專利名稱：一種調溫效果更好的三氯氫硅合成爐的制作方法
技術領域：
一種調溫效果更好的三氯氫硅合成爐技術領域[0001]本實用新型涉及一種生產三氯氫硅合成爐，屬于化工生產設備技術領域。
技術背景[0002]三氯氫硅是生產多晶硅的重要原料，隨著多晶硅在現代科技、國防、工業等領域的廣泛應用，三氯氫硅的生產也得到了快速發展，提高產品質量、降低成本消耗、擴大生產能力成為各個生產廠家競相追逐的目標。在三氯氫硅生產過程中，三氯氫硅合成爐基本都采用利用熱水帶走合成爐內硅粉與氯化氫反應產生的熱量的方法穩定爐溫，來達到穩定化學反應平衡的目的，促使反應爐內多生成主產品三氯氫硅少生成副產品四氯化硅。但是用水導熱存在熱傳導變化快，導致加熱不夠均勻、調溫精確度較差等缺點，在目前各個企業不斷追求生產的穩定性、可控性和生產效率情況下，有必要對三氯氫硅合成爐穩定爐溫的方法進行改進。實用新型內容[0003]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種加熱均勻、調溫控制準確、傳熱效果好、控制容易的調溫效果更好的三氯氫硅合成爐。[0004]解決上述技術問題的技術方案是[0005]一種調溫效果更好的三氯氫硅合成爐，它由儲油罐、油泵、油加熱器、廢熱鍋爐、廢熱鍋爐旁通、合成爐組成，合成爐內的熱反應交換管路內灌輸有導熱油，合成爐的熱反應交換管路的出油口通過輸送管路與儲油罐相連接，儲油罐通過輸油管路與油泵、油加熱器、廢熱鍋爐依次連接，輸送管路中的導熱油通過廢熱鍋爐后通過輸油管路連接到合成爐的熱反應交換管路的進油口。[0006]導熱油在工作過程中，有可能需要提高爐溫，以達到穩定爐溫，穩定化學反應平衡的目的。在這種情況下，要開啟油加熱器3對導熱油進行加熱，加熱后的導熱油通過廢熱鍋爐旁通管路進入合成爐熱反應交換管路的進油口，實現提高爐溫的目的。[0007]上述調溫效果更好的三氯氫硅合成爐，所述的油泵為兩臺。[0008]本實用新型的有益之處在于[0009]由于導熱油具有熱容量大的特點，本實用新型利用導熱油帶走合成爐內硅粉與氯化氫反應產生的熱量的方法穩定爐溫，達到穩定化學反應平衡的目的，具有加熱均勻、調溫控制準確、傳熱效果好、在低蒸汽壓下產生高溫等優點，實現了三氯氫硅合成爐的加熱和冷卻控制，同時廢熱鍋爐還可以利用反應熱連續穩定地產出蒸汽，節約了能源，提高了經濟效益。
[0010]圖1是本實用新型的結構示意圖。[0011]圖中標記如下儲油罐1、油泵2、油加熱器3、廢熱鍋爐4、合成爐5、進油口 6、出油口 7、廢熱鍋爐旁通8。
具體實施方式
[0012]圖中顯示，本實用新型由儲油罐1、油泵2、油加熱器3、廢熱鍋爐4、合成爐5組成。[0013]儲油罐1通過輸油管路與油泵2、油加熱器3、廢熱鍋爐4依次連接，合成爐5的熱反應交換管路的出油口 7通過輸送管路與儲油罐1相連接，輸送管路中通過廢熱鍋爐4后連接到合成爐5的熱反應交換管路的進油口 6。在儲油罐1、輸送管路、合成爐5內的熱反應交換管路內灌輸有導熱油。[0014]導熱油在合成爐5內將硅粉與氯化氫反應產生的熱量從熱反應交換管路中帶走， 高溫導熱油進入儲油罐1后通過油泵2、油加熱器3到達廢熱鍋爐4，高溫導熱油對廢熱鍋爐4的水加熱，產生蒸汽，同時高溫導熱油也失去熱量，再通過輸送管路通入合成爐5的熱反應交換管路，完成一個熱交換過程，然后再吸收反應熱，如此連續不斷地進行循環。
權利要求1. 一種調溫效果更好的三氯氫硅合成爐，其特征在于它由儲油罐(1)、油泵(2)、油加熱器(3)、廢熱鍋爐(4)、合成爐(5)組成，合成爐(5)內的熱反應交換管路內灌輸有導熱油， 合成爐(5)的熱反應交換管路的出油口(7)通過輸送管路與儲油罐(1)相連接，儲油罐(1) 通過輸油管路與油泵(2)、油加熱器(3)、廢熱鍋爐(4)依次連接，輸送管路中的導熱油通過廢熱鍋爐(4 )后通過輸油管路連接到合成爐(5 )的熱反應交換管路的進油口( 6 )。
專利摘要一種調溫效果更好的三氯氫硅合成爐，屬于化工生產設備技術領域，目的是更好的穩定爐溫，使爐內化學反應平衡穩定，其技術方案是它由儲油罐、油泵、油加熱器、廢熱鍋爐、合成爐組成，合成爐內的熱反應交換管路內灌輸有導熱油，合成爐的熱反應交換管路的出油口通過輸送管路與儲油罐相連接，儲油罐通過輸油管路與油泵、油加熱器、廢熱鍋爐依次連接，輸送管路中的導熱油通過廢熱鍋爐后通過輸油管路連接到合成爐的熱反應交換管路的進油口。本實用新型利用導熱油帶走合成爐內的熱量，穩定爐溫，穩定化學反應平衡，具有加熱均勻、調溫控制準確、傳熱效果好、在低蒸汽壓下產生高溫等優點，實現了三氯氫硅合成爐的加熱和冷卻控制。
文檔編號C01B33/107GK202297157SQ201120411439
公開日2012年7月4日 申請日期2011年10月26日 優先權日2011年10月26日
發明者孫亮 申請人:唐山三孚硅業股份有限公司