻流體流動。
[0005]作為優選技術方案，該藥液槽的開口周緣外設有圍繞該開口的溢流槽，該溢流槽連通該回流管路，用以導引所述外流藥液。
[0006]作為優選技術方案，該冷卻管路貼接于該藥液槽底部。
[0007]作為優選技術方案，該冷卻管路局部設于該藥液槽內。
[0008]作為優選技術方案，部分該冷卻管路形成于一上蓋與一下座之間。
[0009]作為優選技術方案，該冷卻管路包含一冷卻盤管，該冷卻盤管設于該藥液集中槽內。
[0010]作為優選技術方案，該冷卻盤管呈迂回狀而分布于該藥液集中槽內。
[0011 ] 作為優選技術方案，該回收容器內設有一二次冷卻模塊。
[0012]作為優選技術方案，該回收容器內設有一過濾網，用以過濾結晶物或雜質。
[0013]作為優選技術方案，該回流管路局部設于該藥液槽內。
[0014]作為優選技術方案，該回流管路連通該藥液槽，用以將回收的藥液輸送至該藥液槽。
[0015]作為優選技術方案，該回流管路內設有一檢測單元而檢測回收的藥液是否符合一默認值。
[0016]作為優選技術方案，上述的藥液回收設備還包括一排棄管路，用于排棄回收的藥液。
[0017]作為優選技術方案，上述的藥液回收設備還包括一切換閥，用于依據該檢測單元的檢測結果，決定是否將回收的藥液排入該排棄管路。
[0018]本發明還提供一種藥液回收系統，用于回收與一基材進行化學制程的藥液，包括一藥液槽、一回收路徑、一回收容器、一冷卻管路、一冷卻機、一卷入單元、以及一卷出單元；其中，藥液槽用于容納藥液，且藥液槽具有一開口，開口提供基材與藥液槽內的藥液進行化學制程；回收路徑包含藥液集中槽與回流管路，藥液集中槽連通回流管路，藥液集中槽設于藥液槽旁，用以導引藥液由藥液槽外流而出的外流藥液；回收容器通過回收路徑導引外流藥液進入回收容器；冷卻管路熱接觸藥液槽，并提供冷卻流體在冷卻管路中流動；冷卻機與冷卻管路連通，降溫冷卻管路內的冷卻流體，并驅動冷卻流體流動；卷入單元與卷出單元用以卷動輸送基板。
[0019]作為優選技術方案，該回流管路連通該藥液槽，用以將回收的藥液輸送至該藥液槽。
[0020]作為優選技術方案，該藥液槽對應該卷入單元的一側處上設有與該回流管路相連通的噴嘴，以對所述基板噴灑所述藥液。
[0021]本發明還提供一種藥液回收方法，所述藥液容納于一藥液槽內，而回收方法之步驟如下:
a)導引一外流藥液，該外流藥液為由藥液槽外流的至少部份藥液；
b)冷卻外流藥液；以及
c)將冷卻后的外流藥液回收并進行化學制程。
[0022]作為優選技術方案，步驟c)進一步對所述外流藥液進行二次冷卻。
[0023]作為優選技術方案，步驟c)進一步對所述外流藥液進行過濾。
[0024]作為優選技術方案，步驟c)進一步對所述外流藥液進行一預測值的檢測，并依照檢測的結果決定是否排出所述外流藥液。
[0025]作為優選技術方案，上述的藥液回收方法還包括步驟d)將符合該默認值的所述外流藥液回流至該藥液槽。
[0026]本發明的藥液回收設備及方法，其冷卻方式可避免藥液產生非預期的化學反應，并提升化學藥液的回收效率，故可有效降低生產成本。
【附圖說明】
[0027]圖1是本發明藥液回收系統第一實施例的平面示意圖。
[0028]圖2是本發明藥液回收設備第一實施例的平面示意圖。
[0029]圖3是本發明的部分冷卻管路的平面示意圖。
[0030]圖4是根據圖3的4-4斷面剖視圖。
[0031]圖5是本發明藥液回收系統第二實施例的平面示意圖。
[0032]圖6是本發明藥液回收系統第二實施例的斷面剖視圖。
[0033]圖7是本發明藥液回收設備第二實施例的立體示意圖。
[0034]附圖標記說明:
藥液回收設備I ;
藥液槽10 ；
開口100;
溢流槽101;
回收路徑11 ;
藥液集中槽110 ;
回流管路111;
回收容器12 ；
二次冷卻模塊120 ;
過濾網121 ；
檢測單元122 ；
排棄管路123 ;
切換閥124 ；
冷卻管路13 ;
上蓋130 ；
下座131 ；
冷卻盤管132 ；
冷卻機14 ;
卷入單元15 ；
噴嘴150 ;
卷出單元16 ；
基材2;
藥液3 ；
外流藥液3’。
【具體實施方式】
[0035]下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好的理解本發明并能予以實施，但所舉實施例不作為對本發明的限定。
[0036]請參閱圖1及圖2，分別為本發明藥液回收系統第一實施例的平面示意圖及藥液回收設備第一實施例的平面示意圖。本發明提供一種藥液回收設備及其系統與方法，該藥液回收設備I用于回收與一基材2進行化學制程的藥液3，包括一藥液槽10、一回收路徑
11、一回收容器12、一冷卻管路13、以及一冷卻機14 ;其中:
該藥液槽10用于容納前述與基材2進行化學制程的藥液3。且該藥液槽10具有一開口 100，該開口 100提供基材2通過后，即能與藥液槽10內的藥液3進行化學制程。
[0037]該回收路徑11包含藥液集中槽110與回流管路111，該藥液集中槽110連通回流管路111，且該藥液集中槽110設于上述藥液槽10旁，如藥液槽10外的任一側或周圍處等，用以導引前述藥液3由藥液槽10外流而出后，外流藥液3’即能通往回流管路111，便于后續的回收作業。
[0038]該回收容器12通過上述回收路徑11，以便將外流藥液3’導引進入該回收容器12內。此外，該回收容器12內可進一步設有一二次冷卻模塊120，用以對被導引進入至回收容器12內的外流藥液3’提供第二次冷卻效果、或是維持其冷卻溫度。
[0039]該冷卻管路13可熱接觸上述藥液槽10，并提供冷卻流體在該冷卻管路13中流動。如圖3及圖4所示，該藥液回收設備I可進一步包含相互組合的一上蓋130與一下座131，其中，部分該冷卻管路13形成于該上蓋13